微电子激光扫描装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种微电子激光扫描装置，包括：物镜、切线反射镜、循迹反射镜、偏光棱镜、耦合镜和半导体激光二极管，所述物镜与切线反射镜相连接，所述循迹反射镜与偏光棱镜组合连接，所述偏光棱镜通过衍射光栅与耦合镜相连接，所述耦合镜与半导体激光二极管相连接。通过上述方式，本实用新型微电子激光扫描装置，高方向性，高单向性，高亮度和高相干性。
【专利说明】微电子激光扫描装置
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及微电子领域，特别是涉及一种微电子激光扫描装置。
【背景技术】
[0002]微电子技术是随着集成电路，尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术。微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术，微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和。
实用新型内容
[0003]本实用新型主要解决的技术问题是提供一种微电子激光扫描装置，高方向性，高单向性，高亮度和高相干性。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是:提供一种微电子激光扫描装置，包括:物镜、切线反射镜、循迹反射镜、偏光棱镜、耦合镜和半导体激光二极管，所述物镜与切线反射镜相连接，所述循迹反射镜与偏光棱镜组合连接，所述偏光棱镜通过衍射光栅与耦合镜相连接，所述耦合镜与半导体激光二极管相连接。
[0005]在本实用新型一个较佳实施例中，所述偏光棱镜上设有轨迹镜。
[0006]在本实用新型一个较佳实施例中，所述耦合镜与半导体激光二极管之间设有透镜。
[0007]在本实用新型一个较佳实施例中，所述切线反射镜和循迹反射镜构成谐振腔。
[0008]本实用新型的有益效果是:本实用新型微电子激光扫描装置，高方向性，高单向性，高亮度和高相干性。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中:
[0010]图1是本实用新型的微电子激光扫描装置一较佳实施例的结构示意图；
[0011]附图中各部件的标记如下:1、半导体激光二极管，2、透镜,3、稱合镜,4、偏光棱镜，
5、循迹反射镜，6、切线反射镜，7、物镜。
【具体实施方式】
[0012]下面将对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。[0013]本实用新型实施例包括:
[0014]—种微电子激光扫描装置,包括:物镜7、切线反射镜6、循迹反射镜5、偏光棱镜4、耦合镜3和半导体激光二极管1，所述物镜7与切线反射镜6相连接，所述循迹反射镜5与偏光棱镜4组合连接,所述偏光棱镜4通过衍射光栅与稱合镜3相连接,所述稱合镜3与半导体激光二极管I相连接。
[0015]另外，所述偏光棱镜4上设有轨迹镜。
[0016]另外，所述耦合镜3与半导体激光二极管I之间设有透镜2。
[0017]另外，所述切线反射镜6和循迹反射镜5构成谐振腔，当工作物质受激，原子自发辐射的光子在谐振腔内不断地来回反射形成激光。
[0018]本实用新型微电子激光扫描装置的有益效果是:
[0019]高方向性，高单向性，高亮度和高相干性。
[0020]以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的【技术领域】，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
【权利要求】
1.一种微电子激光扫描装置，其特征在于，包括:物镜、切线反射镜、循迹反射镜、偏光棱镜、耦合镜和半导体激光二极管，所述物镜与切线反射镜相连接，所述循迹反射镜与偏光棱镜组合连接，所述偏光棱镜通过衍射光栅与耦合镜相连接，所述耦合镜与半导体激光二极管相连接。
2.根据权利要求1所述的微电子激光扫描装置，其特征在于，所述偏光棱镜上设有轨迹镜。
3.根据权利要求1所述的微电子激光扫描装置，其特征在于，所述耦合镜与半导体激光二极管之间设有透镜。
4.根据权利要求1所述的微电子激光扫描装置，其特征在于，所述切线反射镜和循迹反射镜构成谐振腔。
【文档编号】G02B26/10GK203490424SQ201320526815
【公开日】2014年3月19日 申请日期:2013年8月28日 优先权日:2013年8月28日
【发明者】朱伟东, 林峰 申请人:江苏应能微电子有限公司