技术特征：
技术总结
本发明公开了一种运动台装置、曝光装置及光刻机，其中，所述运动台装置包括：Y向电机，所述Y向电机的电机动子可沿水平面的Y向移动；X向电机，设置在X向导轨上，所述X向导轨与所述Y向电机的电机动子连接，并由所述Y向电机牵引沿水平面的Y向移动，所述X向电机的电机动子可沿水平面的X向移动；内部框架，支承所述X向导轨；运动台，设置在所述X向电机的电机动子上。本发明提供的技术方案使得Y向电机的运动单元整体减重，提升了运动台装置的模态和振动特性，所述X向导轨通过非接触式连接内部框架，对内部框架产生的振动冲击较小，同时使运动控制平稳，提升运动控制精度。
技术研发人员：葛黎黎;朱岳彬
受保护的技术使用者：上海微电子装备（集团）股份有限公司
技术研发日：2015.12.31
技术公布日：2017.07.07