防护膜组件框、防护膜组件及其制造方法、曝光原版及其制造方法、曝光装置以及半导体装置的制造方法与流程

技术总结
本发明提供防护膜组件框，其具备框主体，所述框主体具有：设置在一端面的槽，所述一端面是厚度方向的一端面并且是支撑防护膜侧的一端面；以及贯通外周面与设置在上述一端面的槽的壁面之间的贯通孔。

技术研发人员：高村一夫;小野阳介;种市大树;佐藤泰之;广田俊明
受保护的技术使用者：三井化学株式会社
文档号码：201580018782
技术研发日：2015.04.27
技术公布日：2016.12.14