1.一种电润湿元件，包括：
第一流体；
第二流体，其与所述第一流体不能混溶，所述第一流体和所述第二流体的配置是用施加电压可控制的；
至少一个电极，其用于提供所述施加电压；以及
支撑板，其具有供所述第一流体邻接的表面，其中所述支撑板包括至少部分地由包含硅和氟的材料形成的第一层。
2.根据权利要求1所述的电润湿元件，其中所述材料包含以下各项中的至少一项：硅氧化物或碳。
3.根据权利要求1所述的电润湿元件，其中所述材料是以下各项中的至少一项：玻璃或非聚合物。
4.根据权利要求1所述的电润湿元件，其中在所述施加电压是零电压的情况下，所述表面针对所述第一流体的可润湿性大于针对所述第二流体的可润湿性；并且
其中在所述施加电压是非零电压的情况下，所述表面针对所述第一流体的可润湿性低于针对所述第二流体的可润湿性。
5.根据权利要求1所述的电润湿元件，其中所述支撑板包括所述至少一个电极中的一个电极以用于在所述电极与所述第二流体之间施加所述施加电压，其中所述第一层的另一表面邻接所述电极，所述第一层使所述电极与所述第一流体分离。
6.根据权利要求1所述的电润湿元件，其中所述支撑板包括第二层，所述第二层具有供所述第一流体邻接的表面，其中所述第二层使所述第一层与所述第一流体分离。
7.根据权利要求6所述的电润湿元件，其中在所述施加电压是零电压的情况下，所述表面针对所述第一流体的可润湿性大于针对所述第二流体的可润湿性；并且
其中在所述施加电压是非零电压的情况下，所述表面针对所述第一流体的可润湿性低于针对所述第二流体的可润湿性。
8.根据权利要求6所述的电润湿元件，其中所述支撑板包括所述至少一个电极中的一个电极以用于在所述电极与所述第二流体之间施加所述施加电压，其中所述第一层的表面邻接所述电极，所述第一层使所述电极与所述第二层分离。
9.根据权利要求6所述的电润湿元件，其中所述第二层至少部分地由含氟聚合物形成。
10.根据权利要求1所述的电润湿元件，其中所述材料的折射率是以下各项中的一项或多项：约1.3至1.5、约1.35至1.45、或约1.4。
11.一种制造用于电润湿元件的支撑板的方法，所述电润湿元件包括第一流体和与所述第一流体不能混溶的第二流体，所述第一流体和所述第二流体的配置是用施加电压可控制的，所述方法包括：
提供根据图案形成以用于施加所述施加电压的至少一个电极来作为制造的所述支撑板的部分；以及
在所述至少一个电极上沉积材料的第一层，所述材料至少部分地包含硅和氟。
12.根据权利要求11所述的方法，其中所述沉积材料的第一层包括使用化学气相沉积工艺。
13.根据权利要求12所述的方法，其中所述化学气相沉积工艺包括控制射频功率以选择所述材料中氟的比例。
14.根据权利要求12所述的方法，其中所述化学气相沉积工艺包括控制以下参数中的至少一个参数：温度或射频功率，以选择以下各项中的至少一项：所述材料的折射率、硬度或介电常数。
15.根据权利要求11所述的方法，其中所述沉积材料的第一层包括形成所述第一层的供所述电润湿元件的所述第一流体邻接的表面。