1.一种光波导，其特征在于，包括：
依次堆叠的衬底(01)、埋氧层(02)、波导层(06)、包层(03)和防潮层(05)；
所述防潮层(05)覆盖所述包层(03)表面上的至少部分区域，所述至少部分区域包括与所述波导层(06)正对的区域。
2.根据权利要求1所述的光波导，其特征在于，
所述埋氧层(02)覆盖所述衬底(01)的第一表面的至少部分区域，所述波导层(06)覆盖所述埋氧层(02)的第一表面的第一区域，所述包层(03)覆盖所述埋氧层(02)的第一表面上除所述第一区域之外的至少部分区域和所述波导层(06)，
其中，所述衬底(01)的第一表面为所述衬底(01)上靠近所述埋氧层(02)的一侧的表面，所述埋氧层(02)的第一表面为所述埋氧层(02)上远离所述衬底(01)的一侧的表面。
3.根据权利要求2所述的光波导，其特征在于，
所述埋氧层(02)覆盖所述衬底(01)的第一表面，所述埋氧层(02)的第一表面上除所述第一区域之外的区域包括第二区域、第三区域、第四区域和第五区域，所述第二区域与所述第三区域之间间隔所述第五区域，所述第三区域和第四区域均与所述第一区域相邻，所述第三区域位于所述第一区域的一侧，所述第四区域位于所述第一区域的另一侧；
所述包层(03)包括第一包层(031)和第二包层(032)，所述第一包层(031)覆盖所述第二区域，所述第二包层(032)覆盖所述第三区域、所述波导层(06)和所述第四区域；
所述防潮层(05)覆盖所述第一包层(031)的第一表面的至少部分区域、所述第二包层(032)的第一表面、所述第一包层(031)上靠近所述第二包层(032)的侧壁、所述第二包层(032)上靠近所述第一包层(031)的侧壁以及所述第五区域，
其中，所述第一包层(031)的第一表面为所述第一包层(031)上远离所述埋氧层(02)的一侧的表面，所述第二包层(032)的第一表面为所述第二包层(032)上远离所述埋氧层(02)的一侧的表面。
4.根据权利要求2所述的光波导，其特征在于，
所述埋氧层(02)覆盖所述衬底(01)的第一表面，所述埋氧层(02)的第一表面上除所述第一区域之外的至少部分区域包括第二区域、第三区域和第四区域，所述第三区域和第四区域均与所述第一区域相邻，所述第三区域位于所述第一区域的一侧，所述第四区域位于所述第一区域的另一侧；
所述埋氧层(02)上具有凹槽，所述凹槽的槽口的朝向背离所述衬底(01)，所述第二区域位于所述凹槽的第一内侧壁的一侧，所述第三区域、所述第一区域和所述第四区域位于所述凹槽的第二内侧壁的一侧，所述凹槽的第一内侧壁与所述第二凹槽的第二内侧壁是相对的；
所述包层(03)包括第一包层(031)和第二包层(032)，所述第一包层(031)覆盖所述第二区域，所述第二包层(032)覆盖所述第三区域、所述波导层(06)和所述第四区域；
所述防潮层(05)覆盖所述第一包层(031)的第一表面的至少部分区域、所述第二包层(032)的第一表面、所述第一包层(031)上靠近所述第二包层(032)的侧壁、所述第二包层(032)上靠近所述第一包层(031)的侧壁以及所述凹槽的内表面，
其中，所述第一包层(031)的第一表面为所述第一包层(031)上远离所述埋氧层(02)的一侧的表面，所述第二包层(032)的第一表面为所述第二包层(032)上远离所述埋氧层(02)的一侧的表面，所述凹槽的内表面包括所述第一内侧壁、所述第二内侧壁和所述凹槽的底面。
5.根据权利要求2所述的光波导，其特征在于，
所述衬底(01)的第一表面包括第六区域、第七区域和第八区域，所述第六区域与所述第七区域之间间隔所述第八区域；
所述埋氧层(02)包括第一埋氧层(021)和第二埋氧层(022)，所述第一埋氧层(021)覆盖所述第六区域，所述第二埋氧层(022)覆盖所述第七区域，所述波导层(06)覆盖所述第二埋氧层(02)的第一表面的第一区域，所述第二埋氧层(022)的第一表面为所述第一埋氧层(022)上远离所述衬底(01)的一侧的表面；
所述包层(03)包括第一包层(031)和第二包层(032)，所述第一包层(031)覆盖所述第一埋氧层(021)的第一表面，所述第二包层(032)覆盖所述波导层(06)和所述第二埋氧层(022)的第一表面上除所述第一区域之外的区域，所述第一埋氧层(021)的第一表面为所述第一埋氧层(021)上远离所述衬底(01)的一侧的表面；
所述防潮层(05)覆盖所述第一包层(031)的第一表面的至少部分区域、所述第二包层(032)的第一表面、所述第一包层(031)上靠近所述第二包层(032)的侧壁、所述第二包层(032)上靠近所述第一包层(031)的侧壁、所述第一埋氧层(021)上靠近所述第二埋氧层(022)的侧壁、所述第二埋氧层(022)上靠近所述第一埋氧层(021)的侧壁以及所述第八区域，
其中，所述第一包层(031)的第一表面为所述第一包层(031)上远离所述埋氧层(02)的一侧的表面，所述第二包层(032)的第一表面为所述第二包层(032)上远离所述埋氧层(02)的一侧的表面。
6.根据权利要求2所述的光波导，其特征在于，所述包层(03)覆盖所述埋氧层(02)的第一表面上除所述第一区域之外的区域和所述波导层(06)。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的光波导，其特征在于，还包括：
上包层(07)，所述上包层(07)覆盖所述防潮层(05)上远离所述包层(03)的一侧表面。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的光波导，其特征在于，所述防潮层(05)包括一层或多层子防潮层。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的光波导，其特征在于，所述防潮层(05)包括以下至少一种材料：SixN1-x、SiON、Al和Al1-xOx，其中0<x<1。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的光波导，其特征在于，所述防潮层(05)与所述波导层(06)之间的距离大于或等于1μm且小于或等于20μm。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的光波导，其特征在于，所述防潮层(05)的厚度大于或等于2nm且小于或等于200nm。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的光波导，其特征在于，所述光波导为反向楔形模斑转换器。