技术总结
本发明实施例提供了一种光波导，包括：依次堆叠的衬底(01)、埋氧层(02)、波导层(06)、包层(03)和防潮层(05)；所述防潮层(05)覆盖所述包层(03)表面上的至少部分区域，所述至少部分区域包括与所述波导层(06)正对的区域。本发明实施例的光波导，通过在包层表面设置防潮层，能够提高光波导的防潮性能，以减少湿度变化对该光波导的模场分布和模场大小的影响。
技术研发人员：费永浩;朱以胜;孙敏
受保护的技术使用者：华为机器有限公司
文档号码：201611019852
技术研发日：2016.11.18
技术公布日：2017.05.10