技术总结
本发明提供一种光罩散热装置及其工作方法，其中，所述散热装置包括：冷却器，所述冷却器包括：冷却区、入水区和出水区；位于所述冷却器的冷却区中的冷却管道孔，所述冷却区用于与光罩贴合；位于所述冷却器的入水区中的入水管道孔，所述入水管道孔用于使冷却液流入所述冷却管道孔；位于所述冷却器的出水区中的出水管道孔，所述出水管道孔用于使冷却液流出所述冷却管道孔。所述冷却器能够与光罩贴合，冷却液能够在所述冷却管道孔中流动，因此在光刻过程中冷却液可以带走所述光罩产生的热量，从而能够对所述光罩进行冷却，进而减少光罩的形变，增加套刻精度。
技术研发人员：刘玄;
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;
文档号码：201611073836
技术研发日：2016.11.29
技术公布日：2018.06.05