一种探针部件及其制作方法、以及探针块和检测装置与流程

本发明涉及显示、检测技术领域，尤其涉及一种探针部件及其制作方法、以及探针块和检测装置。

背景技术：

目前，在液晶面板制造过程中，需要多道检测工序来及时检查出工程中产生的不良，为降低成本，多数厂家选择在成盒后、贴偏光膜前对面板进行点灯检测。现有的探针块的结构由柔性电路、驱动集成电路、以及薄膜探针部件组成；在点灯测试过程中，需要将前端薄膜探针部件与显示面板上每个信号输入端子精确接触，以便能够将每一个数据线和栅线信号单独传到显示面板上对应的信号输入端子上，实现信号的传输。

如图1所示，为现有的探针部件的结构侧视图，包括多个探针01，与每个探针对应的连接线02，以及绝缘层03。在日常生产过程中，探针块上的探针需要与不同显示面板接触进行重复性测试，因而很容易造成探针磨损，而探针的高度较低会影响探针块的使用寿命。另外，前工序生产的显示面板表面时常会残留玻璃碎屑，玻璃碎屑很容易划断探针块的连接线，造成探针块损坏。例如，型号为55的探针块每测试10000片显示面板，就会有3-5个探针发生损坏，生产过程中也经常出现绝缘层和连接线局部烧坏现象。

综上所述，目前探针部件在点灯检测过程中，不仅探针会因为接触磨损而造成耐用性差，而且显示面板信号输入端子上残留的玻璃碎屑等异物会划断连接线，进而降低了探针部件的使用寿命。

技术实现要素：

本发明实施例提供的一种探针部件及其制作方法、以及探针块和检测装置，用以解决目前探针部件在点灯检测过程中，不仅探针会因为接触磨损而造成耐用性差，而且显示面板信号输入端子上残留的玻璃碎屑等异物会划断连接线，进而降低了探针部件的使用寿命，同时，绝缘层的耐热性能较差，容易导致局部烧坏的问题。

基于上述问题，本发明实施例提供了一种探针部件，包括：绝缘层，探针，以及连接线；其中，

所述绝缘层设置有过孔；所述连接线设置于所述绝缘层的一表面；所述探针设置在所述过孔中，且一端凸出于所述过孔、另一端与所述连接线相连。

较佳的，所述绝缘层的材料为聚酰亚胺。

较佳的，所述探针凸出于所述过孔的高度为0.015mm-0.03mm。

较佳的，若包括多个过孔，所述多个过孔在所述绝缘层上按照第一间隔平行排列。

较佳的，所述探针部件包括多个过孔，所述多个过孔在所述绝缘层上按照第二间隔排列，且所述多个过孔中每连续的两个或多个过孔之间错位排列。

较佳的，每个连接线完全覆盖与该连接线对应的过孔。

本发明实施例提供了一种探针块，包括：柔性电路，驱动集成电路，以及本发明实施例提供的上述探针部件。

本发明实施例提供了一种检测装置，包括信号转换装置，所述检测装置还包括本发明实施例提供的上述探针块。

本发明实施例提供了一种本发明实施例提供上述探针部件的制作方法，包括：

在载体上形成一整层的绝缘层；

在所述绝缘层的一侧表面上形成连接线；

在所述绝缘层上远离所述连接线的一侧制作过孔，并使所述过孔仅贯穿所述绝缘层；

在所述过孔中制作探针，并使所述探针的一端凸出于所述过孔，另一端与所述连接线相连。

较佳的，在所述过孔中制作探针，具体包括：在所述过孔中采用过孔电镀工艺制作探针。

本发明的有益效果：

本发明实施例提供的探针部件，将探针设置到绝缘层上的过孔中，因而过孔处的绝缘层可以对探针的侧面起到一定支撑作用，缓解探针正面的压力，提高探针受力强度，进而提高制作探针的高度；同时，将连接线设置在绝缘层上远离探针凸出于过孔的一侧，可以避免显示面板信号输入端子上残留的玻璃碎屑等异物划断连接线，从而提高了探针部件的使用寿命。同时，本发明实施例提供的探针部件，将绝缘层的材料变为耐高温的聚酰亚胺，可以有效防止绝缘层和连接线由于局部过热而出现烧坏的现象。

附图说明

图1为现有技术中探针部件的侧视结构示意图；

图2为本发明实施例提供的探针部件的侧视结构示意图；

图3A为本发明实施例提供的过孔平行排列的俯视结构示意图；

图3B为本发明实施例提供的过孔错位排列的俯视结构示意图；

图4为本发明实施例提供的探针部件底端的俯视结构示意图；

图5为本发明实施例提供的探针部件制作方法的步骤流程图；

图6A-图6B分别为本发明实施例提供的探针部件的制作方法中各步骤执行后的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，并不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

其中，附图中各个结构的大小和形状不反映其真实比例，目的只是示意说明本发明的内容。

本发明实施例涉及到的探针部件中的探针是指的需要与待检测显示面板上的信号输入端子直接接触，为其提供检测信号的针体部分；连接线是指的在点灯检测过程中，能够为待检测显示面板传输检测信号、且与探针相连的信号导线；绝缘层是指的用于承载探针和连接线、且起到一定绝缘作用的薄膜；上述探针、连接线和绝缘层只是根据其作用所起的名称，也可以改成其它的名称。

本发明实施例提供的一种探针部件，主要是针对薄膜型的探针部件，是在现有的探针部件的基础上，对其结构进行重新设计优化，进而可以增加探针部件中探针的高度，本发明中的结构适用于设置有绝缘层的任意探针部件。下面对其具体结构进行详细的说明。

如图2所示，为本发明实施例提供的探针部件的侧视结构示意图；该探针部件包括：绝缘层201，探针202，以及连接线203；其中，绝缘层201设置有过孔204；连接线203设置于绝缘层201的一表面；探针202设置在过孔204中，且一端凸出于过孔204、另一端与连接线203相连。

在具体实施时，由于现有技术中探针部件的探针和连接线均设置在绝缘层上靠近待检测显示面板的一侧，因此探针能够设置的高度有限，影响了探针部件使用寿命。因而本发明实施例提供的探针部件，将探针设置到绝缘层上的过孔中，过孔处的绝缘层可以对探针的侧面起到一定支撑作用，缓解探针正面的压力，提高探针受力强度，进而提高制作探针的高度；同时，将连接线设置在绝缘层上远离探针凸出于过孔的一侧，可以避免显示面板信号输入端子上残留的玻璃碎屑等异物划断连接线，从而提高了探针部件的使用寿命。

其中，设置在绝缘层上的过孔数量和位置，都可以根据待检测显示面板所需要的探针数量和位置进行调整和设置。

在具体实施时，本发明实施例提供的探针部件，将探针设置在了绝缘层201的过孔204中，如图2所示，探针202凸出于过孔204的一侧，即需要与待检测显示面板直接接触的一端a，其结构凸出于图2中绝缘层201的上表面；探针202的底端，即需要与连接线连接的一端b，其结构与绝缘层201的下表面齐平，并与设置在绝缘层201下表面的连接线203相连。

由于现有技术中，探针的高度一般设置在0.006mm-0.012mm，因此在与不同显示面板接触进行重复性测试的过程中，因而很容易造成探针磨损，进而影响探针部件的使用寿命。

进一步的，为了提高探针部件的使用寿命，本发明实施例提供的探针部件的结构，可以增加探针设置的高度。较佳的，探针凸出于过孔的高度为0.015mm-0.03mm。因而在使用过程中，即便有探针磨损的情况，高度较高的探针也可以测试更多的次数，进而延长探针部件的使用寿命。

另外，本发明实施例提供的探针部件中探针和连接线的结构虽然有所改进，但其制作所用的材料并没有特殊要求。

然而，现有技术中绝缘层的材料一般为聚对苯二甲酸乙二醇酯PET，其耐热性能为80℃，为了提高绝缘层的耐热性能，较佳的，绝缘层的材料为聚酰亚胺。其可以具有300℃的耐热性能，可以有效防止绝缘层和连接线由于局部过热而出现烧坏的现象。

在具体实施时，探针的高度变高了，其具体的截面形状可以根据需要进行设置。较佳的，探针在垂直于绝缘层表面方向上的截面形状为矩形，或梯形。如图2所示，探针202的形状即为垂直于绝缘层表面方向上的截面形状，可以为如图所示的矩形，也可以设置为探针凸出于过孔的较窄、低端较宽的梯形，当然也可以根据需要设置为其它任意的形状。

在具体实施时，一般在每个探针部件上会设置多个探针，相应的，本发明实施例提供的探针部件可以包括多个用于设置探针的过孔。由于过孔是用来设置探针的，因而过孔的位置以及排列方式，可以可以根据待检测显示面板上信号输入的引线之间的间距和引线的线宽等参数进行设置。

例如，两个探针之间的间距又取决于两条引线之间的间距。为了防止由于探针过宽，而导致一个探针同时触碰到两条待检测显示面板上信号输入的引线，探针的宽度(即过孔的宽度)必须小于两条引线之间的间距。

下面介绍两种过孔的排列方式，但本发明中的过孔并不仅限于这两种排列方式，也可以根据需要设置为其它的排列方式。

第一种，平行排列。

较佳的，探针部件包括多个过孔，多个过孔在绝缘层上按照第一预设间隔平行排列。

具体的，为了制作方便，在两个探针之间的间距满足要求的前提下，如图3A所示，为本发明实施例提供的过孔平行排列的俯视结构示意图；该图从探针部件凸出于过孔一侧(即在点灯检测时靠近待检测显示面板的一端)俯视时的结构示意图，可以将多个过孔按照第一预设间隔d1均匀排列，且多个过孔互相平行，则相应的设置在过孔中的探针也平行排列。

然而图3A中所示的过孔平行排列的方式，由于受到过孔对应的连接线的宽度限制，因而过孔之间需要保持一定间距，一般至少要与过孔的宽度相等。因而过孔之间可以制作的最小间距(即第一预设间隔d1)一般能够达到9-11μm，相应的，过孔平行排列的探针部件，也只能检测待信号输入的引线之间的最小间距在9-11μm之间的显示面板。

若想实现信号输入的引线更小间距的显示面板的检测，可以适当调整过孔的排列方式。

第二种，错位排列。

较佳的，探针部件包括多个过孔，多个过孔在绝缘层上按照第二预设间隔d2排列，且多个过孔中每连续的两个或多个过孔之间错位排列。

具体的，为了实现信号输入的引线更小间距的显示面板的检测，需要减小两个探针之间的间距，即需要减小两个过孔之间的间距。

如图3B所示，为本发明实施例提供的过孔错位排列的俯视结构示意图；该图也是从探针部件凸出于过孔一侧(即在点灯检测时靠近待检测显示面板的一端)俯视时的结构示意图，可以将连续的两个过孔按照第二预设间隔d2错位排列，此时的第二预设间隔d2可以设置的小于第一预设间隔d1，相应的，设置在过孔中的探针也错位排列。同时，错位之后的过孔之间平行排列，即形成图3中平行的两排过孔。

如图3B所示的过孔错位排列的方式，过孔之间可以制作的水平间距(即第二预设间隔d2)一般可以小于9μm，甚至可以达到4.5μm，相应的，过孔错位排列的探针部件，也可以用来检测待信号输入的引线之间的间距小于9μm的显示面板。

进一步的，也可以根据需要设置为连续的三个或者多个过孔之间进行错位排列，而错位以后的过孔可以像图3B一样平行排列，也可以不平行排列，具体的错位排列的方式可以有很多种形式，在此并不做限定。

进一步的，过孔的轮廓形状，即图3A和图3B中看到的过孔的形状，可以根据需要设置的探针形状进行设置。较佳的，过孔的轮廓形状为矩形，圆形或椭圆形。

如图4所示，为本发明实施例提供的探针部件底端的俯视结构示意图；从探针部件底端(即在点灯检测时远离待检测显示面板的一端)俯视时的结构示意图，图中203为连接线的图形，连接线设置在绝缘层201的一侧表面上，图中所示包括多条连接线，其中连接线下端对应的虚线框表示过孔204的位置。

一般在每个探针部件上会设置多个探针，相应的，每个探针都对应设置有一条连接线。为了使连接线能够更好的为探针传输检测信号，较佳的，每个连接线完全覆盖与该连接线对应的过孔。即如图4所示，连接线完全遮盖住过孔204的轮廓，进而使探针的底端可以与连接线完全接触。

基于同一构思，本发明实施例还提供了一种本发明实施例提供的上述探针部件的制作方法，如图5所示，具体可以采用如下步骤实现：

步骤501，在载体上形成一整层的绝缘层；

步骤502，在绝缘层的一侧表面上形成连接线；

步骤503，在绝缘层上远离连接线的一侧制作过孔，并使过孔仅贯穿绝缘层；

步骤504，在过孔中制作探针，并使探针的一端凸出于过孔，另一端与连接线相连。

在具体实施时，先在载体上形成一整层的绝缘层，之后再在绝缘层的一侧表面上形成连接线，得到如图6A所示的连接线排布的俯视结构示意图。

进一步的，在步骤502之后，再在连接线对应的较宽的位置处制作过孔，制作过孔时，可以将已经制作的膜层进行翻转，然后从绝缘层上远离连接线的一侧进行制作，并使制作的过孔仅贯穿绝缘层，不损坏连接线，得到如图6B所示的，执行完步骤503之后，探针部件的侧面结构示意图。

具体的，在步骤503之后，开始在过孔中制作探针，制作的探针满足一端凸出于过孔，形成用于与待检测显示面板的信号输入端子直接接触的探针凸出于过孔一侧，另一端与过孔齐平，以便能够与连接线相连。得到如图2所示的探针部件的侧面结构示意图。

较佳的，在过孔中制作探针，具体包括：在过孔中采用过孔电镀工艺制作探针。其中，步骤504中除了可以采用过孔电镀工艺制作探针之外，还可以先制作一整层的用于形成探针的膜层，再采用曝光、显影、剥离的方式，剥离多余的部分，剩余探针结构；又或者，也可以制作模具，使模具掩盖住绝缘层上过孔以外的区域，直接采用浇注的方式制作出探针的结构。

基于同一构思，本发明实施例中还提供了一种探针块，包括：柔性电路，驱动集成电路，以及本发明实施例提供的上述探针部件。由于该探针块解决问题的原理与本发明实施例提供的上述任一探针部件相似，因此，该探针块的实施可以参见上述任一探针部件的实施，重复之处不再赘述。

基于同一构思，本发明实施例中还提供了一种检测装置，包括信号转换装置，检测装置还包括本发明实施例提供的上述探针块。由于该检测装置解决问题的原理与本发明实施例提供的上述任一探针块相似，因此，该检测装置的实施可以参见上述任一探针块的实施，重复之处不再赘述。

综上所述，本发明实施例提供的探针部件，将探针设置到绝缘层上的过孔中，因而过孔处的绝缘层可以对探针的侧面起到一定支撑作用，缓解探针正面的压力，提高探针受力强度，进而提高制作探针的高度；同时，将连接线设置在绝缘层上远离探针凸出于过孔的一侧，可以避免显示面板信号输入端子上残留的玻璃碎屑等异物划断连接线，从而提高了探针部件的使用寿命。同时，本发明实施例提供的探针部件，将绝缘层的材料变为耐高温的聚酰亚胺，可以有效防止绝缘层和连接线由于局部过热而出现烧坏的现象。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。