技术特征：
技术总结
本发明实施例公开了一种单极涡旋光栅，包括衬底薄膜和位于衬底薄膜中的穿所述衬底薄膜的多个透光通孔列，所述多个透光通孔列构成光栅，且每个透光通孔列有多个透光通孔构成；其中，所述透光通孔列的中心位置为对平面波加载涡旋相位分布图后获得的全息干涉图二值化后的平衡位置，所述透光通孔列中各透光通孔的位置为所述透光通孔列所在平衡位置随机扰动后的位置，从而利用空间相位调节机制实现了类正弦光栅的单极输出，抑制了高次谐波的多级输出，达到和全息图类似的效果，提高了信噪比，进而消除了高谐波污染，提高了分辨率。
技术研发人员：谢常青;王恩亮;史丽娜;李海亮;刘明;高南
受保护的技术使用者：中国科学院微电子研究所
技术研发日：2017.05.27
技术公布日：2018.12.04