技术特征：
技术总结
本发明提供了一种光控太赫兹空间外部相位调制器，属于电磁功能器件技术领域。本发明是由半导体衬底、人工微结构以及可控动态开关构成，通过施加外部光诱导，改变开关材料的电导率和介电常数，由此改变人工微结构的电磁谐振模式，从而对太赫兹波实现相位调制。本发明提供的相位调制器可以在大带宽内实现100度以上的相位调制深度以及超过150度的最大相位调制能力；可通过微细加工技术实现，制备工艺成熟可靠；实现了半导体材料与人工微结构阵列相结合的动态相控器件，其开关材料可选用多种高性能半导体材料，有多种调控方式可选，在太赫兹无线通信、太赫兹波谱技术、太赫兹安检成像等领域具有很好的实际应用价值。
技术研发人员：张雅鑫;赵运成;梁士雄;杨梓强
受保护的技术使用者：电子科技大学
技术研发日：2017.06.21
技术公布日：2017.11.10