光刻胶组合物以及使用该组合物的金属图案的形成方法与流程

文档序号:13803696阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开一种述光刻胶组合物,包括:酚醛清漆系树脂、二叠氮化物系感光性化合物、噻二唑系化合物、第一溶剂以及第二溶剂,其中,所述噻二唑系化合物选自用以下化学式1表示的化合物,所述第一溶剂的沸点为110℃至190℃,所述第二溶剂的沸点为200℃至400℃。<化学式1>在所述化学式1中,对X1、X2以及R3的说明请参照本说明书的记载。

技术研发人员:金贞元;朴光雨;周振豪;郑炳和;金京浩;金东敏;金奉珍;金昇起
受保护的技术使用者:三星显示有限公司;株式会社东进世美肯
技术研发日:2017.08.10
技术公布日:2018.02.23
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