技术总结
本发明提供一种光罩存储装置，所述光罩存储装置包括用于存储光罩的存储箱、驱动结构及检测器，所述存储箱包括箱体和箱门，所述箱门与所述箱体转动连接，所述驱动结构与所述箱门连接，所述箱门具有打开状态和闭合状态，所述驱动结构用于驱动所述箱门在打开状态或闭合状态之间转换，所述检测器用于检测所述箱门是处于打开状态还是处于闭合状态。本发明提出的光罩存储装置通过检测器可以检测所述箱门是出于打开状态还是处于闭合状态，从而可以对光罩的搬运过程进行监控，整个光罩存储装置结构简单、能够自动对光罩的搬运过程进行监控、不会造成设备停机、降低了光罩搬运的风险。
技术研发人员：魏德萌
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
技术研发日：2017.12.28
技术公布日：2018.06.19