GOA电路的信号走线结构以及阵列基板、液晶显示面板的制作方法

本发明涉及显示器技术领域,尤其涉及一种goa电路的信号走线结构，还涉及包含所述goa电路的信号走线结构的阵列基板和液晶显示面板。

背景技术：

近些年来，液晶显示器的发展呈现出了高集成度，低成本的发展趋势。其中一项非常重要的技术就是goa(gatedriveronarray，阵列基板行驱动)的技术量产化的实现。利用goa技术将栅极开关电路集成在液晶显示面板的阵列基板上，从而可以省掉栅极驱动集成电路部分，以从材料成本和制作工艺两方面降低产品成本。这种利用goa技术集成在阵列基板上的栅极开关电路也称为goa电路。

采用goa技术的阵列基板通常包括像素显示区和像素显示区以外的驱动电路区。其中，像素显示区设置有多行像素单元，每行像素单元与一根扫描线相连。驱动电路区通常布置有多个goa电路以及与goa电路连接的信号走线，所述信号走线例如是向goa电路输入时钟信号的clk走线，输入恒压高电位的vgh走线、输入恒压低电位的vgl走线以及输出扫描信号的gate走线。多个goa电路设置在像素显示区的同一侧且沿与扫描线垂直的方向(简称竖直方向)排列，每个goa电路通过一条gate走线与一行像素单元的扫描线相连。

对于沿竖直方向排列的多个goa电路，其中的一些信号走线是共用的，这些共用的信号走线也是沿着竖直方向延伸，并分别连接到各个goa电路。因此，连接在goa电路和扫描线之间的gate走线通常会与一些所述共用的信号走线相互交叉。参阅图1，以向goa电路输入恒压低电位的vgl走线为例，vgl走线沿竖直方向(如图中y方向)延伸，连接到各个goa电路(图1中仅示例性示出了其中一个)，gate走线沿水平方向(如图中x方向)延伸横跨vgl走线，将goa电路和对应的扫描线(scan)连接。

通常地，gate走线和vgl走线是设置在不同金属层中，其间具有层间绝缘层。在goa阵列基板的制备工艺中，经常会遇到较高电压的静电放电(electro-staticdischarge，esd)的现象，静电放电容易引起层间绝缘层发生炸伤形成孔洞，当孔洞是形成在gate走线和vgl走线相互重叠的区域，则会使得gate走线和vgl走线短路，导致显示面板显示异常。如图1所示，现有技术中，gate走线和vgl走线相互重叠的面积较大，增大了发生短路不良的风险。

技术实现要素：

有鉴于此，本发明提供了一种goa电路的信号走线结构，以降低相互重叠的信号走线因层间绝缘层被炸伤而发生短路不良的风险，提高产品良率。

为了实现上述的目的，本发明采用了如下的技术方案：

一种goa电路的信号走线结构，包括与goa电路连接的第一信号线和第二信号线，其中，所述第一信号线图案化形成在第一金属层中，所述第二信号线图案化形成在第二金属层中，所述第一金属层和所述第二金属层相互绝缘；所述第一信号线包括与所述第二信号线相互交叉的第一部分，所述第二信号线上设置有图形化的镂空区，所述第一信号线的第一部分在所述第二信号线上的投影位于所述图形化的镂空区中。

其中，所述第一信号线的第一部分从所述第二信号线的第一侧横跨至与所述第一侧相对的第二侧。

其中，所述第一信号线的第一部分呈直线状延伸。

其中，所述第二信号线沿第一方向延伸，所述第一信号线的第一部分沿垂直于所述第一方向横跨所述第二信号线。

其中，所述图形化的镂空区中设置有一个方形通孔或者是两个以上相互间隔的方形通孔。

其中，所述方形通孔的宽度不小于所述第一信号线的第一部分的线宽。

其中，所述第一金属层和所述第二金属层之间设置有层间绝缘层，所述第一金属层和所述第二金属层的材料选自cr、w、ti、ta、mo、al和cu中的一种或两种以上的组合，所述层间绝缘层的材料为siox或sinx，或者是siox和sinx的组合。

其中，所述第一信号线为用于将所述goa电路产生的扫描信号输出的信号线，所述第二信号线为用于向所述goa电路输入恒压低电位的信号线。

本发明还提供了一种阵列基板，所述阵列基板上形成有goa电路，其中，所述goa电路设置有如上所述的信号走线结构。

本发明的另一方面是提供一种液晶显示面板，其包括相对设置的阵列基板和滤光基板，所述阵列基板和所述滤光基板之间设置有液晶层，其中，所述阵列基板。

本发明实施例中提供的goa电路的信号走线结构，对于具有相互重叠区域的第一信号线和第二信号线，在第二信号线上对应于与第一信号线相互交叉的区域设置有图形化的镂空区，以减小第一信号线和第二信号线之间的正对面积，从而大幅度降低了相互重叠的信号走线因层间绝缘层被炸伤而发生短路不良的风险，提高产品良率。

附图说明

图1是现有技术中goa电路的信号走线结构的平面结构示意图；

图2是本发明实施例中的阵列基板的结构示意图；

图3是本发明实施例中goa电路的信号走线结构的平面结构示意图；

图4是如图3中沿着a-a线的剖面结构示意图；

图5是本发明的另一实施例中的图形化的镂空区的结构示意图；

图6是本发明的另一实施例中的图形化的镂空区的结构示意图；

图7是本发明实施例中的液晶显示面板的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。这些优选实施方式的示例在附图中进行了例示。附图中所示和根据附图描述的本发明的实施方式仅仅是示例性的，并且本发明并不限于这些实施方式。

在此，还需要说明的是，为了避免因不必要的细节而模糊了本发明，在附图中仅仅示出了与根据本发明的方案密切相关的结构和/或处理步骤，而省略了与本发明关系不大的其他细节。

本实施例首先提供了一种阵列基板，如图2所示，所述阵列基板包括显示区1和外围线路区2，所述外围线路区2环绕于所述显示区1的侧面。

其中，所述显示区1中设置有数据线11、扫描线12和像素结构px，多条数据线11和多条扫描线12纵横交错布置，所述像素结构px位于数据线11和扫描线12的交叉区域，多个像素结构px呈矩阵阵列排布(附图2中仅示例性示出了若干个像素结构px)，每个像素结构px分别电性连接到数据线11和扫描线12。

其中，所述外围线路区2中设置有源极驱动单元3和栅极驱动单元4。所述显示区1中的数据线11连接到所述源极驱动单元3，所述源极驱动单元3通过所述数据线11向所述像素结构px提供数据信号。所述显示区1中的扫描线12连接到所述栅极驱动单元4，所述栅极驱动单元4通过所述扫描线12向所述像素结构px提供扫描信号。

本实施例中，所述源极驱动单元3采用覆晶薄膜(chiponfilm，cof)。所述栅极驱动单元4则采用goa(gatedriveronarray)电路，如图2所示，所述栅极驱动单元4中设置有多个goa电路41，每一个goa电路41对应于一条所述扫描线12。

通常地，所述goa电路41连接有各种信号走线，所述信号走线例如是向goa电路输入时钟信号的clk走线、输入恒压高电位的vgh走线、输入恒压低电位的vgl走线以及输出扫描信号的gate走线等。需要说明的是，所述goa电路41及其信号走线、以及所述显示区1中的数据线11、扫描线12和像素结构px等，都是通过构图工艺形成在阵列基板的衬底基板上。

与所述goa电路41连接的各种信号走线中，将所述goa电路41输出的扫描信号连接到所述扫描线12的gate走线通常会与其他一些信号走线具有交叉重叠的部分，当两者之间的层间绝缘层被静电放电炸伤时，交叉重叠区域发生短路不良的风险极高。

为了解决以上提到的问题，本实施例还提供了一种goa电路的信号走线结构，以降低信号走线交叉重叠区域发生短路不良的风险。具体地，参阅图3和图4，所述信号走线结构包括与所述goa电路41连接的第一信号线42和第二信号线43。本实施例中，所述第一信号线42是指用于将所述goa电路41产生的扫描信号连接到所述扫描线12的gate走线，所述第二信号线43是指用于向所述goa电路41输入恒压低电位的vgl走线。

其中，如图4所示，所述第一信号线42和所述第二信号线43通过构图工艺形成衬底基板10上，所述第一信号线42图案化形成在第一金属层20中，所述第二信号线43图案化形成在第二金属层30中，所述第一金属层10和所述第二金属层20之间设置有层间绝缘层40。通常地，所述第一金属层10在所述显示区1的像素结构px中是对应于栅极层，所述第二金属层20是对应于源漏极层，而所述层间绝缘层40则是对应于栅极绝缘层。其中，所述第一金属层20和所述第二金属层30的材料选自cr、w、ti、ta、mo、al和cu中的一种或两种以上的组合，所述层间绝缘层40的材料为siox或sinx，或者是siox和sinx的组合。

其中，如图3和图4所示，所述第一信号线42包括与所述第二信号线43相互交叉的第一部分42a，所述第二信号线43上设置有图形化的镂空区44，所述第一信号线42的第一部分42a在所述第二信号线43上的投影位于所述图形化的镂空区44中。具体地，所述第一信号线42的第一部分42a从所述第二信号线43的第一侧43a横跨至与所述第一侧43a相对的第二侧43b，所述图形化的镂空区44在所述第二信号线43上正对于所述第一信号线42的第一部分42a，所述图形化的镂空区44中包含了被刻蚀去除金属材料的孔状结构，从而减小了第一信号线42和第二信号线43之间的正对面积，需要说明的是，所述正对面积是指第一信号线42的导电部分与第二信号线43的导电部分相互正对的面积。因此，当所述层间绝缘层40因静电放电被炸伤形成有孔洞时，由于正对面积较小，孔洞位于正对面积位置的概率也减小，降低了第一信号线42和第二信号线43发生短路不良的风险。

本实施例中，如图3所示，所述第二信号线43沿第一方向(如图中y方向)延伸，所述第一信号线42的第一部分42a沿垂直于第一方向的第二方向(如图中x方向)横跨所述第二信号线43，并且所述第一信号线42的第一部分42a呈直线状延伸。

进一步地，如图3所示，本实施例中，所述图形化的镂空区44包括相互间隔的两个方形通孔44a、44b，所述方形通孔44a、44b的长度方向与所述第一信号线42的第一部分42a的延伸方向一致。其中，如图4所示，所述第一通孔44a和所述第二通孔44b的宽度h1不小于所述第一信号线42的第一部分42a的线宽h2。

在另外的一个实施例中，如图5所示，所述图形化的镂空区44中的两个方形通孔44a、44b中，其中一个通孔44a在所述第二信号线43上朝向所述第一侧43a延伸并在所述第一侧43a形成开口，另一个通孔44b在所述第二信号线43上朝向所述第二侧43b延伸并在所述第二侧43b形成开口。

在另外的一个实施例中，如图6所示，所述第二信号线43上的图形化的镂空区44中也可以是仅设置有一个方形通孔44c。易于理解的是，所述图形化的镂空区44也可以是设置有更多数量的相互间隔的方形通孔。

在另外的一些实施例中，所述图形化的镂空区44中的通孔也可以是设置为其他结构形状的通孔，例如是圆形通孔，或者是其他不规则形状的通孔。

如上实施例提供的阵列基板，其中的goa电路的信号走线结构中，通过在信号线相互重叠的区域设置有通孔，减小了信号线之间的正对面积，从而大幅度降低了相互重叠的信号走线因层间绝缘层被炸伤而发生短路不良的风险，提高产品良率。

本实施例首先提供了一种液晶显示面板，如图7所示，所述液晶显示面板包括相对设置的阵列基板100和滤光基板200，所述阵列基板100和所述滤光基板200之间设置有液晶层300。其中，所述阵列基板100采用了以上实施例中提供的阵列基板，所述阵列基板100中包含以上实施例中提供goa电路的信号走线结构。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上所述仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。