带有介质和金属线栅结构的红外偏振器的制作方法

文档序号:13700116阅读:来源:国知局
技术总结
本专利公开了一种带有介质和金属线栅结构的红外偏振器,本专利的偏振器,从下至上分别由透明基底,低折射率亚波长介质线栅层和亚波长金属线栅层构成。基底为中波红外波段透明材料,折射率在1.6到4.0之间,低折射率亚波长介质线栅层折射率在1.3‑2.4之间,金属线栅周期和介质线栅周期相同,在200‑500nm之间。通过基底和亚波长金属线栅之间插入一层具有同样占空比的低折射率亚波长介质线栅层,可有效地提高线栅偏振器在中波红外波段的TM偏振光的透射率和消光比。亚波长金属线栅偏振器具有体积小、可集成化、设计灵活、对偏振光敏感等特点,在集成光学、微纳器件等方面具有很大的应用前景。

技术研发人员:孔园园;罗海翰;刘定权
受保护的技术使用者:中国科学院上海技术物理研究所
文档号码:201720838809
技术研发日:2017.07.12
技术公布日:2018.02.13

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