电光有源装置的制作方法

技术特征：

技术总结
一种基于硅的电光有源装置及其生产方法，所述装置包括：绝缘体上硅(SOI)波导；在所述SOI波导的空腔内的电光有源堆叠；以及在所述电光有源堆叠与所述SOI波导之间的通道；其中所述通道由填充材料填充，所述填充材料的折射率大于形成所述空腔的侧壁的材料的折射率，以在所述通道中在所述SOI波导与所述电光有源堆叠之间形成桥波导。

技术研发人员：余国民;张毅;A.齐尔基
受保护的技术使用者：洛克利光子有限公司
技术研发日：2017.11.23
技术公布日：2019.04.02