技术特征：
技术总结
本发明提供一种薄膜用支承框(1)及使用有该薄膜用支承框的薄膜(8)以及其有效的制造方法，所述薄膜用支承框兼备低扬尘性和高耐光性，并且即使将短波长激光用于曝光光源的情况下，也至不生成烟雾的程度将离子洗脱量降低至极限。本发明涉及一种薄膜用支承框，其特征在于，具有：由铝或铝合金构成的框架材料(2)、形成于该框架材料的表面的阳极氧化皮膜(4)、和形成于该阳极氧化皮膜的表面的氟树脂涂层(6)。
技术研发人员：石户伸幸
受保护的技术使用者：日本轻金属株式会社
技术研发日：2017.08.29
技术公布日：2019.05.21