技术特征：
技术总结
本发明涉及一种硬掩模用组合物，其通过包含碳原子数6～35的芳香族化合物与下述化学式1的化合物的聚合物、以及溶剂，从而能够形成平坦性、溶解性和耐蚀刻性同时提高的硬掩模。下述化学式1中，R1和R2各自独立地为碳原子数1～8的烷基，彼此可以连接而形成环，烷基可以在主链上进一步包含一个以上的氧原子，Ar为来源于碳原子数6～20的芳香族化合物的官能团。
技术研发人员：梁敦植;梁振锡;朴根永;崔汉永;崔相俊
受保护的技术使用者：东友精细化工有限公司;崔相俊
技术研发日：2018.02.08
技术公布日：2018.08.21