技术特征：
技术总结
本发明公开了一种基于介质超表面的窄带滤光片，包括衬底、多层介质薄膜和在薄膜上制备的介质超表面。介质超表面为亚波长周期性结构，垂直入射的光束能够激发介质超表面内部光场的集群性相干振荡，并与入射光相互作用改变光的透射和反射特性。通过对于介质超表面结构单元和排布的设计，能够减小谐振的带宽，从而实现窄带滤波的特性。本发明还提供了制作方法，包括：在衬底上生长多层介质薄膜材料后，形成超表面图形结构的抗蚀掩模；将图形结构转移到顶层介质薄膜上；去掩模，清洗。本发明制作步骤简单且可与CMOS工艺兼容，能够同时实现窄带宽以及高消光比。与传统的多层膜窄带滤光片相比，降低了工艺成本，实现了更窄的带宽和更高的反射率。
技术研发人员：夏金松;袁帅;曾成
受保护的技术使用者：华中科技大学
技术研发日：2018.07.26
技术公布日：2018.12.18