技术总结
本发明提供一种顶针结构，包括：顶针柱；第一顶针帽，与顶针柱的顶部相连接；第二顶针帽，位于第一顶针帽的上方及外围，且与第一顶针帽或顶针柱可拆卸连接。本发明的顶针结构通过在顶针柱的顶部设置第一顶针帽及第二顶针帽两个顶针帽，且第二顶针帽位于第一顶针帽的上方及外围，并与第一顶针帽或顶针柱可拆卸连接；在初始使用时，第二顶针帽用于支撑晶圆，当第二顶针帽磨损时，将第二顶针帽取下，即可使用第一顶针帽支撑晶圆；本发明的顶针结构既可满足设备端对晶圆支撑的需求，又可以在位于外部的第二顶针帽磨损时使用第一顶针帽继续工作，不影响正常跑货生产，从而提高产能。
技术研发人员：邢磊
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：2018.09.27
技术公布日：2020.04.03