一种新型滤光片结构的制作方法

文档序号:16644670发布日期:2019-01-16 08:05阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种新型滤光片结构,包括基片,基片的横截面为直角梯形结构,基片的斜面上镀有膜系,膜系包括多个膜系层,膜系的上表面镀有金刚石晶体膜,所晶体膜与膜系的上表面之间还镀有一层应力缓冲层,应力缓冲层的材料热膨胀系数应该介于金刚石晶体与膜系上表面材料之间。该新型滤光片结构在梯形基片的侧面上镀膜,在膜系与金刚石晶体膜之间设置应力缓冲层,应力缓冲层的材料热膨胀系数应该介于金刚石晶体与膜系上表面材料之间,这样通过应力缓冲层可有效减小金刚石晶体膜与膜系之间的张应力,防止金刚石晶体膜出现防止镀膜出现裂、脱落的情况,可有效提高梯形滤光片的产品质量。

技术研发人员:王红
受保护的技术使用者:苏州文迪光电科技有限公司
技术研发日:2018.10.19
技术公布日:2019.01.15
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