技术总结
本发明公开了一种基于数字微镜LDI的装置及倾斜扫描方法，通过两组成像镜头和倾斜掩模完成倾斜扫描。本发明包含有DMD数字微镜，DMD数字微镜与第一组成像镜头之间设有全内反射TIR棱镜，第一组成像镜头远离DMD数字微镜的一端设有倾斜掩模，倾斜掩模远离第一组成像镜头的一端设有第二组成像镜头，第二组成像镜头远离倾斜掩模的一端设有目标面。本发明实现倾斜扫描功能，简化了曝光图形栅格化时数据处理难度，同时补偿在显影工艺上造成的精度误差。本发明使得每一行像素产生一定的移位，最终在目标面上呈现有如平行四边形的排布，简化了曝光图形栅格化时数据处理难度。
技术研发人员：蔡文涛;邱田生;陈振才
受保护的技术使用者：东莞市多普光电设备有限公司
技术研发日：2019.04.19
技术公布日：2019.07.23