一种高效光刻胶剥离液液面调节装置的制作方法

本实用新型涉及一种高效光刻胶剥离液液面调节装置，属于光刻剥离液技术领域。

背景技术：

液晶面板和触摸屏等制造过程中，还需要通过多次图形掩膜照射曝光及蚀刻等工序在硅晶圆或玻璃基片上形成多层精密的微电路，形成微电路之后，需进一步用光刻胶剥离液将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光刻胶除去。传统的移除光刻胶的工艺中，一般是将覆盖有该光刻胶层的基板浸入光刻胶剥离液中，使得该光刻胶层产生膨润、裂解而由该基板上剥离，而不同厚度的液晶面板以及电子屏幕则需要对光刻胶剥离液的液位高度不同，液面过低无法浸润透彻，从而无法完全去除光刻胶，影响成品质量；液面过高，会侵蚀到基板的保护层，导致板面元件损坏，为此在剥离过程中需要对剥离液的液位高度进行调节。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种结构紧凑，生产过程中可针对不同厚度的基板对剥离液的高度实现精确控制高效光刻胶剥离液液面调节装置。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种高效光刻胶剥离液液面调节装置，包括分离箱、分离池以及存储罐,其特征在于：所述分离池位于分离箱端面，所述存储罐位于分离箱内部，分离池与存储罐之间分别通过进液管与出液管相互连通，所述存储罐端面具有液体流入口，所述存储罐内设有活塞，所述分离箱内部设有驱动单元；

所述驱动单元主要包括：连接部、丝杠、丝杠副、丝杠架、马达、导向杆以及导向套；

所述连接部一端贯穿存储罐底部与活塞底部连接，另一端与导向套连接，丝杠架垂直于分离箱底部设置；丝杠插装在丝杠架上，导向杆与丝杠架平行固定，导向套套装在导向杆上，马达位于丝杠架上端，与丝杠连接，丝杠副装配在丝杠上，并与导向套通过连接件连接；

本实用新型一种高效光刻胶剥离液液面调节装置，所述连接部主要包括“u”型连接体以及位于“u”型连接体上端的一对连接胶垫；

所述“u”型连接体的两端通过一对连接胶垫分别与活塞底部和导向套进行固定连接；

本实用新型一种高效光刻胶剥离液液面调节装置，所述连接件为同步梁，同步梁由一对套环以及一体成型与一对套环上的连杆组成；

本实用新型一种高效光刻胶剥离液液面调节装置，所述马达与丝杠架之间设有马达紧固架，所述马达紧固架对马达起固定作用；

本实用新型一种高效光刻胶剥离液液面调节装置，所述分离箱底部设有四个减震垫；所述减震垫对分离箱起支撑缓冲作用；

本实用新型一种高效光刻胶剥离液液面调节装置，所述出液管内部设有电磁阀；所述电磁阀对出液管内的出液量进行控制。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过各部件之间的配合，对分离池内剥离液的液位进行调节，从而实现对液位的高度实现精确控制，使其能充分浸润基板上需剥离光刻胶的部位，从而避免了液面过高或过低对基板产生的影响；本装置结构紧凑、操作便捷、自动化程度高，生产效率高。

附图说明

图1为本实用新型一种高效光刻胶剥离液液面调节装置的结构示意图。

图2为本实用新型一种高效光刻胶剥离液液面调节装置的俯视结构示意图。

其中：分离箱1、分离池2、存储罐3、进液管4、出液管5、活塞6、减震垫7、丝杠副8、丝杠架9、马达10、导向杆11、导向套12、电磁阀13、丝杠14、连接件15、“u”型连接体16、连接胶垫17、马达紧固18。

具体实施方式

参见图1～2，本实用新型涉及的一种种高效光刻剥离液液面调节装置，主体包括分离箱1、分离池2以及存储罐3；所述分离池2位于分离箱1端面，存储罐3位于分离箱1内部，分离池2与存储罐3之间分别通过进液管4与出液管5相互连通，存储罐3端面具有液体流入口，并与进液管4连通；所述存储罐3内设有活塞6，分离箱1内部设有驱动单元；

其中利用驱动单元精确驱动存储罐3内部的活塞的运动量，从而使得位于存储罐3内部的剥离液可以精确的通过液体流入口流入到进液管4内，从而进一步流入到分离池2内；在分离池2内的剥离液过多后，可由出液管5流入到存储罐3内；在剥离液通过出液管5流入到存储罐3内，上述驱动单元驱动活塞6下降，防止不断通过液体流入口流入；

上述驱动单元主要包括连接部、丝杠14、丝杠副8、丝杠架9、马达10、导向杆11以及导向套12；

所述连接部一端贯穿存储罐3底部与活塞6底部连接，另一端与导向套12连接，丝杠架9垂直分离箱1底部设置，丝杠14插装在丝杠架9上，导向杆11与丝杠架9平行固定，导向套12套装在导向杆11上，马达10位于丝杠架9上端，与丝杠14连接，丝杠副8装配在丝杠14上，并与导向套12通过连接件15连接；

其中，马达10对丝杠架9上的丝杠14进行驱动，丝杠14转动，则丝杠14上的丝杠副8开始运作，由于丝杠副8与导向杆11上的导向套12之间设有连接件15，为此导向套12于丝杠副8同步运动，而导向套12通过连接部与活塞6进行了连接，为此活塞6跟随导向套12的移动而同步移动，就此可对活塞6的位移进行控制，间接的对剥离液溢出量进行控制；

上述连接部主要包括“u”型连接体16以及位于“u”型连接体16上端的一对连接胶垫17；

上述“u”型连接体16两端通过一对连接胶垫17分别与活塞6底部和导向套12进行固连，导向套12上下动作时带动活塞6同步动作，从而实现同步运动；

进一步的，连接件15可为同步梁，同步梁由一对套环以及一体成型与一对套环上的连杆组成；

进一步的，马达10与丝杠架9之间设有马达紧固架18，该马达紧固架18对马达10进行固定；

进一步的，分离箱1底部设有四个减震垫7；该减震垫7对分离箱1支撑；

进一步的，出液管5内部设有电磁阀13；该电磁阀13对出液管5内的出液量进行控制；

本装置工作原理：

将液晶面板和触摸屏架设于分离池2上，使其涂覆有光刻胶的一面向下朝向分离池2内的剥离液，通过本装置调节剥离液液面高度，使剥离液的高度位于适当位置，将需剥离光刻胶的部件全面浸润而不影响基板，开始光刻胶的剥离过程。

另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。