一种水基正胶剥离液的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种新型水基剥离液的制备方案，属于电子化学品领域。
【背景技术】
[0002] 正性光阻剥离液是微电子加工工序中所必不可少的基础原材料之一，在微米级加 工生产中，其品质的好坏，对产品质量及企业安全生产有极大的影响，目前国内绝大部分企 业所使用的剥离液仍为油性剥离液，毒性大、环境污染严重，且属于易燃品，对企业安全生 产有加大的眼里，本技术方案所开发的一种水基型剥离液，易降解，毒性小，遇明火不燃，能 很好地解决目前工艺所存在的诸多问题。
【发明内容】
[0003] (1)发明的水基正胶剥离液其成分组分比为
[0004]
[0005] ⑵原料的质量要求：
[0006] 各组分原料（水分除外）含量彡99. 8%，纯度彡99. 9%。
[0007] 本发明解决其技术问题所采用的技术方案如下：
[0008] 本发明作工序如下：
[0009] 1、准备500L反应釜，按处方，依次加入甲基吡咯烷酮、纯化水、二甘醇单丁醚、四 甲基氢氧化铵、二甲基乙酰胺，一边加入一边搅拌，使之均匀分散，静置30min。
[0010] 2、将釜内液体全部放出，进行均质处理，得到正胶剥离液。
[0011] 3、立即过滤，滤芯等级为0.5ilm。
[0012] 4、过滤完毕后冷却即得电子级的水基正胶剥离液。
[0013] 本发明的有益效果：
[0014] 1、使用温度低，40°C即可达到很好的剥离效果，而目前剥离温度一般都在60°C左 右，温度越低，能耗也就越低。
[0015] 2、不使用亚砜类物质,对人体危害小
[0016] 3、本方案制得的水基正胶剥离液，遇明火不燃，使用更安全！
【附图说明】
[0017] 图1为本发明工艺流程图；
【具体实施方式】
[0018] 现结合附图对本发明作进一步说明：
[0019] 案例 1
[0020] 将500L反应釜洗净，称取N-甲基吡咯烷酮25kg加入到反应釜中，再依次加入纯 化水30kg、二甘醇单丁醚12kg、四甲基氢氧化铵18kg、二甲基甲酰胺15kg，一边加入，一边 搅拌，搅拌30min后，抽出进行均质处理，均质后，用0. 5ym的滤芯过滤器进行过滤，等到水 基正胶剥离液。
[0021] 案例 2
[0022] 500L反应釜洗净，称取N-甲基吡咯烷酮25kg加入到反应釜中，再依次加入纯化水 28kg、二甘醇单丁醚15kg、四甲基氢氧化铵15kg、二甲基甲酰胺17kg，一边加入，一边搅拌， 搅拌30min后，抽出进行均质处理，均质后，用0. 5 的滤芯过滤器进行过滤，等到水基正 胶剥离液。
[0023] 案例 3
[0024] 500L反应釜洗净，称取N-甲基吡咯烷酮22kg加入到反应釜中，再依次加入纯化水 35kg、二甘醇单丁醚10kg、四甲基氢氧化铵15kg、二甲基甲酰胺18kg，一边加入，一边搅拌， 搅拌30min后，抽出进行均质处理，均质后，用0. 5 的滤芯过滤器进行过滤，等到水基正 胶剥离液。
【主权项】
1. 一种水基正胶剥离液，其特征在于，包括以下重量百分比的组合物： 二甘醇单丁醚 10%-15%; N-甲基吡咯烷酮 20%-28%; 四甲基氢氧化铵 15°/。-22.5%; 二甲基甲酰胺 15%-25%; 水 25%-40%。2. 如权利要求1所述的水基正胶剥离液，其特征在于，所述二甘醇单丁醚原料含量 彡99. 8%，纯度彡99. 9%。3. 如权利要求1所述的水基正胶剥离液，其特征在于，所述N-甲基吡咯烷酮原料含量 彡99. 8%，纯度彡99. 9%。4. 如权利要求1所述的水基正胶剥离液，其特征在于，所述四甲基氢氧化铵原料含量 彡99. 8%，纯度彡99. 9%。5. 如权利要求1所述的水基正胶剥离液，其特征在于，所述二甲基甲酰胺原料含量 彡99. 8%，纯度彡99. 9%。
【专利摘要】本发明公开了一种水基正胶剥离液及其制备方法，所述水基正胶剥离液包括以下重量百分比的组合物：二甘醇单丁醚10％-15％；N-甲基吡咯烷酮20％-28％；四甲基氢氧化铵15％-22.5％；二甲基甲酰15％-25％；水25％-40％。本发明提供的水基正胶剥离液及其制备方法，能够40℃即可达到很好的剥离效果，而目前剥离温度一般都在60℃左右，温度越低，能耗也就越低。不使用亚砜类物质，对人体危害小，遇明火不燃，使用更安全。
【IPC分类】G03F7/42
【公开号】CN105022238
【申请号】CN201410171671
【发明人】刘敏雪
【申请人】刘敏雪
【公开日】2015年11月4日
【申请日】2014年4月25日