技术特征：
1.一种感光性树脂组合物，其含有(a)具有酰亚胺键及酚性羟基的碱可溶性树脂和(b)通过光而生成酸的化合物。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述碱可溶性树脂为具有双酚酰亚胺骨架的树脂。3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述碱可溶性树脂具有来自于选自由下述式(i)所表示的化合物、下述式(ii)所表示的化合物及下述式(iii)所表示的化合物组成的组的至少一种的结构，式中，r1、r2、r3、r4、r5及r6分别独立地表示氢原子或甲基，r
a
及r
b
分别独立地表示醚键、硫醚键、羰基、碳原子数1～3的亚烷基或单键。4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述碱可溶性树脂具有来自于下述式(1)、式(2)、式(3)、式(4)、式(5)或式(6)所表示的化合物的结构单元，式中，r
a
及r
b
分别独立地表示醚键、硫醚键、羰基、碳原子数1～3的亚烷基或单键。5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述碱可溶性树脂为还具有来自于双(甲氧基甲基)联苯或二甲氧基甲基苯的结构单
元的树脂。6.根据权利要求1至5中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述通过光而生成酸的化合物为邻醌二叠氮化物化合物。7.根据权利要求1至6中任一项所述的感光性树脂组合物，其还含有(c)通过热而产生交联反应的化合物。8.根据权利要求7所述的感光性树脂组合物，其中，所述通过热而产生交联反应的化合物为具有烷氧基或环氧基的化合物。9.根据权利要求1至8中任一项所述的感光性树脂组合物，其还含有(d)弹性体。10.根据权利要求1至9中任一项所述的感光性树脂组合物，其还含有(e)黏合助剂。11.根据权利要求10所述的感光性树脂组合物，其中，所述黏合助剂为含氮芳香族化合物。12.一种图案固化膜的制造方法，其具有：将权利要求1至11中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板的一部分或整个面并进行干燥而形成树脂膜的工序；对所述树脂膜的一部分或整个面进行曝光的工序；用碱水溶液对曝光后的树脂膜进行显影而形成图案树脂膜的工序；及加热所述图案树脂膜的工序。13.一种图案固化膜，其具有图案，所述图案包含权利要求1至11中任一项所述的感光性树脂组合物的固化物。14.一种半导体元件，其具备权利要求13所述的图案固化膜作为层间绝缘层或表面保护层。
技术总结
本发明涉及一种感光性树脂组合物、使用了该感光性树脂组合物的图案固化膜、图案固化膜的制造方法及半导体元件，该感光性树脂组合物含有(A)具有酰亚胺键及酚性羟基的碱可溶性树脂和(B)通过光而生成酸的化合物。脂和(B)通过光而生成酸的化合物。
技术研发人员：青木优 滨野芳美 铃木辉昭 桥本政弘
受保护的技术使用者：昭和电工材料株式会社
技术研发日：2021.06.21
技术公布日：2022/11/25