1.一种光刻设备的对准运动台和光轴z轴垂直度校准方法，其特征在于，所述校准方法包括：
2.根据权利要求1所述的一种光刻设备的对准运动台和光轴z轴垂直度校准方法，其特征在于，所述标记点在视场中的位置发生了偏移，计算得到标记点在视场的位移量s，包括：
3.根据权利要求1所述的一种光刻设备的对准运动台和光轴z轴垂直度校准方法，其特征在于，所述标记点在视场中的位置发生了偏移，计算得到标记点在视场的位移量s’，包括：
4.根据权利要求1所述的一种光刻设备的对准运动台和光轴z轴垂直度校准方法，其特征在于，所述校准方法还包括实时校准步骤：
5.根据权利要求4所述的一种光刻设备的对准运动台和光轴z轴垂直度校准方法，其特征在于，所述达到所需的精度要求的判断方法为：
6.一种光刻设备的对准运动台和光轴z轴垂直度校准装置，其特征在于，所述校准装置包括：
7.根据权利要求6所述的一种光刻设备的对准运动台和光轴z轴垂直度校准装置，其特征在于，所述校准装置还包括：
8.一种电子设备，所述电子设备包括存储器和至少一个处理器，所述存储器中存储有指令；
9.一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有指令，其特征在于，所述指令被处理器执行时实现如权利要求1-5中任一项所述光刻设备的对准运动台和光轴z轴垂直度校准方法的各个步骤。