照在第一区域22(即，遮挡)上，这会导致成像性能减小。根据图8a至Sc所示示例实施例，第一区域22布置在彭罗斯镶嵌的顶点或栅格点处。在该情况中，彭罗斯镶嵌形成非平移不变量和非旋转不变量栅格的特殊示例。在第一区域22的该布置的情况中，通常的平移不变量衍射级甚至在所述第一区域的至少有利分布的情况中仅统计上随机地照在第一区域22上。
[0107]在一个有利实施例中，反射镜20设有调节装置32。反射镜20和调节装置32形成光学部件33。调节装置32示意性地示于图7中。调节装置使反射镜20能够线性(即，平移)位移，尤其是在垂直于反射镜的光轴的方向上线性位移。因此，调节装置32使反射镜20的具有至少一个、优选两个线性自由度的可调性成为可能。此外，或附加地，调节装置使反射镜20的具有一个旋转自由度的调节成为可能，尤其是反射镜20绕其中心轴31或绕平行于光轴的轴的旋转成为可能。调节装置32优选使反射镜20的连续可变调节成为可能。然而，还可实施调节装置32，使得其预定义反射镜20的不同且分离的位置。可尤其预定义两个或更多的分离反射镜位置。
[0108]在线性可移动性的情况中，反射镜20优选以平的方式实施。在旋转可移动性的情况中，除第一区域22的布置外，反射镜20优选关于中心轴31旋转对称地实施。
[0109]线性可移动性可在微米、毫米或厘米范围内。旋转可移动性可在几个mrad至5°的范围内。
[0110]根据一个有利实施例，调节装置32实施为用于替换或更换两个反射镜20的替换装置或更换装置。换言之，光学部件33可包含一个、两个或更多的反射镜20。反射镜20可通过调节装置32而得到替换。
[0111]通过位移和/或旋转，可整体上(即，全局地)改变第一区域22的布置。这在图8a至8c中举例示出。图8b显示根据图8a的线性移动的布置。根据图8c的布置由根据图8b的布置通过旋转而产生。由于遮挡的场依赖性，在像场10的特定点，不是所有区域22都必然对促成该特定点的照明。这通过用于标识区域22的位置的不同符号而示于图8a至Sc中。促成举例选出的像场点的照明的区域22由图8a至Sc中的符号+标识，而虽然呈现在反射镜20上但不促成所述场点的照明的区域22由符号ο标识。
[0112]指定布置的旋转和/或位移的其它示例示于图9和10中。第一区域22位于矩形、正方形栅格的顶点上的布置充当图9中的起始布置。该布置绕离心轴34旋转约9°。
[0113]通过指定布置的旋转和/或位移，针对单独照明设定和/或节距可改进成像性能。换言之，通过调节装置32的这种调节可能性尤其对于改进单独的、尤其是预定义的照明设定和/或节距而言是有利的。
[0114]在根据图10的实施例的情况中，三角形栅格充当起始布置。所述栅格线性位移约相邻第一区域22之间距离的1/3。
[0115]尽管第一区域22位于彭罗斯栅格的栅格点的布置导致了改进的成像性质，成像性质可通过反射镜20的有目标的设计，尤其通过第一区域22的布置的优化而得到进一步改进。反射镜20如上所述通过调节装置32实现的线性位移和/或旋转可设为优化的最简单形式。这种平移和/或旋转优化布置可针对一些节距和设定产生良好的成像性能。然而，由于对称性仍存在，总是存在对其这些布置不产生足够好的性能的节距和/或设定。根据本发明已认识到，有利的是，通过下面描述的对反射镜上单独区域的分开优化来破坏这些对称性，导致区域在反射镜上的统计学的或非周期的布置。根据一个特别有利的实施例，根据以下方法优化第一区域22的布置。首先，预定义反射镜20的具有预定数量的第一区域22的特定布置的起始设计。第一区域22的可充当起始布置的可能布置被举例示于图12a至12d中。尤其可包含第一区域22位于栅格顶点的布置。图12a示出第一区域22位于正方形栅格顶点的布置。正方形栅格旋转几度。图12b示出第一区域22位于同心圆上的布置。图12c示出位于三角形栅格顶点的布置。图12d示出位于彭罗斯栅格顶点的布置。原则上，任意期望的起始布置都是可能的。原则上，所有图12a至12d示出的旋转和/或位移形式的起始布置也可充当起始布置。
[0116]起始布置优选应具有最小均匀性。第一区域22尤其以均匀分布的方式布置，使得它们在直径小于反射镜20的总直径的50%、尤其是30%、尤其是20%的区域中的局部密度与它们的平均密度偏离至多30%、尤其至多20%、尤其至多10%。第一区域22的分布的最小均匀性的该要求优选被预定义为优化第一区域22的布置的边界条件。因此，尤其是反射镜20上第一区域22的优化布置也具有这种最小均匀性。
[0117]此外，用于评估具有该类型反射镜20的投射光学单元9的成像质量的适应函数f预定义为优化第一区域22的布置。适应函数f并入用于评估成像质量的多种参数，尤其是远心度(TC)和/或归一化图像对数斜率(NILS)以及其在像场上的变化(NILS场分布)。适应函数f尤其是这三个参数的线性组合。一个可能的适应函数f具有以下形式:f=TC+gl*NILS场分布-g2*NILS，其中gl、g2为正权重。
[0118]因此，限定优化问题，即最小化函数f。尤其是，第一区域22的位置，即第一区域在反射镜22上的布置充当变量。原则上，还可包含第一区域22的数量和/或尺寸和/或其形状作为变量。所需第二或边界条件包括上述最小均匀性以及尤其是两个不同第一区域22不互相重叠的事实。
[0119]而且，预定义终止标准和适应函数f的至少一个目标值，用于优化反射镜20上第一区域22的布置。
[0120]第一区域22的布置然后依据预定义算法变化直到达到至少一个预定义目标值和/或终止标准为止。
[0121]在所有第一区域22以具有相同半径的圆形方式实施的特殊情况中，目标函数f是在第一区域22替换情况下的不变量。因此，在描述等同系统的参数范围内有对优化问题的许多解决方案。因此，目标函数f必须是多峰的。因此，将全局优化法设为优化算法。尤其，将演化算法，例如遗传算法或所谓的模拟退火法设为优化算法。
[0122]作为演化策略的变量，使用(μ + λ)演化策略的选择算子。在该情况中，参数μ表示群体大小，极点的记忆程度。参数λ为派生物的数量。
[0123]为了改进算法的收敛行为，该算法与几乎确定收敛的方法结合。
[0124]关于优化第一区域22的布置，所述区域22中每单独一个的布置通常单独地变化。尤其，从所有第一区域22位于栅格顶点的布置开始，设置第一区域22的至少10%、尤其至少20%、尤其至少30%、尤其至少50%以偏离最小量的方式布置。第一区域22的直径的一半或直径或直径的特定倍数可充当最小量。第一区域22相对于栅格顶点的偏离可限制于以下效应:第一区域22在各个情况中偏离至多栅格相邻顶点之间平均距离的一半。第一区域22的偏离可在各个迭代步期间动态适配。因此，优化的收敛行为可得到改进。第一区域优选根据1/5成功法则偏离。
[0125]图1la和Ilb举例示出在优化前和优化后的第一区域22在反射镜20上的布置。第一区域22的同心布置充当起始布置(见图1la)。
[0126]同样，如图8a至8c、9、10、12a至12d、14a至14b，图1la和Ilb中第一区域22的布置的示图仅示出第一区域的位置，而没有示出第一区域的尺寸。在图1la和Ilb所示的示例实施例的情况中，第一区域22的半径为反射镜20的最大示出区域的半径的0.018。在该方面，应再次注意，反射镜20优选大于照明光瞳，因此，因依赖于场的遮挡导致的不期望的远心可表面。
[0127]图1lc举例示出照明光瞳，其具有优化第一区域22的布置所考虑的所有衍射级的像30。如可从图1lc质量上看到的，照明光瞳被密集填充。因此可实现的是，优化导致成像性能的改善，该成像性能在最大可能程度上独立于照明设定和/或掩模母版7的要成像的结构。
[0128]尤其，考虑优化中所有衍射级的强度为指定辐射通道的入射强度的至少20%。尤其，考虑至少O和土 Ist衍射级。
[0129]另外，尤其考虑多个场点优选以均匀分布在物场5上的方式布置。尤其，考虑至少三个、尤其至少五个、尤其至少八个、尤其至少十二个场点。
[0130]另外，尤其在演化中考虑不同节距。尤其，可考虑至少三个、尤其至少五个、尤其至少八个、尤其至少十二个、尤其至少二十个、尤其至少三十个节距。在图1lc所示的照明光瞳的情况中，考虑在22nm至320nm的范围内对数上等距分布的十二个不同节距。
[0131]另外，尤其考虑不同的照明设定。要考虑的照明设定可尤其选自以下列表极、y极、类星体、C-四、σ _彡0.7的圆、σ _= I的圆、环、尤其是0.3彡σ彡0.5的环以及
0.5^: σ <