光学回路的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及光学回路。更详细而言，涉及具备能够使光透射的透明板、和在上述透明板上用粘接剂粘接的遮光板的光学回路。
【背景技术】
[0002]近年来，在光纤通信业界中，为了对应于通信数据量的增大，利用了波分复用(Wavelength Divis1n Multiplexer:WDM)技术。作为用于构筑使用了 WDM技术的大容量光通信系统的光学设备之一，已知有波长选择开关(Wavelength Selective Switch:WSS)。
[0003]WSS是能够从所输入的WDM信号选择任意的波长并分配给任意的输出的设备。WSS一般基本上具有:输入输出部，输入输出WDM信号；分散元件，对WDM信号进行分波以及合波；聚光元件，对通过分波所生成的多个光波束进行聚光；以及光偏转设备，具备为了切换输出而使多个光波束分别偏转的多个光偏转元件。
[0004]作为WSS，在光信号的透射频带特性、光损失、偏振依赖性的点中有利的MEMS (Micro Electro Mechanical System)方式成为主流，作为偏光设备，已知具有MEMS反射镜的波长选择开关(参照例如专利文献I)。
[0005]另一方面，在这样的波长选择开关中，使来自未使用的MEMS反射镜的杂散光不与光纤耦合成为课题。针对该课题，还研宄了利用驱动未使用的MEMS反射镜的驱动电路而遮光的单元，但需要本来不使用的用于驱动MEMS反射镜的多余的驱动电路，所以存在成为高成本等问题。因此，采用了针对MEMS反射镜附近的玻璃部件的表面，设置开口部而使光部分性地通过，并且用粘接剂安装对其他部分进行遮光的遮光板(掩模)，从而抑制杂散光的结构。
[0006]图10是示出以往的波长选择开关模块100的概略图，模块100具备:透明板2，能够使光透射；遮光板3，在透明板2上用粘接剂4粘接，形成能够使光通过的开口部31，除了上述开口部31以外对入射光进行遮光；MEMS反射镜6，隔着透明板2设置于遮光板3的相反侧，对入射光进行受光；以及基板7，搭载MEMS反射镜6。另外，在图10中，将MEMS反射镜6中的、对入射光进行受光的区域设为“使用反射镜区域”，将被遮光板3遮光而无法对入射光进行受光的区域设为“未使用反射镜区域”。
[0007]专利文献1:日本特开2007-148042号公报
【发明内容】
[0008]但是，在通过粘接剂4在玻璃部件的表面安装遮光板3时，粘接剂4有时从遮光板3的端向作为光通过的区域的开口部31露出。另一方面，作为光通过的路径的开口部31中的粘接剂4的露出部41有时针对通过开口部31的光造成恶劣影响。例如，有时通过开口部31，而在对使用反射镜区域照射的光中产生损失，从MEMS反射镜6反射的光的量变得不齐，而且，粘接剂4的露出部41所致的光损失还有时导致噪声的增大。另外，还存在如果通过粘接剂4的露出部41反射光，则成为串扰(串音)的原因这样的课题。
[0009]本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于，提供一种在作为遮光板中的光的通过区域的开口部中露出了的粘接剂不会对通过开口部的光造成恶劣影响的光学回路。
[0010]为了达成上述目的，成为具备以使开口部的外部侧成为突出(overhang)状的方式加工了的遮光板的光学回路。
[0011]具体而言，本发明提供一种光学回路，其特征在于，具备:透明板，能够使光透射；以及遮光板，在所述透明板上用粘接剂粘接，且具有使入射光通过的开口部，在所述开口部中，与所述透明板的一侧相反的一侧按照突出状朝向所述开口部的中央突出。
[0012]本发明的光学回路成为使在透明板上用粘接剂粘接的遮光板中形成且与成为光的通路的开口部的透明板的侧相反的一侧按照突出状朝向开口部的中央突出，所以成为突出了的部分隐藏将透明板和遮光板用粘接剂粘接了的情况的粘接剂的露出，防止粘接剂的露出所致的向光路的恶劣影响，能够发挥按照设计的透射特性的光学回路。
[0013]本发明的光学回路在上述本发明中，关于所述遮光板，所述开口部侧的侧面的与所述遮光板垂直的剖面形状是从与所述透明板的一侧相反的一侧的前端朝向所述透明板的一侧的前端成为直线状。
[0014]这样，通过使突出了的部分成为锐角状，能够可靠地隐藏粘接剂的露出，而且，使开口部的剖面从与透明板的一侧相反的一侧的前端朝向透明板的一侧的前端成为直线状，从而能够容易地进行遮光板的加工。
[0015]本发明的光学回路在上述本发明中，关于所述遮光板，所述开口部侧的侧面的与所述遮光板垂直的剖面形状是从与所述透明板的一侧相反的一侧的前端朝向所述透明板的一侧的前端成为交叉的2根直线，所述2根直线交叉的部分朝向所述开口部的中心成为凸状。
[0016]这样，通过使突出了的部分成为锐角状，能够可靠地隐藏粘接剂的露出，而且，从与和透明板相对的一侧相反的一侧的前端朝向透明板的一侧的前端成为交叉的2根直线，从而能够增大边缘的角度，所以边缘变得结实。另外，2根直线交叉的部分朝向开口部的中心成为凸状，所以相比于I根直线状的情况，更易于隐藏粘接剂的露出。
[0017]本发明的光学回路在上述本发明中，还具备:多个光学元件，对入射光进行受光；以及基板，搭载所述多个光学元件，搭载了所述多个光学元件的基板隔着所述透明板配置于所述遮光板的相反侧，所述遮光板被配置成通过所述开口部的入射光束的中心被投影到所述光学元件的中心。
[0018]通过针对入射光这样配置遮光板，通过开口部的入射光被高效地照射到MEMS反射镜。
[0019]本发明的光学回路在上述本发明中，还具备:多个光学元件，对入射光进行受光；以及基板，搭载所述多个光学元件，搭载了所述多个光学元件的基板隔着所述透明板配置于所述遮光板的相反侧，所述遮光板被配置成通过所述开口部的入射光束的入射光端被投影到所述光学元件内。
[0020]通过针对入射光这样配置遮光板，通过开口部的入射光被高效地照射到MEMS反射镜。
[0021]在本发明的光学回路中，使在透明板上用粘接剂粘接的遮光板中形成，且与成为光的通路的开口部的透明板的一侧相反的一侧按照突出状朝向开口部的中央突出，所以成为突出了的部分隐藏将透明板和遮光板用粘接剂粘接了的情况的粘接剂的露出，防止粘接剂的露出所致的向光路的恶劣影响，能够发挥按照设计的透射特性的光学回路。
【附图说明】
[0022]图1是示出本发明的实施方式I的波长选择开关模块的一个方式的概略图。
[0023]图2是图1的部分放大图，是示出突出部周边的图。
[0024]图3是说明MEMS反射镜的调芯步骤的示意图。
[0025]图4是说明MEMS反射镜的调芯步骤的示意图。
[0026]图5是说明MEMS反射镜的调芯步骤的示意图。
[0027]图6是示出在图1中，以使通过开口部的发散光的入射光端投影到MEMS反射镜的间隙的方式设置了遮光板的状态的概略图。
[0028]图7是示出在图1中，以使通过开口部的入射光的会聚波束的中心投影到MEMS反射镜的方式设置了遮光板的状态的概略图。
[0029]图8是示出本发明的实施方式2的波长选择开关模块的一个方式的概略图。
[0030]图9是图8的部分放大图，是示出突出部周边的图。
[0031]图10是示出以往的波长选择开关模块的一个方式的概略图。
[0032](符号说明)
[0033]1:光学回路(波长选择开关模块)；2:透明板；3:遮光板；31:开口部；32:突出部；4:粘接剂；41:粘接剂的露出；6:MEMS反射镜(光学元件)；7:基板；100:以往的波长选择开关模块；X、Y:直线。