带有固化膜的透明基材的制造方法、感光性树脂组合物、感光性元件及电子部件的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及带有固化膜的透明基材的制造方法、该方法中使用的感光性树脂组合 物及感光性元件以及电子部件。
【背景技术】
[0002] 从个人计算机、电视等大型电子设备到汽车导航装置、手机、电子辞典等小型电子 设备、0A、FA设备等显示设备等中均使用液晶显示元件或触摸面板（触摸传感器）。这些液 晶显示元件或触摸面板中设有由透明导电电极材料构成的电极。作为透明导电电极材料， 已知氧化铟锡（Indium-Tin-Oxide :ΙΤ0)、氧化铟或氧化锡。这些材料由于显示高的可见光 透过率，因此作为液晶显示元件用基板等中使用的电极材料成为主流。
[0003] 触摸面板已经实用化了各种方式。近年来，静电电容方式的触摸面板的利用有所 发展。静电电容方式触摸面板中，当作为导电体的指尖接触到触摸输入面时，静电电容在指 尖与导电膜之间结合、形成电容器。因此，静电电容方式触摸面板通过捕捉指尖接触位置处 的电荷变化来检测其坐标。
[0004] 特别是投影型静电电容方式的触摸面板由于能够进行指尖的多点检测，因此具备 可进行复杂指示这一良好的操作性。投影型静电电容方式的触摸面板由于其操作性良好， 因此作为手机、便携型音乐播放器等具有小型显示装置的设备中的显示面上的输入装置， 利用有所发展。
[0005] -般来说，投影型静电电容方式的触摸面板中，为了表现由X轴和Y轴构成的2维 坐标，多个X电极和正交于该X电极的多个Y电极形成了 2层结构。作为这些电极，使用 ITOo
[0006] 然而，触摸面板的边框区域是无法检测到触摸位置的区域，因此缩窄该边框区域 的面积是用于提高产品价值的重要要素。边框区域上，为了传递触摸位置的检测信号而需 要金属配线，但为了谋求边框面积的狭小化，需要缩窄金属配线的宽度。一般来说，金属配 线使用铜。
[0007] 但是，在上述的触摸面板中，被指尖接触到时，有时水分、盐分等腐蚀成分会从传 感区域侵入到内部。当腐蚀成分侵入到触摸面板的内部时，有金属配线发生腐蚀、电极与驱 动用电路之间的电阻增加、或者断线的危险。
[0008] 为了防止金属配线的腐蚀，公开了在金属上形成有绝缘膜等固化膜的静电电容方 式的投影型触摸面板（例如专利文献1)。该触摸面板中，利用等离子体化学气相沉积法（等 离子体CVD法）在金属上形成二氧化硅层，防止了金属的腐蚀。但是，该手法由于使用等离 子体CVD法，因此具有需要高温处理、基材受限这样制造成本提高等问题。
[0009] 作为在需要的部位设置抗蚀膜等固化膜的方法，已知在规定的基材上设置由感光 性树脂组合物形成的感光层并对该感光层进行曝光、显影的方法（例如专利文献2~4)。 [0010] 现有技术文献
[0011] 专利文献
[0012] 专利文献1 :日本特开2011-28594号公报
[0013] 专利文献2 :日本特开平7-253666号公报
[0014] 专利文献3 :日本特开2005-99647号公报
[0015] 专利文献4 :日本特开平11-133617号公报
【发明内容】
[0016] 发明要解决的技术问题
[0017] 利用感光性树脂组合物的固化膜制作与等离子体CVD法相比，可以期待成本的削 减。但是，当在触摸面板用基材等透明基材上形成固化膜时，如果固化膜的厚度大，则有时 有膜的部位与没有膜的部位的高度差会变得明显。因此，优选固化膜尽量地薄。但是，还没 有在厚度IOym以下的水平下对由感光性树脂组合物形成的膜的防锈性进行过探讨的例 子。
[0018] 另外，在触摸面板的制造工序中，有时会对触摸面板自身施加负荷。特别是，在将 保护膜等固化膜设置在挠性显示器基板上等时，伴随着基板的弯曲，对保护膜等固化膜的 负担也增大，易于产生龟裂。
[0019] 本发明的目的在于提供在规定的透明基材上具有即便是薄的膜也具有所希望的 膜特性、耐开裂性优异的固化膜的带有固化膜的透明基材的制造方法、以及可以形成这种 固化膜的感光性树脂组合物及感光性元件以及具备带有固化膜的透明基材的电子部件。
[0020] 用于解决技术问题的方法
[0021] 为了解决上述课题，本发明人们进行了深入研究，结果发现，含有粘合剂聚合物、 特定的光聚合性化合物及光聚合引发剂的感光性树脂组合物具有充分的显影性，同时通过 光固化所形成的膜即便是薄的膜（例如10 μπι以下）也显示充分的防锈性，可以充分地防 止铜等金属的腐蚀，耐开裂性优异，从而完成了本发明。
[0022] 本发明的带有固化膜的透明基材的制造方法的特征在于，在透明基材上设置由感 光性树脂组合物形成的感光层，所述感光性树脂组合物含有：粘合剂聚合物、包含选自具有 从双三羟甲基丙烷衍生出的骨架的（甲基）丙烯酸酯化合物及具有从二甘油衍生出的骨架 的（甲基）丙烯酸酯化合物中的至少1种（甲基）丙烯酸酯化合物的光聚合性化合物、以 及光聚合引发剂，通过活性光线的照射使感光层的规定部分固化后，将感光层的规定部分 以外的部分除去，形成将基材的一部分或全部覆盖的由上述感光性树脂组合物的固化物构 成的固化膜。
[0023] 根据本发明的带有固化膜的透明基材的制造方法，通过使用上述特定的感光性树 脂组合物，能够制造可以在确保显影性及对基材的密合性的同时、具有即便是IOym以下 的薄的膜也具有所希望的膜特性（特别是充分的防锈性）、耐开裂性优异的固化膜的带有 固化膜的透明基材。根据本发明，由于能够对固化膜进行薄膜化，因此能够制造美观优异的 电子部件（例如触摸面板），可以谋求制造成本的降低。
[0024] 从进一步提高膜特性（特别是防锈性）的观点出发，上述（甲基）丙烯酸酯化合 物优选是具有4个以上（甲基）丙烯酰基的化合物。
[0025] 然而，考虑到触摸面板等电子部件的可视性或美观时，优选固化膜的透明性更高。 但是，另一方面本发明人们发现了，当对透明性高的薄膜的感光层进行布图时，有分辨率降 低的倾向。对于其原因，本发明人们考虑这是由于当感光层的厚度减小时，易于受到来自基 材的光散射的影响，产生晕影。
[0026] 与其相对，本发明中，通过上述光聚合引发剂含有肟酯化合物及/或氧化膦化合 物，能够以充分的析像度进行布图。
[0027] 另外，本发明人们推测获得上述效果的理由在于，肟酯化合物所含的肟部位或氧 化膦化合物所含的氧化膦部位在具有较高的光分解效率的同时、还具有稍有漏光并不会分 解的适当阈值，因而抑制了因漏光导致的影响。
[0028] 本发明的带有固化膜的透明基材的制造方法中，可以准备具备支撑膜和设置在该 支撑膜上的由上述感光性树脂组合物形成的感光层的感光性元件，将该感光性元件的感光 层转印至上述基材上来设置上述感光层。此时，通过使用感光性元件，可以容易地实现卷对 卷工艺，可以缩短溶剂干燥工序等，对制造工序的缩短及成本降低具有重大贡献。
[0029] 本发明还提供用于在透明基材上形成固化膜所使用的（用于带有固化膜的透明 基材的制造方法的）感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物含有：粘合剂聚合物、包含 选自具有从双三羟甲基丙烷衍生出的骨架的（甲基）丙烯酸酯化合物及具有从二甘油衍生 出的骨架的（甲基）丙烯酸酯化合物中的至少1种（甲基）丙烯酸酯化合物的光聚合性化 合物、以及光聚合引发剂。
[0030] 根据本发明的感光性树脂组合物，可以在规定的透明基材上形成即便是薄的膜也 具有所希望的膜特性（特别是充分的防锈性）及耐开裂性的固化膜。
[0031] 从进一步提高膜特性（特别是防锈性）的观点出发，上述（甲基）丙烯酸酯化合 物优选是具有4个以上（甲基）丙烯酰基的化合物。
[0032] 另外，本发明的感光性树脂组合物中，优选上述光聚合引发剂含有肟酯化合物及/ 或氧化膦化合物。此时，能够以具有充分析像度的图案形成透明性高的薄膜的固化膜。
[0033] 本发明还提供具备支撑膜和设置在该支撑膜上的由上述本发明的感光性树脂组 合物形成的感光层的感光性元件。
[0034] 根据本发明的感光性元件，可以在规定的透明基材上形成即便是薄的膜也具有所 希望的膜特性（特别是高的防锈性）及耐开裂性的固化膜。
[0035] 上述感光层的厚度可以是10 μπι以下。
[0036] 本发明还提供具备上述本发明的带有固化膜的透明基材的电子部件。
[0037] 发明效果
[0038] 根据本发明，可以提供在规定的透明基材上具有即便是薄的膜也具有所希望的膜 特性（特别是充分的防锈性）及耐开裂性的固化膜的带有固化膜的透明基材的制造方法、 可以形成这种固化膜的感光性树脂组合物及感光性元件、以及具备带有固化膜的透明基材 的电子部件。
[0039] 另外，根据本发明，可以保护静电电容式触摸面板的金属电极。进而，根据本发明， 还可对形成因水分、盐分等易于生锈的铜等的金属层而提高了导电性的触摸面板的边框区 域处的电极进行保护。
【附图说明】
[0040] 图1为表示本发明的感光性元件的一个实施方式的示意截面图。
[0041] 图2的（a)及（b)为用于说明本发明的带保护膜的触摸面板用基材的制造方法的 一个实施方式的示意截面图，（c)为本发明的一个实施方式的带保护膜的触摸面板用基材 的示意截面图。
[0042] 图3为表示静电电容式触摸面板的一例的示意俯视图。
[0043] 图4为表示静电电容式触摸面板的另一例的示意俯视图。
[0044] 图5的（a)为图3所示的C部分的沿着V-V线的部分截面图、（b)为表示另一方 式的部分截面图。
[0045] 图6为表不透明电极存在于同一平面的静电电容式触摸面板之一例的俯视图。
[0046] 图7为表示透明电极存在于同一平面的静电电容式触摸面板之一例的部分切开 立体图。
[0047] 图8为沿着图7中的VI-VI线的部分截面图。
[0048] 图9为用于说明透明电极存在于同一平面的静电电容式触摸面板的制造方法之 一例的图，（a)为表示具备透明电极的基板的部分切开立体图、（b)为表示所得静电电容式 触摸面板的部分切开立体图。
[0049] 图10为用于说明透明电极存在于同一平面的静电电容式触摸面板的制造方法之 一例的图，（a)为沿着图9中的VIIIa-VIIIa线的部分截面图、（b)为表示设置绝缘膜的工 序的部分截面图、（c)为沿着图7中的VIIIc-VIIIc线的部分截面图。
[0050] 图11为表示在透明电极配线上设置绝缘膜、在其上设置引出配线、通过开口部将 透明电极与引出配线连接的触摸面板之一例的部分俯视图。
【具体实施方式】
[0051] 以下对用于实施本发明的方式详细地进行说明。但本发明并非限定于以下的实施 方式。
[0052] 本说明书中，"（甲基）丙烯酸"是指丙烯酸或甲基丙烯酸，"（甲基）丙烯酸酯"是 指丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯，"（甲基）丙烯酰基"是指丙烯酰基或甲基丙烯酰基。
[0053] 本说明书中，"工序"这一用语不仅是独立的工序，在即便是无法与其他的工序明 确地区分时、只要是达成该工序所预期的作用，则也包含在本用语中。另外，本说明书中使 用"~"表示的数值范围表示将"~"前后所记载的数值分别作为最小值和最大值并包括在 内的范围。
[0054] 本说明书中，组合物中的各成分的含量在组合物中存在多个相当于各成分的物质 时，只要无特别限定，则是指组合物中存在的该多个物质的总量。
[0055] 本实施方式的带有固化膜的透明基材的制造方法是在透明基材上设置含有本发 明的感光性树脂组合物的感光层、利用活性光线的照射使感光层的规定部分固化后，将感 光层的上述规定部分以外的部分除去，形成将基材的一部分或全部覆盖的由感光性树脂组 合物的固化物构成的固化膜（即树脂固化膜）。本发明的感光性树脂组合物含有粘合剂聚 合物、含有后述特定的（甲基）丙烯酸酯化合物的光聚合性化合物、以及光聚合引发剂。
[0056] 作为上述透明基材，例如可举出白板玻璃、蓝板玻璃、二氧化硅涂层蓝板玻璃等玻 璃板；聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、环烯烃聚合物等塑料基板；陶瓷板等基板。透明 基材优选在400~700nm的波长区域内的最小透光率为85%以上。
[0057] 本说明书中，形成在透明基材上的固化膜当用于触摸面板用基材时，可以设置在 具有电极的传感区域、具有金属配线的边框区域或其他区域。形成在触摸面板用基材上的 固化膜可以仅设