感光性树脂组成物、像素层、保护膜、间隙体、薄膜晶体管、彩色滤光片及液晶显示装置的制造方法

文档序号:10697336阅读:297来源:国知局
感光性树脂组成物、像素层、保护膜、间隙体、薄膜晶体管、彩色滤光片及液晶显示装置的制造方法
【专利摘要】本发明提供一种感光性树脂组成物、像素层、保护膜、间隙体、薄膜晶体管、彩色滤光片及液晶显示装置,该感光性树脂组成物能够提供良好的显影性及高精细度的图案直线性。感光性树脂组成物包括:碱可溶性树脂(A)、含乙烯性不饱和基的化合物(B)、光起始剂(C)、有机溶剂(D)以及由式(1)表示的化合物(E)。
【专利说明】
感光性树脂组成物、像素层、保护膜、间隙体、薄膜晶体管、彩 色滤光片及液晶显示装置
技术领域
[0001] 本发明是有关于一种感光性树脂组成物、像素层、保护膜、间隙体、薄膜晶体管、彩 色滤光片及液晶显示装置,且特别是有关于一种能够提供良好的显影性及高精细度的图案 直线性的感光性树脂组成物及其应用。
【背景技术】
[0002] 液晶显示装置由于具有轻量、薄型、低电力消耗等特性,故可应用在笔记本电脑、 个人数字助理器、数码相机、台式电脑屏幕等各式各样的用途。而此种液晶显示装置需要具 有高色彩再现范围的彩色滤光片。
[0003] 彩色滤光片是在形成有黑色矩阵(black matrix,简称BM)的玻璃或塑胶片等的支 持体表面上,将红(R)、绿(G)、蓝(Β)Ξ色不同的色相形成为条状或马赛克状而成。
[0004] 至今为止提出各种彩色滤光片的制造方法,其中W负型感光性着色组成物来制造 彩色滤光片最为常见。负型感光性着色组成物包括颜料、丙締酸系树脂、光聚合起始剂W及 反应性聚合物等。负型感光性着色组成物的硬化例如是通过下列方式来进行:通过紫外线 的照射来分解或活化的光聚合起始剂而生成自由基,接着,此自由基活化乙締性不饱和化 合物,W使其进行自由基聚合反应。使用此种负型感光性着色组成物来形成彩色滤光片时, 通常将负型感光性着色组成物涂布在基板上,并且隔着光罩照射紫外线后进行显影,从而 得到图案。将W此方式形成的图案进行烘烤而使其固定粘着在基板上,藉此形成像素图案。 依照必要的颜色重复进行此循环,藉此可获得着色涂膜的图案。然而,若重复此循环,在ΒΜ 与RGB像素的端部会产生较大的段差,从而产生归因于此段差的颜色显示不均。为了抑制此 段差,使用透明树脂层(保护膜)来进行彩色滤光片的平坦化处理。
[0005] 保护膜必须具有可W保护RGB着色层的特性、液晶填充时的耐热性,W及耐压力性 的硬度等特性。为了显现出预期的硬度,已研究出高交联密度的感光硬化性树脂组成物(参 照日本专利特开平5-78483号公报)。然而,该感光硬化性树脂组成物在硬化时收缩,而产生 残留应力,导致容易有高精细度的图案直线性不佳的缺陷。
[0006] 因此,如何同时提升显影性及高精细度的图案直线性,W达到目前业界的要求,为 本发明所属技术领域中努力研究的目标。

【发明内容】

[0007] 有鉴于此,本发明提供一种感光性树脂组成物、像素层、保护膜、间隙体、薄膜晶体 管、彩色滤光片及液晶显示装置,其能够提供良好的显影性及高精细度的图案直线性。
[000引本发明提供一种感光性树脂组成物,其包括:碱可溶性树脂(A)、含乙締性不饱和 基的化合物(B)、光起始剂(C)、有机溶剂(D)W及由式(1)表示的化合物化)。
[0009]
[0010] 式(1)中,R'各自独立表示氨原子、碳数为1至20且经取代或未经取代的控基、或酷 基,R"各自独立表示氨原子、碳数为1至15且经取代或未经取代的控基、酷基、或硝基,m表示 〇、1或2的整数,X为具有由式(2)表示的结构的基团:
[0011]
[001^ 式(2)中,R表示氨原子或碳数化至4的烷基。
[0013] 在本发明的一实施例中,上述的碱可溶性树脂(A)包括具有不饱和基的第一碱可 溶性树脂(A-1),具有不饱和基的第一碱可溶性树脂(A-1)是由具有至少二个环氧基的环氧 化合物(al)及具有至少一个簇酸基及至少一个乙締性不饱和基的化合物(a2)的混合物进 行聚合反应而得。
[0014] 在本发明的一实施例中,上述的具有至少二个环氧基的环氧化合物(al)选自由式 (3)表示的化合物W及式(4)表示的化合物所组成的族群,
[0015]
[0016] 式(3)中,r1、R2、R3及R4各自独立表示氨原子、面素或碳数为语5的烷基;
[0017]
[001引式(4)中,R5至R"各自独立表示氨原子、面素、碳数为语8的烷基或碳数为6至15的 芳香基,η表示0至10的整数。
[0019] 在本发明的一实施例中,基于碱可溶性树脂(A)的总使用量为100重量份,具有不 饱和基的第一碱可溶性树脂(A-1)的使用量为0至80重量份。
[0020] 在本发明的一实施例中,上述的含乙締性不饱和基的化合物(B)包括由式(5)表示 的化合物W及式(6)表示的化合物中的至少一种的化合物(B-1),
[0021]
[002^ 式(5)及式(6)中,E各自独立表示-((C出)zC出0)-或-((C出)zCH(C出)0)-,z各自独 立表示1至10的整数,γ?、γ2各自独立表示丙締酷基、甲基丙締酷基、氨原子或簇基;式(5)中, Υ?所表示的丙締酷基W及甲基丙締酷基的合计为3个或4个,Ρ各自独立表示0至10的整数, 各个Ρ的合计为1至40的整数;式(6)中,Υ2所表示的丙締酷基W及甲基丙締酷基的合计为5 个或6个,q各自独立表示0至10的整数,各个q的合计为1至60的整数。
[0023] 在本发明的一实施例中,基于碱可溶性树脂(A)的总使用量为100重量份,所述包 含选自由式(5)所表示的化合物W及式(6)所表示的化合物所组成的组群中的至少一种的 化合物(B-1)的使用量介于10重量份至100重量份。
[0024] 在本发明的一实施例中,基于碱可溶性树脂(A)的总使用量为100重量份,含乙締 性不饱和基的化合物(B)的使用量为60至600重量份;光起始剂(C)的使用量为20至200重量 份;有机溶剂(D)的使用量为500至5000重量份;由式(1)表示的化合物巧)的使用量为3至30 重量份。
[0025] 在本发明的一实施例中,还包括颜料(F)。
[0026] 在本发明的一实施例中,基于碱可溶性树脂(A)的总使用量为100重量份,颜料(F) 的使用量为40至400重量份。
[0027] 在本发明的一实施例中,还包括染料(G)。
[0028] 在本发明的一实施例中,基于碱可溶性树脂(A)的总使用量为100重量份,染料(G) 的使用量为3至30重量份。
[0029] 本发明提供一种保护膜,其是使用上述的感光性树脂组成物所形成。
[0030] 本发明提供一种间隙体,其是使用上述的感光性树脂组成物所形成。
[0031] 本发明提供一种像素层,其是使用上述的感光性树脂组成物所形成。
[0032] 本发明提供一种薄膜晶体管,其包含上述的保护膜。
[0033] 本发明提供一种彩色滤光片,其包含上述的保护膜。
[0034] 本发明提供一种彩色滤光片,其包含上述的间隙体。
[0035] 本发明提供一种彩色滤光片,其包含上述的像素层。
[0036] 本发明提供一种液晶显示装置,其包含上述的薄膜晶体管。
[0037] 本发明提供一种液晶显示装置,其包含上述的彩色滤光片。
[0038] 基于上述,本发明的感光性树脂组成物含有特定的化合物巧),因此能够提供良好 的显影性及高精细度的图案直线性,而适用于保护膜、间隙体、像素层、彩色滤光片、薄膜晶 体管W及液晶显示装置。
【具体实施方式】
[0039] 【实施方式】
[0040] <感光性树脂组成物〉
[0041] 本发明提供一种感光性树脂组成物,其包括:碱可溶性树脂(A)、含乙締性不饱和 基的化合物(B)、光起始剂(C)、有机溶剂(D)W及化合物化)。此外,若需要,感光性树脂组成 物还可包括颜料(F)、染料(G)W及添加剂化)中的至少一者。W下将详细说明用于本发明的 感光性树脂组成物的各个成分。
[0042] 在此须说明的是,W下是W (甲基)丙締酸表示丙締酸及/或甲基丙締酸,并W(甲 基)丙締酸醋表示丙締酸醋及/或甲基丙締酸醋;同样地,W(甲基)丙締酷基表示丙締酷基 及/或甲基丙締酷基。
[0043] 碱可溶性树脂(A)
[0044] 碱可溶性树脂(A)包括具有不饱和基的第一碱可溶性树脂(A-1)。此外,碱可溶性 树脂(A)还可包括第二碱可溶性树脂(A-2)。
[0045] 具有不饱和基的第一碱可溶性树脂(A-1)
[0046] 具有不饱和基的第一碱可溶性树脂(A-1)是由具有至少二个环氧基的环氧化合物 (al)及具有至少一个簇酸基及至少一个乙締性不饱和基的化合物(a2)的混合物进行聚合 反应而得。此外,第一碱可溶性树脂(A-1)的聚合反应中,还可选择性地包括簇酸酢化合物 (曰3)、含环氧基的化合物(a4)或上述两者的组合。
[0047] 具有至少两个环氧基的环氧化合物(al)
[0048] 具有至少二个环氧基的环氧化合物(al)选自由式(3)表示的化合物W及式(4)表 示的化合物所组成的族群。
[0049] 具体而言,由式(3)表示的化合物如下所述。
[(K)加]
[0051] 式(3)中,r1、R2、R3及R4各自独立表示氨原子、面素或碳数为语5的烷基。
[0052] 含有式(3)所表示的化合物可由双酪莱型化合物(bis地enol fluorene)与面化环 氧丙烷(epihalohy化in)进行反应而得。
[0053] 详言之,双酪莱型化合物的具体例包括:9,9-双(4-?基苯基)莱(9,9-扣3(4- hydroxyphenyl )f luorene)、9,9-双(4-径基-3-甲基苯基)莱(9,9-bis(4-hyd;roxy-3- methy Ipheny 1 )f luorene)、9,9-双(4-径基-3-氯苯基)莱(9,9-bis (4-hyd;roxy-3- chloropheny 1 )f luorene)、9,9-双(4-?基-3-漠苯基)莱(9,9-bis (4-hyd;roxy-3- bromophenyl )f luorene)、9,9-双(4-?基-3-氣苯基)莱(9,9-bis(4-hyh〇w-3-f luoro 口116]171);1^111〇'6]16)、9,9-双(4-径基-3-甲氧基苯基)莱(9,9-13 13(4-117(11'〇义7-3- methoxy地enyl )f luorene)、9,9-双(4-?基-3,5-二甲基苯基)莱(9,9-bis(4-hyh〇w-3, 5-dimethylphenyl )f luorene)、9,9-双(4-径基-3,5-二氯苯基)莱(9,9-bis(4-hyh(My-3, S-dichlorophenyl )f luorene)、9,9-双(4-径基-3,5-二漠苯基)莱(9,9-bis(4-hyh(My-3, 5-d ibromopheny 1) f luor ene)或其类似物,或上述化合物的组合。
[0054] 面化环氧丙烷(epihalohydrin)的具体例包括3-氯-1,2 -环氧丙烷 (epichlorohy化in)、3-漠-1,2-环氧丙烷(epibromohy化in),或上述化合物的组合。
[0055] 具有环氧基的双酪莱型化合物的具体例包括(1)新日铁化学(Nippon steel chemical Co.,Ltd)制造的商品:例如ESF-300或其类似物;(2)大阪天然气(Osaka Gas Co.,Ltd)制造的商品:例如PG-100、EG-210或其类似物;(3)短信科技(S.M.S Technology Co.,Ltd)制造的商品:例如SMS-F9PhPG、SMS-F9CrG、SMS-F914PG或其类似物。
[0056] 另外,具体而言,由式(4)表示的化合物如下所述。
[0化7]
[005引式(4)中,R5至R"各自独立表示氨原子、面素、碳数为1至8的烷基或碳数为6至15的 芳香基,η表示0至10的整数。
[0059] 由式(4)表示的化合物可由在碱金属氨氧化物存在下,使由式(4-1)表示的化合物 与面化环氧丙烷进行反应而得。
[0060]
[0061] 式(4-1)中,R5至r18W及η的定义是分别与式(4)中的R5至r1 8W及η的定义相同,在 此不另行寶述。
[0062] 由式(4-1)表示的化合物可的合成方法如下:首先,在酸触媒存在下,使用由式(4- 2)表示的化合物与酪(phenol)类进行缩合反应后,形成由式(4-1)表示的化合物。接着,加 入过量的面化环氧丙烷,W使面化环氧丙烷与由式(4-1)表示的化合物进行脱面化氨反应 (dehy化oha 1 ogenat ion),而获得由式(4)表示的化合物。
[0063]
[0064] 式(4-2)中,R7至rW定义与式(4)中的R7至rW的定义相同,在此不另行寶述。X咳X 2各自独立表示面原子、碳数为1至6的烷基或碳数为1至6的烷氧基。上述的面原子可为氯或 漠。上述的烷基优选为甲基、乙基或第Ξ下基。上述的烷氧基优选为甲氧基或乙氧基。
[0065] 酪类的具体例包括:酪(口)16]1〇1)、甲酪(沈63〇1)、乙酪(61:1171地6]1〇1)、正丙酪(]1- propylphenol)、异下酪(isobutylphenol)、第 Ξ 下酪(t-butylphenol)、辛酪 (octylphenol)、壬基苯酪(nonyl phenol)、巷酪(xylenol)、甲基下基苯酪 (11161:117化11171地6]1〇1)、二第^下基酪((1;[-1:-131115^1地6]1〇1)、乙締苯酪(¥;[]171地6]1〇1)、丙締 苯酪(propenyl地enol)、乙烘苯酪(ethinyl地enol)、环戊苯酪(cyclopentyl 地enol)、环 己基酪(cyclohe巧Iphenol)、环己基甲酪(cyclohe巧1 cresol)或其类似物。上述的酪类可 单独使用或组合多种来使用。
[0066] 基于上述由式(4-2)表示的化合物的使用量为1摩尔,酪类的使用量为0.5摩尔至 20摩尔,且优选为2摩尔至15摩尔。
[0067] 酸触媒的具体例包括:盐酸、硫酸、对甲苯横酸(9-1:〇1116]16 3111;1!'〇]1;[。曰(^(1)、草酸 (oxalic acid)、Ξ 氣化棚(boron trifluoride)、无水氯化侣(aluminium chloride anhy化ous)、氯化锋(zinc chloride)或其类似物。酸触媒优选为对甲苯横酸、硫酸、盐酸或 上述化合物的组合。酸触媒可单独使用或组合多种来使用。
[0068] 另外,上述的酸触媒的使用量虽无特别的限制,但基于上述由式(4-2)表示的化合 物的使用量为100重量%,酸触媒的使用量优选为0.1重量%至30重量%。
[0069] 上述的缩合反应可在无溶剂或是在有机溶剂的存在下进行。又,上述的有机溶剂 的具体例包括:甲苯(toluene)、二甲苯(xylene)、甲基异下基酬(methyl isobutyl ketone)或其类似物。上述的有机溶剂可单独使用或组合多种来使用。
[0070] 基于由式(4-2)表示的化合物及酪类的总重量为100重量%,上述的有机溶剂的使 用量为50重量%至300重量%,优选为100重量%至250重量%。此外,上述的缩合反应的操 作溫度为40°C至180°C,且缩合反应的操作时间为1小时至8小时。
[0071] 在完成上述的缩合反应后,可进行中和处理或水洗处理。上述的中和处理是将反 应后的溶液的抑值调整为抑3至抑7,且优选为抑5至抑7。上述的水洗处理可使用中和 剂来进行,其中此中和剂为碱性物质,且其具体包括:氨氧化钢(sodium hy化oxide)、氨氧 化钟(potass ium hydroxide )或其类似物的碱金属氨氧化物;氨氧化巧(calcium hy化oxide)、氨氧化儀(magnesium hy化oxide)或其类似物的碱±类金属氨氧化物;二伸乙 Ξ胺(diethylene 付1曰1111]10)、;伸乙四胺(付101:11710]10扣付曰1111]10)、苯胺(曰]1111]10)、苯二 胺(phenylene diamine )或其类似物的有机胺;氨(ammonia)、憐酸二氨钢(sodium d化y化ogen地os地ate)或上述化合物的组合。上述的中和剂可单独使用或组合多种来使 用。上述的水洗处理可采用现有方法进行,例如在反应后的溶液中加入含中和剂的水溶液, 并且反复进行萃取即可。经中和处理或水洗处理后,可经减压加热处理将未反应的酪类及 溶剂予W馈除,并进行浓缩,如此一来,便可获得由式(4-1)表示的化合物。
[0072] 面化环氧丙烷的具体例包括:3-氯-1,2-环氧丙烷、3-漠-1,2-环氧丙烷或上述化 合物的组合。在进行上述的脱面化氨反应之前,可预先添加或于反应过程中添加氨氧化钢、 氨氧化钟等的碱金属氨氧化物。上述的脱面化氨反应的操作溫度为20°C至120°C,其操作时 间范围为1小时至10小时。
[0073] 在一实施例中,上述脱面化氨反应中所添加的碱金属氨氧化物也可为其水溶液。 在此实施例中,将上述的碱金属氨氧化物水溶液连续添加至脱面化氨反应系统内的同时, 可于减压或常压下,连续蒸馈出水及面化环氧丙烷,藉此分离并除去水,并且可将面化环氧 丙烷连续地回流至反应系统内。
[0074] 上述的脱面化氨反应进行前,也可添加氯化四甲锭(tetramethyl ammonium chloride)、漠化四甲锭(tetramethyl ammonium bromide)、Ξ甲基苄基氯化锭(trimethyl benzyl ammonium chloride)或其类似物的四级锭盐作为触媒,并且在50°C至150°C下,反 应1小时至5小时后,加入碱金属氨氧化物或其水溶液。接着,于20°C至120°C的溫度下,其使 反应1小时至10小时,W进行脱面化氨反应。
[0075] 基于上述的由式(4-1)表示的化合物中的径基总当量为1当量,上述的面化环氧丙 烧的使用量为1当量至20当量,且优选为2当量至10当量。基于上述由式(4-1)表示的化合物 中的径基总当量为1当量,上述的脱面化氨反应中添加的碱金属氨氧化物的使用量为0.8当 量至15当量,且优选为0.9当量至11当量。
[0076] 此外,为了使上述的脱面化氨反应顺利进行,也可添加甲醇、乙醇或其类似物的醇 类。除此之外,也可添加二甲讽(dimethyl sulfone)、二甲亚讽(dimethyl sulfoxide)或其 类似物的非质子性(aprotic)的极性溶媒来进行反应。在使用醇类的情况下,基于上述的面 化环氧丙烷的总量为100重量%,醇类的使用量为2重量%至20重量%,且优选为4重量%至 15重量%。在使用非质子性的极性溶媒的情况下,基于面化环氧丙烷的总量为100重量%, 非质子性的极性溶媒的使用量为5重量%至100重量%,且优选为10重量%至90重量%。
[0077] 在完成脱面化氨反应后,可选择性地进行水洗处理。之后,利用减压蒸馈的方式, 例如在溫度为110°c至250°C且压力为1.3k化(10毫米隶柱(mm化))w下,除去面化环氧丙 烧、醇类及非质子性的极性溶媒。
[0078] 为了避免形成的环氧树脂含有加水分解性的面素,可将脱面化氨反应后的溶液加 入甲苯、甲基异下基酬(methyl isobutyl ketone)等溶剂W及氨氧化钢、氨氧化钟等碱金 属氨氧化物水溶液,并且再次进行脱面化氨反应。在脱面化氨反应中,基于上述的由式(4- 1)表示的化合物中的径基总当量为1当量,碱金属氨氧化物的使用量为0.01摩尔至0.3摩 尔,且优选为0.05摩尔至0.2摩尔。另外,上述的脱面化氨反应的操作溫度范围为50°C至120 °C,且其操作时间范围为0.5小时至2小时。
[0079] 在完成脱面化氨反应后,通过过滤及水洗等步骤去除盐类。此外,利用减压蒸馈的 方式除去甲苯、甲基异下基酬等溶剂,即可得到由式(4)表示的化合物。上述由式(4)表示的 化合物的具体例包括商品名为NC-3000、NC-3000H、NC-3000SW及NC-3000P等由日本化药制 造的商品。
[0080] 具有至少一个簇酸基及至少一个乙締性不饱和基的化合物(a2)
[0081] 具有至少一个簇酸基及至少一个乙締性不饱和基的化合物(a2)的具体例选自于 由下述(1)至(3)所组成的群组:(1)丙締酸、甲基丙締酸、2-甲基丙締酷氧乙基下二酸(2- methac;ryloyloxyethyl butanedioic acid)、2-甲基丙締酷氧下基下二酸、2-甲基丙締酷 氧乙基己二酸、2-甲基丙締酷氧下基己二酸、2-甲基丙締酷氧乙基六氨邻苯二甲酸、2-甲基 丙締酷氧乙基马来酸、2-甲基丙締酷氧丙基马来酸、2-甲基丙締酷氧下基马来酸、2-甲基丙 締酷氧丙基下二酸、2-甲基丙締酷氧丙基己二酸、2-甲基丙締酷氧丙基四氨邻苯二甲酸、2- 甲基丙締酷氧丙基邻苯二甲酸、2-甲基丙締酷氧下基邻苯二甲酸或2-甲基丙締酷氧下基氨 邻苯二甲酸;(2)由含径基的(甲基)丙締酸醋与二元簇酸化合物反应而得的化合物,其中二 元簇酸化合物包括己二酸、下二酸、马来酸或邻苯二甲酸;W及(3)由含径基的(甲基)丙締 酸醋与前述的簇酸酢化合物(a3)反应而得的半醋化合物,其中含径基的(甲基)丙締酸醋包 括2-径基乙基丙締酸醋[(2-hyd;roxyethyl)acrylate]、2-径基乙基甲基丙締酸醋[(2- hyhow ethyl)methac;rylate]、2-径基丙基丙締酸醋[(2-hy化oxypropyl )ac;rylate]、2_ 径基丙基甲基丙締酸醋[(2-hyd;roxyp;ropyl)methac;rylate]、4-径基下基丙締酸醋[(4- ]17化〇巧1311171)日。巧1日1日]、4-径基下基甲基丙締酸醋[(4-117化0巧1311171)111日1:11日。巧1日16]、 季戊四醇Ξ甲基丙締酸醋等。另外,此处所述的簇酸酢化合物可与前述第一碱可溶性树脂 (A-1)的聚合反应中所含的簇酸酢化合物(a3)相同,在此不另行寶述。
[0082] 簇酸酢化合物(a3)
[0083] 簇酸酢化合物(a3)可选自于由W下(1)至(2)所组成的群组:(1)下二酸酢 (butanedioic anhydride)、顺下締二酸酢(maleic anhydride)、衣康酸酢(itaconic anhydride)、邻苯二甲酸酢(phthalic anhydride)、四氨邻苯二甲酸酢 (tetr址yhwhthalic anhy化ide)、六氨邻苯二甲酸酢化ex址yhwhthalic anhy化ide)、 甲基四氨邻苯二甲酸酢、甲基六氨邻苯二甲酸酢、甲基桥亚甲基四氨邻苯二甲酸酢(me thy 1 endo-methylene tetr曰hydrophth曰lie 曰nhydride)、氯茵酉《酉干(chlorendic 曰nhydride)、 戊二酸酢、偏Ξ苯甲酸酢(1,2,4-benzene hicarbo巧lie anhy化ide)等的二元簇酸酢化 合物;W及(2)二苯甲酬四甲酸二酢(benzo地enone tehacarbo巧lie dianhy化ide,简称 BTDA)、双苯四甲酸二酢、双苯酸四甲酸二酢等的四元簇酸酢化合物。
[0084] 含环氧基的化合物(a4)
[0085] 含环氧基的化合物(a4)可选自于甲基丙締酸环氧丙醋、3,4-环氧基环己基甲基丙 締酸醋、含不饱和基的缩水甘油酸化合物、含环氧基的不饱和化合物或上述化合物的组合。 上述含不饱和基的缩水甘油酸化合物包括长懒化成工业株式会社制造,型号为Denacol EX-111、Denacol ΕΧ-121、Denacol ΕΧ-141、Denacol ΕΧ-145、Denacol ΕΧ-146、Denacol EX-171或Denacol EX-192等的商品。
[0086] 第一碱可溶性树脂(A-1)可为具有至少二个环氧基的环氧化合物(al)与具有至少 一个簇酸基及至少一个乙締性不饱和基的化合物(a2)进行聚合反应所形成的含径基的反 应产物,其中具有至少二个环氧基的环氧化合物(al)为式(3)表示的化合物。接着,添加簇 酸酢化合物(a3)至反应溶液中,W进行聚合反应。基于上述含径基的反应产物的径基的总 当量数为1当量,簇酸酢化合物(a3)所含有的酸酢基的当量数优选为0.4当量至1当量,更优 选为0.75当量至1当量。当使用多个簇酸酢化合物(a3)时,运些簇酸酢化合物可于反应中依 序添加或同时添加。当使用二元簇酸酢化合物及四元簇酸酢化合物来作为簇酸酢化合物 (a3)时,二元簇酸酢化合物及四元簇酸酢化合物的摩尔比例优选为1/99至90/10,且更优选 为5/95至80/20。另外,上述反应的操作溫度可为50°C至130°C。
[0087] 第一碱可溶性树脂(A-1)可为具有至少二个环氧基的环氧化合物(al)与具有至少 一个簇酸基及至少一个乙締性不饱和基的化合物(a2)进行反应所形成的含径基的反应产 物,其中具有至少二个环氧基的环氧化合物(al)为式(4)表示的化合物。接着,通过添加簇 酸酢化合物(a3)、含环氧基的化合物(a4)或上述两者的组合至反应溶液中,W进行聚合反 应。基于式(4)表示的化合物中的环氧基的总当量数为1当量,上述具有至少一个簇酸基及 至少一个乙締性不饱和基的化合物(a2)的酸价当量数优选为0.8当量至1.5当量,且更优选 为0.9当量至1.1当量。基于上述含径基的反应产物的径基的总使用量为100摩尔%,簇酸酢 化合物(a3)的使用量为10摩尔%至100摩尔%,优选为20摩尔%至100摩尔%,且更优选为 30摩尔%至100摩尔%。
[0088] 制备上述的第一碱可溶性树脂(A-1)时,为了缩短反应时间,一般会添加碱性化合 物至反应溶液中,W作为反应触媒。反应触媒包括Ξ苯基麟(tri地enyl phosphine)、Ξ苯 基錬(triphenyl stibine)、Ξ乙胺(triethylamine)、Ξ乙醇胺(triethanolamine)、氯化 四甲基锭(tetramethylammonium chloride)或氯化苄基Ξ乙基锭 (benzyltriethylammoni皿chloride)等。反应触媒可单独使用或组合多种来使用。
[0089] 基于上述具有至少二个环氧基的环氧化合物(al)与具有至少一个簇酸基及至少 一个乙締性不饱和基的化合物(a2)的总使用量为100重量份,反应触媒的使用量优选为 0.01重量份至10重量份,且更优选为0.3重量份至5重量份。
[0090] 此外,为了控制聚合度可添加聚合抑制剂(polymerization inhibitor)至反应溶 液中。聚合抑制剂包括甲氧基酪(metho巧地enol)、甲基氨酿(methylhy化oquinone)、氨酿 (117(11'〇911;[]1〇]16)、2,6-二第^下基对甲酪(2,6-(1;[-1:-1311171-9-。'6301)、吩嚷嗦 (地enothiazine)等。聚合抑制剂可单独使用或组合多种来使用。
[0091] 基于上述具有至少二个环氧基的环氧化合物(al)与具有至少一个簇酸基及至少 一个乙締性不饱和基的化合物(a2)的总使用量为100重量份,聚合抑制剂的使用量优选为 0.01重量份至10重量份,且更优选为0.1重量份至5重量份。
[0092] 制备第一碱可溶性树脂(A-1)时,聚合反应溶剂可选择性地被使用。聚合反应溶剂 包括乙醇、丙醇、异丙醇、下醇、异下醇、2-下醇、己醇、乙二醇等的醇类溶剂;甲乙酬、环己酬 等的酬类溶剂;甲苯、二甲苯等的芳香族控类溶剂;赛塔素(cellosolve)、下基赛塔素 (butyl cel losolve)等的赛塔素类溶剂;卡必妥(carbi to 1 )、下基卡必妥(butyl carbitol)等的卡必妥类溶剂;丙二醇单甲酸(propylene glycol monome1:hyl ether)等的 丙二醇烷基酸类溶剂;二丙二醇单甲酸[dKprop^ene glycol)meth^ ether]等的多丙二 醇烷基酸[poly(propylene glycol)alkyl ether]类溶剂;醋酸乙醋、醋酸下醋、乙二醇单 乙酸醋酸醋(ethylene glycol monoethyl ether acetate)、丙二醇单甲酸醋酸醋 (propylene glycol monomethyl ether acetate)等的醋酸醋类溶剂;乳酸乙醋(ethyl lactate)、乳酸下醋(but}d lactate)等的乳酸烧醋(alkyl lactate)类溶剂;或二烷基二 醇酸类溶剂。聚合反应溶剂可单独使用或组合多种来使用。此外,第一碱可溶性树脂(A-1) 的酸价优选为50毫克K0H/克(m排OH/g)至200毫克K0H/克,且更优选为60毫克K0H/克至150 毫克K0H/克。
[0093] 基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份,第一碱可溶性树脂(A-1)的使用量 可为10重量份至80重量份,优选为15重量份至70重量份,且更优选为20重量份至50重量份。 当碱可溶性树脂(A)含有第一碱可溶性树脂(A-1)时,所制得的感光树脂组成物的高精细度 的图案直线性优选。
[0094]另外,上述第一碱可溶性树脂(A-1)藉由凝胶渗透色谱仪(Gel Permeation 化romatogra地y, GPC)测定之聚苯乙締换算的重量平均分子量优选为800至8,000,更优选 为1,000至6,000。
[00M]第二碱可溶性树脂(A-2)
[0096] 较佳地,根据本发明的该碱可溶性树脂(A)进一步包含第二碱可溶性树脂(A-2), 该第二碱可溶性树脂(A-2)系由含一个或一个W上簇酸基的乙締性不饱和单体,和其它可 共聚合的乙締性不饱和单体共聚合而得。基于共聚合用单体100重量份,较佳地,该第二碱 可溶性树脂(A-2)由5重量份至50重量份含一个或一个W上簇酸基的乙締性不饱和单体和 50重量份至95重量份的其它可共聚合的乙締性不饱和单体共聚合而得。
[0097] 该含一个或一个W上簇酸基的乙締性不饱和单体可单独或混合使用,且该含簇酸 基的乙締性不饱和单体包含但不限于丙締酸、甲基丙締酸(methacrylic acid,简称MAA)、 下締酸、α-氯丙締酸、乙基丙締酸、肉桂酸、2-丙締酷乙氧基下二酸醋、或2-甲基丙締酷乙氧 基下二酸醋(2-methacryloylo巧ethyl succinate monoester,简称HOMS)等不饱和一元簇 酸类;马来酸、马来酸酢、富马酸、衣康酸、衣康酸酢、巧康酸及巧康酸酢等不饱和二元簇酸 (酢)类;Ξ个簇酸基W上的不饱和多元簇酸(酢)类。较佳地,该含簇酸基的乙締性不饱和单 体是择自于丙締酸、甲基丙締酸、2-丙締酷乙氧基下二酸醋、或2-甲基丙締酷乙氧基下二酸 醋。更佳地,该含簇酸基的乙締性不饱和单体是择自于2-丙締酷乙氧基下二酸醋、或2-甲基 丙締酷乙氧基下二酸醋,可W提高颜料分散性及增进显影速度W及减少残渣发生。
[0098] 该其它可共聚合的乙締性不饱和单体可单独或混合使用,且该其它可共聚合的乙 締性不饱和单体包含但不限于苯乙締(styrene,简称SM)、a-甲基苯乙締、乙締基甲苯、对氯 苯乙締、甲氧基苯乙締等芳香族乙締基化合物;氮-苯基马来酷亚胺(N-地enylmaleimide, 简称PMI)、氮-邻-?基苯基马来酷亚胺、氮-间-?基苯基马来酷亚胺、氮-对-?基苯基马来 酷亚胺、氮-邻-甲基苯基马来酷亚胺、氮-间-甲基苯基马来酷亚胺、氮-对-甲基苯基马来酷 亚胺、氮-邻-甲氧基苯基马来酷亚胺、氮-间-甲氧基苯基马来酷亚胺、氮-对-甲氧基苯基马 来酷亚胺、氮-环己基马来酷亚胺等马来酷亚胺类;丙締酸甲醋(methyl acrylate,简称 Μ)、甲基丙締酸甲醋、丙締酸乙醋、甲基丙締酸乙醋、丙締酸正丙醋、甲基丙締酸正丙醋、丙 締酸异丙醋、甲基丙締酸异丙醋、丙締酸正下醋、甲基丙締酸正下醋、丙締酸异下醋、甲基丙 締酸异下醋、丙締酸第二下醋、甲基丙締酸第二下醋、丙締酸第Ξ下醋、甲基丙締酸第Ξ下 醋、丙締酸2-径基乙醋、甲基丙締酸2-径基乙醋、丙締酸2-径基丙醋、甲基丙締酸2-径基丙 醋、丙締酸3-径基丙醋、甲基丙締酸3-径基丙醋、丙締酸2-径基下醋、甲基丙締酸2-径基下 醋、丙締酸3-径基下醋、甲基丙締酸3-径基下醋、丙締酸4-径基下醋、甲基丙締酸4-径基下 醋、丙締酸締丙醋、甲基丙締酸締丙醋、丙締酸苯甲醋、甲基丙締酸苯甲醋(benzyl methacrylate,简称化ΜΑ)、丙締酸苯醋、甲基丙締酸苯醋、丙締酸Ξ乙二醇甲氧醋、甲基丙 締酸Ξ乙二醇甲氧醋、甲基丙締酸十二烷基醋、甲基丙締酸十四烷基醋、甲基丙締酸十六烧 基醋、甲基丙締酸十八烷基醋、甲基丙締酸二十烷基醋、甲基丙締酸二十二烷基醋、丙締酸 双环戊締基氧化乙醋(dicyclopentenyloxyeth}d acrylate,简称DCP0A)等不饱和簇酸醋 类;丙締酸-氮,氮-二甲基胺基乙醋、甲基丙締酸-氮,氮-二甲基胺基乙醋、丙締酸-氮,氮- 二乙基胺基丙醋、甲基丙締酸-氮,氮-二甲基胺基丙醋、丙締酸氮,氮-二下基胺基丙醋、氮- 甲基丙締酸异-下基胺基乙醋;丙締酸环氧丙基醋、甲基丙締酸环氧丙基醋等不饱和簇酸环 氧丙基醋类;乙酸乙締醋、丙酸乙締醋、下酸乙締醋等簇酸乙締醋类;乙締基甲酸、乙締基乙 酸、締丙基环氧丙基酸、甲代締丙基环氧丙基酸等不饱和酸类;丙締腊、甲基丙締腊、α-氯丙 締腊、氯化亚乙締等腊化乙締基化合物;丙締酷胺、甲基丙締酷胺、α-氯丙締酷胺、氮-径乙 基丙締酷胺、氮-径乙基甲基丙締酷胺等不饱和酷胺;1,3-下二締、异戊二締、氯化下二締等 脂肪族共辆二締类。
[0099] 较佳地,该其他可共聚合的乙締性不饱和单体是择自于苯乙締、氮-苯基马来酷亚 胺、丙締酸甲醋、甲基丙締酸甲醋、丙締酸2-径基乙醋、甲基丙締酸2-径基乙醋、丙締酸苯甲 醋、甲基丙締酸苯甲醋、丙締酸双环戊締基氧化乙醋、或此等组合。
[0100] 在制备该第二碱可溶性树脂(Α-2)时,可使用溶剂,该溶剂可单独或混合使用,且 该溶剂包含但不限于乙二醇甲酸、乙二醇乙酸、二甘醇甲酸、二甘醇乙酸、二甘醇正丙酸、二 甘醇正下酸、Ξ甘醇甲酸、Ξ甘醇乙酸、丙二醇甲酸、丙二醇乙酸、一缩二丙二醇甲酸、一缩 二丙二醇乙酸、一缩二丙二醇正丙酸、一缩二丙二醇正下酸、二缩Ξ丙二醇甲酸、二缩Ξ丙 二醇乙酸等(聚)亚烷基二醇单烧酸类;乙二醇甲酸醋酸醋、乙二醇乙酸醋酸醋、丙二醇甲酸 醋酸醋(propylene glycol methyl ether acetate,简称PGMEA)、丙二醇乙酸醋酸醋等 (聚)亚烷基二醇单烧酸醋酸醋类;二甘醇二甲酸、二甘醇甲乙酸、二甘醇二乙酸、四氨巧喃 等其他酸类;甲乙烧酬、环己酬、2-庚酬、3-庚酬等酬类;2-径基丙酸甲醋、2-径基丙酸乙醋 等乳酸烧醋类;2-径基-2-甲基丙酸甲醋、2-径基-2-甲基丙酸乙醋、3-甲氧基丙酸甲醋、3- 甲氧基丙酸乙醋、3-乙氧基丙酸甲醋、3-乙氧基丙酸乙醋(ethyl 3-ethoxypropionate,简 称邸P)、乙氧基乙酸乙醋、径基乙酸乙醋、2-径基-3-甲基下酸甲醋、3-甲基-3-甲氧基下基 乙酸醋、3-甲基-3-甲氧基下基丙酸醋、乙酸乙醋、乙酸正丙醋、乙酸异丙醋、乙酸正下醋、乙 酸异下醋、乙酸正戊醋、乙酸异戊醋、丙酸正下醋、下酸乙醋、下酸正丙醋、下酸异丙醋、下酸 正下醋、丙酬酸甲醋、丙酬酸乙醋、丙酬酸正丙醋、乙酷乙酸甲醋、乙酷乙酸乙醋、2-甲氧基 下酸乙醋等其他醋类;甲苯、二甲苯等芳香族碳氨化合物类;氮-甲基化咯烧酬、氮,氮-二甲 基甲酯胺、或氮,氮-二甲基乙酷胺等酷胺类等。较佳地,该溶剂是择自于丙二醇甲酸醋酸 醋、3-乙氧基丙酸乙醋、或此等组合。该(聚)亚烷基二醇单烧酸类指的是亚烷基二醇单烧酸 类或聚亚烷基二醇单烧酸类。该(聚)亚烷基二醇单烧酸醋酸醋类指的是亚烷基二醇单烧酸 醋酸醋类或聚亚烷基二醇单烧酸醋酸醋类。
[0101] 该第二碱可溶性树脂(A-2)制备时所使用的起始剂一般为自由基型聚合起始剂, 具体例如:2,2'-偶氮双异下腊、2,2'-偶氮双(2,4-二甲基戊腊)、2,2'-偶氮双(4-甲氧基- 2,4-二甲基戊腊)、2,2 偶氮双-2-甲基下腊(2,2 '-azobis-2-methyl butyronihile,简 称AMBN)等之偶氮(azo)化合物;过氧化二苯甲酯等过氧化合物。
[0102] 基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份,第二碱可溶性树醋(A-2)的使用量 可为20重量份至90重量份,优选为30重量份至85重量份,且更优选为50重量份至80重量份。
[0103] 另外,上述第一碱可溶性树脂(A-2)藉由凝胶渗透色谱仪(Gel Permeation 化romatography, GPC)测定之聚苯乙締换算的重量平均分子量优选为3,000至30,000,更优 选为 5,000 至 25,000。
[0104] 含乙締性不饱和基的化合物(B)
[0105] 含乙締性不饱和基的化合物(B)包括由式(5)表示的化合物W及式(6)表示的化合 物所组成的族群的至少一种的化合物(B-1)。此外,含乙締性不饱和基的化合物(B)还可选 择性地包括其他含乙締性不饱合基的化合物(B-2)。
[0106] 化合物(B-1)
[0107] 化合物(B-1)选自由式(5)表示的化合物W及式(6)表示的化合物所组成的族群的 至少一种。具体而言,由式(5) W及式(6)表示的化合物如下所述。
[010 引
[0109] 式(5)及式(6)中,E各自独立表示-((C出)zC出0)-或-((C出)zCH(C出)0)-,z各自独 立表示1至10的整数,Υι、Υ2各自独立表示丙締酷基、甲基丙締酷基、氨原子或簇基;式(5)中, Yi所表示的丙締酷基W及甲基丙締酷基的合计为3个或4个,Ρ各自独立表示0至10的整数, 各个P的合计为1至40的整数;式(6)中,Y2所表示的丙締酷基W及甲基丙締酷基的合计为5 个或6个,q各自独立表示0至10的整数,各个q的合计为1至60的整数。
[0110] 由式(5)表示的化合物或式(6)表示的化合物可由如下的先前公知的步骤而合成: 季戊四醇或二季戊四醇通过环氧乙烧巧th^ene oxide)或环氧丙烷(Propylene oxide)的 开环加成反应而键结开环骨架的步骤;及使例如(甲基)丙締酷氯与开环骨架的末端径基反 应而导入(甲基)丙締酷基的步骤。各步骤为众所周知的步骤,本发明所属技术领域中具通 常知识者可容易地合成由式(5)表示的化合物或式(6)表示的化合物。
[0111] 由式(5)表示的化合物W及式(6)表示的化合物,更优选为季戊四醇衍生物及/或 二季戊四醇衍生物。
[0112] 由式(5)表示的化合物的具体例包括由式(7)表示的化合物、乙氧基化季戊四醇四 丙締酸醋化thoxylated Pen1:ae巧thritol tetraaciylate)、丙氧基化季戊四醇四丙締酸 酯(Propoxylated Pentaerythritol tetraacrylate),或其组合。。
[0113]
[0114] 式(7)中,各P合计为4或12。
[0115] 由式(6)表示的化合物的具体例包括由式(8)至式(10)表示的化合物,其中式(8) 中各q合计为6或12;式(9)中各q合计为12;式(10)中各q合计为6;优选为式(8)。
[0116]
[011引化合物(B-2)
[0119] 其他含乙締性不饱和基的化合物(B-2)包含选自由经己内醋改质的多元醇与(甲 基)丙締酸反应而得的(甲基)丙締酸醋系化合物(B-2-i)W及具有如下述式(11)所示的官 能基的化合物(B-2-ii)所组成的群组中的化合物。
[0120]
[0121] 式(11)中,R19表示氨或甲基。
[0122] 所述经己内醋改质的多元醇是由己内醋与具有4个官能基W上的多元醇反应而制 得。己内醋的具体例包括可W是丫-己内醋、δ-己内醋,或ε-己内醋;优选为ε-己内醋;具有4 个官能基W上的多元醇可W是季戊四醇、二Ξ径甲基丙烷、二季戊四醇等。
[0123] (甲基)丙締酸醋系化合物(B-2-i)的具体例可列举:季戊四醇己内醋改质的四(甲 基)丙締酸醋类化合物、二Ξ径甲基丙烷己内醋改质的四(甲基)丙締酸醋类化合物、二季戊 四醇己内醋改质的多(甲基)丙締酸醋类化合物等,其中,该二季戊四醇己内醋改质的多(甲 基)丙締酸醋类化合物的具体例为二季戊四醇己内醋改质的二(甲基)丙締酸醋类化合物、 二季戊四醇己内醋改质的Ξ (甲基)丙締酸醋类化合物、二季戊四醇己内醋改质的四(甲基) 丙締酸醋类化合物、二季戊四醇己内醋改质的五(甲基)丙締酸醋类化合物、二季戊四醇己 内醋改质的六(甲基)丙締酸醋类化合物等。
[0124] 进一步而言,所述二季戊四醇己内醋改质的多(甲基)丙締酸醋类的结构可W式 (12)表示:
[0125]
[0126] 式(12)中,RW及R"分别表示氨或甲基;C为1至2的整数;a为1至6的整数;b为0至5 的整数,其中a+b = 2至6;优选为a+b = 3至6;更优选为a+b = 5至6;最优选为a+b = 6。
[0127] 具有如式(11)所示的官能基的化合物(B-2-ii)可列举如:丙締酷胺、(甲基)丙締 酷吗嘟、(甲基)丙締酸-7-胺基-3,7-二甲基辛醋、异下氧基甲基(甲基)丙締酷胺、(甲基)丙 締酸异冰片基氧乙醋、(甲基)丙締酸异冰片醋、(甲基)丙締酸-2-乙基己醋、乙基二甘醇(甲 基)丙締酸醋、第Ξ辛基(甲基)丙締酷胺、二丙酬(甲基)丙締酷胺、(甲基)丙締酸二甲胺基 醋、(甲基)丙締酸十二烷基醋、(甲基)丙締酸二环戊締氧乙醋、(甲基)丙締酸二环戊締醋、 N,N-二甲基(甲基)丙締酷胺、(甲基)丙締酸四氯苯醋、(甲基)丙締酸-2-四氯苯氧基乙醋、 (甲基)丙締酸四氨慷醋、(甲基)丙締酸四漠苯醋、(甲基)丙締酸-2-四漠苯氧基乙醋、(甲 基)丙締酸-2-Ξ氯苯氧基乙醋、(甲基)丙締酸Ξ漠苯醋、(甲基)丙締酸-2-Ξ漠苯氧基乙 醋、(甲基)丙締酸-2-径乙醋、(甲基)丙締酸-2-径丙醋、乙締基己内酷胺、氮-乙締基皮酪烧 酬、(甲基)丙締酸苯氧基乙醋、(甲基)丙締酸五氯苯醋、(甲基)丙締酸五漠苯醋、聚单(甲 基)丙締酸乙二醇醋、聚单(甲基)丙締酸丙二醇醋、(甲基)丙締酸冰片醋、乙二醇二(甲基) 丙締酸醋、二(甲基)丙締酸二环戊締醋、Ξ甘醇二丙締酸醋、四甘醇二(甲基)丙締酸醋、Ξ (2-径乙基)异氯酸醋二(甲基)丙締酸醋、立(2-径乙基)异氯酸醋Ξ(甲基)丙締酸醋、己内 醋改质的立(2-径乙基)异氯酸醋Ξ(甲基)丙締酸醋、Ξ(甲基)丙締酸Ξ径甲基丙醋、Ξ甘 醇二(甲基炳締酸醋、新戊二醇二(甲基)丙締酸醋、1,4-下二醇二(甲基)丙締酸醋、1,6-己 二醇二(甲基)丙締酸醋、季戊四醇Ξ(甲基)丙締酸醋、季戊四醇四(甲基)丙締酸醋、聚醋二 (甲基)丙締酸醋、聚乙二醇二(甲基)丙締酸醋、二季戊四醇六(甲基)丙締酸醋、二季戊四醇 五(甲基)丙締酸醋、二季戊四醇四(甲基炳締酸醋、四(甲基)丙締酸二立径甲基丙醋、E0改 质的双酪A二(甲基)丙締酸醋、P0改质的双酪A二(甲基)丙締酸醋、E0改质的氨化双酪A二 (甲基)丙締酸醋、P0改质的氨化双酪A二(甲基)丙締酸醋、E0改质的双酪F二(甲基)丙締酸 醋、酪醒聚缩水甘油酸(甲基)丙締酸醋。
[0128] 具有如式(11)所示的官能基的化合物(B-2-ii)优选为选自由Ξ丙締酸Ξ径甲基 丙醋、季戊四醇Ξ丙締酸醋、季戊四醇四丙締酸醋、二季戊四醇六丙締酸醋、二季戊四醇五 丙締酸醋、二季戊四醇四丙締酸醋、四丙締酸二(Ξ径甲基)丙醋及其组合物所组成的群组 中。
[0129] 当本发明的感光性树脂组成物中所含有的含乙締性不饱合基的化合物(B)包含选 自由式(5)所表示的化合物W及式(6)所表示的化合物所组成的组群中的至少一种的化合 物(B-1)时,显影性较佳。
[0130] 本发明所述的感光性树脂组成物中,基于碱可溶性树脂(A)IOO重量份,所述包含 选自由式(5)所表示的化合物^及式(6)所表示的化合物所组成的组群中的至少一种的化 合物(B-1)的使用量为10重量份至100重量份,优选为15重量份至80重量份,更优选为20重 量份至60重量份。
[0131] 本发明所述的感光性树脂组成物中,基于碱可溶性树脂(A)IOO重量份,含乙締性 不饱合基的化合物(B)的使用量为60重量份至600重量份,优选为80重量份至500重量份,更 优选为100重量份至400重量份。
[0132] 光起始剂(C)
[0133]光起始剂(C)是选自由苯乙酬系化合物(acetophenone )、二咪P坐系化合物 (biimidazole)、醜目亏系化合物(acyl oxime)所组成的组群中的至少一种D
[0134] 所述苯乙酬系化合物的具体例为:对二甲胺苯乙酬(9-(1;!_1116巾11713111;!_11〇- 过06^9116110116)、〇,〇'-二甲氧基氧化偶氮苯乙酬(〇,〇'-(1;!_1116化0巧3乙0巧-306^9116110116)、 2,2'-二甲基-2-苯基苯乙酬(2,2'-(1;!_1116化71-2-口116町1-过〇6古〇口11611〇116)、对甲氧基苯乙酬 (口-1116化0巧-过06如口116110116)、2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-吗嘟代-1-丙酬[2-1116化71- l-(4-methylthio phe打yl)-2-morpholi打o-1-prop过打0打e]、2-苄基-2-氮,氮-二甲月安 吗口林代苯基)-1-下酬[2-benzyl-2-N, N-dime thy lamin0-1-(4-morpholinophenyl )-1- butanone]〇
[0135] 所述二咪蜂系化合物的具体例为:2,2'-双(邻-氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪 P^[2,2^-bis(0-chlorophenyl)-4,4^,5,5^-tetraphenyl-biimidazole]>2,2^ 苯基)-4,4,5,5'-四苯基二咪Ρ坐[2,2'-1313(0-争11101'0口116町1)-4,4',5,5'-古6吐过口116町1- biimidazole]、2,2'-双(邻-甲基苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪P坐[2,2'-bis(0-methyl phe町1)-4,4',5,5'-tetraphenyl-biimidazole]、2,2'-双(邻-甲氧基苯基)-4,4',5,5'- 四苯基二咪[1坐[2,2'-1313(0-1116化0巧9116町1)-4,4',5,5'-古6打39116町1-13;!_;!_1111(13乙016]、2, 2'-双(邻-乙基苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪蜂[2,2'-^3(0-6化71口}16町1)-4,4',5,5'- tetrapheny 1-biimidazole]、2,2'-双(对甲氧基苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪P坐[2,2,- bis(p-methoxyphe打yl)-4,4',5,5'-tetraphe打yl-biimidazole]、2,2'-双(2,2',4,4'-四 甲氧基苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪P坐[2,2'-bis(2,2,,4,4'-tetrametho巧phe町1)-4, 4',5,5'-古6吐39116町1-13;!_;!_1111(13乙016]、2,2'-双(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪蜂[2, 2^-bis(2-chloropheny 1)-4,4^ ,5,5^-tetraphenyl-biimidazole] 基)-4,4',5,5'-四苯基二咪蜂[2,2'-^3(2,4-(110}110万0口}16町1)-4,4',5,5'- tetraphenyl-biimidazole]〇
[0136] 所述醜肪系化合物的具体例为:乙焼酬,l-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醜基)-9氨-巧 口坐-3-取代基]-,1-(氧-乙醜肪)[Ethanone,l-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl )-9H- carbazole-3-yl]-, l-(〇-acetyl oxime),Ciba Specialty Chemicals制,商品名为CGI- 242 , 其结构由式( 13)所示]、 1-(4-苯基-硫代-苯基)-辛焼-1 , 2-二酬 2-肪-氧-苯甲酸醋[1- (4-phenyl-thi0-phenyl)-0ctane-l,2-dion 2-0xime-0-benzoate,Ciba Specialty Qiemicals制,商品名为CGI-124,其结构由式(14)所不]、乙焼酬,l-[9-乙基-6-(2-氯-4-苯 甲基-硫代-苯甲醜基)-9氨-巧蜂-3-取代基]-,1-(氧-乙醜肪)[目化过0006,1-[9-6化71-6- (2-cholr0-4-benzyl-thi0-benzoyl)-9H-carbazole-3-yl]-, l-(〇-acetyl oxime),旭电 化公司制,其结构由式(15)所示]。
[0139] 光起始剂(C)优选为2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-吗嘟代-1-丙酬、2-苄基-2- 氮,氮-二甲胺-1-(4-吗嘟代苯基下酬、2,2'-双(邻-氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基二咪 蜂、乙焼酬,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醜基)-9-氨-巧蜂-3-取代基]-,1-(氧-乙醜肪)或这 些化合物的组合。
[0140] 光起始剂(C)视需要可进一步添加下列的化合物:嗟喃酬(thioxan化one)、2,4-二 乙基嗟喃酬(2,4-die化yl-thioxan化anone)、嗟喃酬-4-讽(thioxan化one-4-sulfone)、二 苯甲酬(benzophenone)、4,4'-双(二甲胺)二苯甲酬[4,4'-bis(dimethylamino) benzophenone]、4,4'一双(二乙月安)二苯甲酉同[4,4'一bis(diethylamino)benzophenone]等二 苯甲酬(benzophenone)系化合物;苯偶醜(benzil)、乙醜基(acetyl)等α-二酬(α- diketone)类;二苯乙醇酬(benzoin)等酬醇(acyloin)类;二苯乙醇酬甲離(benzoin methylether)、二苯乙醇酬乙酸(benzoin ethyl ether)、二苯乙醇酬异丙酸(benzoin isopropyl ether)等酬醇酸(a巧loin ether)类;2,4,6-Ξ甲基苯酷二苯基麟氧化物(2,4, 6-1:;rimethyl-benzoy;L-di地eny 1-phosphineoxide)、双-(2,6-二甲氧基苯酷)-2,4,4-Ξ甲 基苯基麟氧化物[bis-(2,6-dimethoxy-benzoyl )-2,4,4-t;rimethyl-benzyl- phosphineoxide]等酷麟氧化物(a巧 1 phosphineoxide)类;蔥酿(ant虹aquinone)、1,4-糞 酿(1,4-naphtho quinone)等酿(quinone)类;苯酷甲基氯(phena巧 1 chloride)、Ξ漠甲基 苯讽(付比;1"〇1]1〇11101:1171可110]1718111;1!'〇]10)三(;氯甲基)-8-;嗦[付18(付101110;1"011101:1171)- s-triazine]等面化物;W及二-第Ξ下基过氧化物(di-te;rtbutylpe;roxide)等过氧化物; 其中优选为二苯甲酬(benzo地enone)系化合物;最优选为4,4'-双(二乙胺)二苯甲酬。
[0141] 本发明所述的感光性树脂组成物中,基于碱可溶性树脂(A)IOO重量份,光起始剂 (C) 的使用量为20重量份至200重量份,优选为40重量份至150重量份,更优选为50重量份至 100重量份。
[0142] 有机溶剂(D)
[0143] 有机溶剂(D)需可溶解碱可溶性树脂(A)、含乙締性不饱和基的化合物(B)及光起 始剂(C),且不与运些成分相互反应,并具有适当的挥发性。
[0144] 有机溶剂(D)可列举:乙二醇甲酸、乙二醇乙酸、二甘醇甲酸、二甘醇乙酸、二甘醇 正丙酸、二甘醇正下酸、Ξ甘醇甲酸、Ξ甘醇乙酸、丙二醇甲酸、丙二醇乙酸、一缩二丙二醇 甲酸、一缩二丙二醇乙酸、一缩二丙二醇正丙酸、一缩二丙二醇正下酸、二缩Ξ丙二醇甲酸、 二缩Ξ丙二醇乙酸等之(聚)亚烷基二醇单烧酸类;乙二醇甲酸乙酸醋、乙二醇乙酸乙酸醋、 丙二醇甲酸醋酸醋、丙二醇乙酸乙酸醋等(聚)亚烷基二醇单烧酸乙酸醋类;二甘醇二甲酸、 二甘醇甲乙酸、二甘醇二乙酸、四氨巧喃等其他酸类;甲乙烧酬、环己酬、2-庚酬、3-庚酬等 酬类;2-径基丙酸甲醋、2-径基丙酸乙醋等乳酸烧醋类;2-径基-2-甲基丙酸甲醋、2-径基- 2-甲基丙酸乙醋、3-甲氧基丙酸甲醋、3-甲氧基丙酸乙醋、3-乙氧基丙酸甲醋、3-乙氧基丙 酸乙醋化EP)、乙氧基乙酸乙醋、径基乙酸乙醋、2-径基-3-甲基下酸甲醋、3-甲基-3-甲氧基 下基乙酸醋、3-甲基-3-甲氧基下基丙酸醋、乙酸乙醋、乙酸正丙醋、乙酸异丙醋、乙酸正下 醋、乙酸异下醋、乙酸正戊醋、乙酸异戊醋、丙酸正下醋、下酸乙醋、下酸正丙醋、下酸异丙 醋、下酸正下醋、丙酬酸甲醋、丙酬酸乙醋、丙酬酸正丙醋、乙酷乙酸甲醋、乙酷乙酸乙醋、2- 氧基下酸乙醋等其他醋类;甲苯、二甲苯等芳香族碳氨化合物类;N-甲基化咯烧酬、N,N-二 甲基甲酯胺、N,N-二甲基乙酷胺等簇酸酷胺类等溶剂,较佳地,该溶剂是选自丙二醇甲酸醋 酸醋、3-乙氧基丙酸乙醋,且前述溶剂可单独使用一种或组合多种来使用。
[0145] 本发明所述的感光性树脂组成物中,基于碱可溶性树脂(A)IOO重量份,有机溶剂 (D) 的使用量为500重量份至5000重量份,优选为600重量份至4000重量份,更优选为700重 量份至3000重量份。
[0146] 化合物化)
[0147] 化合物化)如下式(1)所示:
[014 引
[0149] 式(1)中,R'各自独立表示氨原子、碳数为1至20且经取代或未经取代的控基、或酷 基,R"各自独立表示氨原子、碳数为1至15且经取代或未经取代的控基、酷基、或硝基,m表示 〇、1或2的整数,X为具有由式(2)表示的结构的基团:
[0150]
[0151] 式(2)中,R表示氨原子或碳数为1至4的烷基。
[0152] 取代基X与r基团是位在式(1)中的四个N的置换位置的其中之一。举例来说,当m =2时,两个取代基X可分别位于其中两个N上,例如两个取代基X位于同一个五员环上的1,3 位或不位于同一个五员环上的1,5位或1,7位。取代基X优选的配置为至少两个取代基X位于 同一个五员环上的1,3位、1,3,5位、1,3,7位或1,3,5,7位。
[0153] 取代基R'可各自独立表示氨原子、碳数为1至20且经取代或未经取代的控基、或酷 基。控基或酷基的碳数上限优选为15,更优选为12,再更优选为10,尤其优选为8,甚至可为 4。
[0154] 作为取代基R'的控基或酷基可为直链型或分支型,也可使用含有締基、环烷基、环 締基或芳香基的基团。当取代基R'为环烷基、环締基或芳香基时,R'优选为单环基团,例如 苯基(phenyl)、苯甲基(benzyl)、甲苯基(tolyl)或二甲苯基(xylyl)等单环芳香基、或例如 环戊基、环己基等单环环烷基。
[0155] 作为取代基R'的控基或酷基上的氨原子可有部分被杂原子或取代基取代,如氯或 漠等面素原子、或烷氧基、酷基、或酷氧基等取代基。当取代基R'为环状基团时,环状基团的 环上也可含有杂原子,如氧、氮或硫等原子,环状基团的取代基R'优选可含有1至3个杂原 子。
[0156] 当取代基R'上具有支链控基做为取代基的时候,该控基的碳原子数上限优选为 10,更优选为8;尤其优选为6,甚至可为4。做为取代基的支链控基可进一步含有面素、芳香 基、环烷基或具有1至3杂原子的环状基等基团。
[0157] 所有取代基R'的碳原子总数上限优选为12,更优选为10。单个取代基R'的碳原子 数上限优选为8,更优选为6,尤其优选为4。
[0158] 取代基r可各自独立表示氨原子、碳数为1至15且经取代或未经取代的控基、酷 基、或硝基。当取代基R"为控基时,取代基R"的碳原子数上限优选为12,更优选为10,尤其优 选为8。
[0159] 与取代基R'相同,作为取代基r的控基或酷基可为直链型或分支型,也可使用含 有締基、环烷基、环締基或芳香基的基团。当取代基R"为环烷基、环締基或芳香基时,R"优选 为单环基团。取代基r的控基或酷基上的氨原子可有部分被杂原子或取代基取代。当取代 基R"为环状基团时,环状基团的环上也可含有杂原子,优选可含有1至3个杂原子。
[0160] 做为取代基r上的取代基,具体例如面素、径基、胺基、N-取代胺基、硫醇基、烧硫 基、芳硫基、烷氧基、芳氧基或酷氧基等。取代基R"上可带有一个W上的取代基,优选为1至3 个。在更优选的具体例中,取代基R"上可带有烷基,其碳原子数限制与取代基R'相同。
[0161] 表1列出如式(1)所示的化合物化)的优选例。r、m定义与式(1)相同,R'i、R'2分别 表示式(1)中的两个取代基R'。
[0162] 表1
[0163]
[0164]
[0165] 当本发明的感光性树脂组成物中不含有由式(1)表示的化合物巧)时,所制得的感 光树脂组成物的高精细度的图案直线性W及显影性不佳。
[0166] 本发明所述的感光性树脂组成物中,基于碱可溶性树脂(A)IOO重量份,由式(1)表 示的化合物化)的使用量为3重量份至30重量份,优选为5重量份至25重量份,更优选为8重 量份至20重量份。
[0167] 当由式(1)表示的化合物化)的使用量为上述范围时,则后续可制得精细度的图案 直线性较佳的感光性树脂组成物,还可提升显影性。
[016引颜料(F)
[0169] 本发明的感光性树脂组成物中也可含有颜料(F)。所述颜料(F)是选自由无机颜料 W及有机颜料所组成的组群中的至少一种。
[0170] 无机颜料包含金属氧化物、金属错盐等金属化合物,可列举:铁、钻、侣、儒、铅、铜、 铁、儀、铭、亚铅、錬等金属氧化物,W及前述金属复合氧化物。
[0171] 有机颜料可列举:C.I.颜料黄1、3、11、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、55、60、 61、65、71、73、74、81、83、93、95、97、98、99、100、101、104、106、108、109、110、113、114、116、 117、119、120、126、127、128、129、138、139、150、151、152、153、154、155、156、166、167、168、 175;(:.1.颜料澄1、5、13、14、16、17、24、34、36、38、40、43、46、49、51、61、63、64、71、73;(:.1. 颜料红1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、14、15、16、17、18、19、21、22、23、30、31、32、37、38、 40、41、42、48:1、48:2、48:3、48:4、49:1、49:2、50:1、52:1、53:1、57、57:1、57:2、58:2、58:4、 60:1、63:1、63:2、64:1、81:1、83、88、90:1、97、101、102、104、105、106、108、112、113、114、 122、123、144、146、149、150、151、155、166、168、170、171、172、174、175、176、177、178、179、 180、185、187、188、190、193、194、202、206、207、208、209、215、216、220、224、226、242、243、 245、254、255、264、265;C.I.颜料紫 1、19、23、29、32、36、38、39;(:.1.颜料蓝1、2、15、15:3、 15:4、15:6、16、22、60、66;(:.1.颜料绿7、36、37;(:.1.颜料栋23、25、28;(:.1.颜料黑1、7等。黑 色颜料的具体例可进一步包含二糞嵌苯黑(perylene black)、花青黑(cyanine black)或 苯胺黑(aniline black)等黑色有机颜料;由红、蓝、绿、紫、黄色、花青(cyanine)或洋红 (magenta)等颜料中,选择两种或两种W上的颜料进行混合,W形成接近黑色的混色有机颜 料;碳黑(carbon black)、氧化铭、氧化铁、铁黑(titani皿black)或石墨等遮光材。
[0172] 本发明的感光性树脂组成物中,基于碱可溶性树脂(A)IOO重量份,颜料(F)的使用 量为40重量份至400重量份,优选为50重量份至350重量份,更优选为60重量份至300重量 份。
[0173] 染料(G)
[0174] 染料(G)包含具有式(16)结构的红色染料:
[0175]
[0176] 在式(16)中,R2嗜R25各自独立表示氨、-R"、碳数为6至10的芳香控基、或经面素原 子、-r27、-OH、-〇r27、-S〇3-、-SO 抽、-S03M、-C00H、-C00R27、-SO 浊"、-S02NHR28 或-S〇2NR28r29 取代 且碳数为6至10的芳香控基。R26各自独立表示-S〇3-、-SO抽、-S03M、-COOH、-COOR"、-S03R"、- S化NHR28或-S化NR28R29。d表示0至5的整数。X表示面素原子。e表示0或1。
[0177] R27表示可经面素原子取代且碳数为1至10的烷基,其中上述烷基中的-C此-可经置 换为-〇-、幾基或-nrW-。
[0178] rW表示可经面素原子取代且碳数为1至10的烷基。
[0179] R28及R29各自独立表示碳数为1至10的直链或支链烷基、碳数为3至30的环烷基、 或-Q;其中上述烷基或环烷基中的氨原子可经一取代基所取代,该取代基选自由径基、面素 原子、-Q、-CH=C此及-CH=CH-R27所组成的群组;上述烷基或环烷基中的-C出-可经置换为- 〇-、幾基或-NRW-;或R28及R29结合形成碳数为1至10的杂环基,上述杂环基中的氨原子可经- R"、-〇H、或-Q所取代。
[0180] Q表示碳数为6至10的芳香控基、碳数为5至10的杂芳香基、经面素原子、-护7、-〇山- 0R27、-N02、-CH = C此或-CH= CH-R"取代且碳数为6至10的芳香控基、或经面素原子、-327、- 0山-0护、-側2、-邸=邸2或-邸=邸-护取代且碳数为5至10的杂芳香控基。1表示钟或钢。
[0181] R27可列举:甲基、乙基、丙基、异丙基、下基、异下基、戊基、异戊基、新戊基 (neopent^)、环戊基、己基、环己基、庚基、环庚烧、辛基、环辛基、2-乙基己基、壬基、癸基、 Ξ环[5.3.0.03,10]癸基[tri巧cle(5.3.0.03,10)decanyl ]、甲氧基丙基、己氧基丙基、2- 乙基己氧基丙基、甲氧基己基、或环氧基丙基。
[0182] 碳数为6至10的芳香控基优选可列举:苯基或糞基等。
[018;3] -S03R27优选可列举:甲基横酷基(methanesulfonyl)、乙基横酷基 (ethanesulfonyl)、己基横酷基化exanesulfonyl)、或癸基横酷基(decanesulfonyl)。
[0184] -C00R27优选可列举:甲氧基幾基(methyloxycarbonyl)、乙氧基幾基 (ethyloxycarbony 1)、丙氧基幾基、异丙氧基幾基、下氧基幾基、异下氧基幾基、戊氧基幾 基、异戊氧基幾基、新戊氧基幾基、环戊氧基幾基、己氧基幾基、环己氧基幾基、庚氧基幾基、 环庚氧基幾基、辛氧基幾基、环辛氧基幾基、2-乙基己氧基幾基、壬氧基幾基、癸氧基幾基、 Ξ环[5.3.0.03,10]癸基幾基、甲氧基丙氧基幾基、己氧基丙氧基幾基、2-乙基己氧基丙氧 基幾基、或甲氧基己氧基幾基。
[0185] -S化饥取28优选可列举:胺横酷基(sulf amoy 1)、甲基胺横酷基、乙基胺横酷基、丙基 胺横酷基、异丙基胺横酷基、下基胺横酷基、异下基胺横酷基、戊基胺横酷基、异戊基胺横酷 基、新戊基胺横酷基、环戊基胺横酷基、己基胺横酷基、环己基胺横酷基、庚基胺横酷基、环 庚烧胺横酷基、辛基胺横酷基、环辛基胺横酷基、2-乙基己基胺横酷基、壬基胺横酷基、癸基 胺横酷基、Ξ环[5.3. ο. 03,10 ]癸基胺横酷基、甲氧基丙基胺横酷基、己氧基丙基胺横酷基、 2-乙基己氧基丙基胺横酷基、甲氧基己基胺横酷基、环氧基丙基胺横酷基、1,5-二甲基己基 胺横酷基、丙氧基丙基胺横酷基、异丙氧基丙基胺横酷基、3-苯基-1 -甲基丙基胺横酷基、 [0186]
[0187]
[0188] (R3表示碳数为1至3且可经面素原子取代的烷基或烷氧基)、
[0189]
[0190]
[0193]
[0196]
[0199]
[0200] 染料(G)优选可包括从具有式(16-1)至式(16-4)结构的红色染料所组成的群组中 选出一种W上的红色染料:
[0201]
[0202]
[0203] 在式(16-1)至式(16-4)中,X表示面素原子。e表示0或1。
[0204]在式(16-1)中,R2嗜R25定义与式(16)相同。R 3嗦示氨、-S03-、-S03H、-S02NHR28或- S〇2NR28r29。r31 表示-S〇3-、-so抽、-S化NHR28或-S化NR28r29。
[0205] 在式(16-2)中,R32至R35各自独立表示氨、-R37、碳数为6至10的芳香控基、或经面素 原子、-R37、-OH、-〇r37、-S〇3-、-S03H、-S〇3 化、-C00H、-C00R37、-SO 浊 37、或-S02NHR38 取代且碳数 为6至 10 的芳香控基。R36各自独立表示-S〇3-、-S03H、-S〇3Na、-COOH、-COOR37、或-S02NHR 38。d表 示0至5的整数。
[0206] R37表示可经面素原子或-OR39取代且碳数为1至10的烷基。R38表示氨、-R 37、- C00R37、碳数为6至10的芳香控基、或经-R37或-OR37取代且碳数为6至10的芳香控基。R 39表示 C1至CIO之柄基。
[0207] 在式(16-3)中,R3化RW各自独立表示苯基、或经面素原子、-R3V0R3VC00R 3V S03R37、或-S02NHR38取代的苯基。R41表示-SO3-或-S化NHR38。R42表示氨、-SO3-、或-S化饥瓜38。
[0208] 在式(16-4)中,R43及R44各自独立表示苯基、或经-R 37、或-S化NHR38取代的苯基。R" 表示-S〇3-或-S02NHR38。
[0209] 染料(G)可列举如下式(17)至式(43)的具体例:
[0210]
[0別。在式(17)至式(19)中,R。及Rd各自独立表示氨、-S03-、-C00H或-S02NHR45。於5表示2- 乙基己基。X表示面素原子。e表示0或1。
[0212]
[0別;3 ] 在式(20)至式(21)中,R6、Rf及Rg各自独立表示-S〇3-、-S〇3Na或-S02NHR 4日。R4日表示2- 乙基己基。
[0214]
[0別引在式(22)至式(23)中,Rh、Ri及Rj各自独立表示氨、-S03-、-S03化或-S02NHR45。於5表 示2-乙基己基。
[0216]
[0217]
[021 引
[0219]
[0220]
[0221] 染料似的优选具体例为式(17)(护与1?4为-5〇3^6为0)乂.1.酸性红色染料52"、式 (34rc. I.酸性红色染料289"、式(40)、式(43)、或此等组合。
[0222] 本发明的感光性树脂组成物中,基于碱可溶性树脂(A)IOO重量份,染料(G)的使用 量为3重量份至30重量份,优选为4重量份至25重量份,更优选为5重量份至20重量份。
[0巡]添加剂巧)
[0224] 添加剂化)包括界面活性剂、填充剂、高分子化合物(指前述的碱可溶性树脂(A)W 外者)、密着促进剂、抗氧化剂、紫外线吸收剂、防凝集剂等。
[0225] 界面活性剂有助于提高本发明的感光性树脂组成物的涂布性,可列举:聚环氧乙 烧十二烷基酸、聚环氧乙烧硬脂酷酸、聚环氧乙烧油酸等聚环氧乙烧烷基酸类;聚环氧乙烧 辛基苯酸、聚环氧乙烧壬基苯酸等聚环氧乙烧烷基苯酸类;聚乙二醇二月桂酸醋、聚乙二醇 二硬脂酸醋等聚乙二醇二醋类;山梨糖醇酢脂肪酸醋类;脂肪酸改质的聚醋类;Ξ级胺改质 的聚胺基甲酸醋类;信越化学工业制的KP产品、东瑞道康宁(Toray Dow Corning)制的SF- 8427产品、共荣社油脂化学工业制的普利弗隆(Polyflow)产品、得克姆公司制(Tochem Products Co .,Ltd.)的爱夫多普(F-Top)产品、大日本印墨化学工业制的美卡夫克 (Megafac)产品、住友3M制的弗洛多(Fluorade)产品、旭硝子制的阿萨卡多(Asahi Guard) 产品、旭硝子制的萨弗隆(Surflon)产品等。
[0。6]填充剂可列举:玻璃、侣等。高分子化合物可列举:聚乙締醇、聚乙二醇单烷基酸、 聚氣丙締酸烧醋等。所述密着促进剂可列举:乙締基Ξ甲氧基硅烷、乙締基Ξ乙氧基硅烷、 乙締基Ξ(2-甲氧乙氧基)硅烷、N-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-胺 基乙基)-3-胺基丙基二甲氧基硅烷、3-胺基丙基二乙氧基硅烷、3-环氧丙醇丙基二甲氧基 硅烷、3-环氧丙醇丙基甲基二甲氧基硅烷、2-( 3,4-环氧环己基)乙基Ξ甲氧基硅烷、3-氯丙 基甲基^甲氧基硅烷、3-氯丙基二甲氧基硅烷、3-甲基丙締氧基丙基二甲氧基硅烷、3-硫醇 基丙基二甲氧基硅烷等。
[0227] 抗氧化剂可列举:2,2-硫代双(4-甲基-6-第Ξ下基苯酪)、2,6-二-第Ξ下基苯酪 等。所述紫外线吸收剂可列举:2-(3-第Ξ下基-5-甲基-2-径基苯基)-5-氯苯基迭氮、烧氧 基苯酬等。所述防凝集剂可列举:聚丙締酸钢等。
[0228] 感光性树脂组成物的制备方法
[0229] 可用来制备感光性树脂组成物的方法例如:将碱可溶性树脂(A)、含乙締性不饱和 基的化合物(B)、光起始剂(C)、有机溶剂(D)W及由式(1)表示的化合物化)放置于揽拌器中 揽拌,使其均匀混合成溶液状态,必要时也可添加添加剂化),予W均匀混合后,便可获得溶 液状态的透明感光性树脂组成物。感光性树脂组成物的制备过程中视情况可加入颜料(F)、 染料(G),予W均匀混合后,便可获得溶液状态的彩色感光性树脂组成物。可用于后述的像 素层、保护膜或间隙体的形成。
[0230] 又,感光性树脂组成物的制备方法没有特别的限制。感光性树脂组成物的制备方 法例如是先将一部分的碱可溶性树脂(A)及含乙締性不饱和基的化合物(B)分散于一部分 的有机溶剂(D)中,W形成分散溶液;并且接着混合其余的碱可溶性树脂(A)、含乙締性不饱 和基的化合物(B)、光起始剂(C)、有机溶剂(D)、由式(1)表示的化合物化)、颜料(F) W及染 料(G)来制备。
[0231] 或者,感光性树脂组成物也可W是由先将一部分的由式(1)表示的化合物巧)分散 于一部分的有机溶剂(D),W形成分散液后;并且混合其余的并且接着混合其余的碱可溶性 树脂(A)、含乙締性不饱和基的化合物(B)、光起始剂(C)、有机溶剂(D)、由式(1)表示的化合 物化)、颜料(F)W及染料(G)来制备。
[0232] 像素层、保护膜与间隙体
[0233] 本发明提供一种像素层、一种保护膜与一种间隙体,其是使用上述的感光性树脂 组成物所形成。W下详细说明其制备方法。
[0234] 像素层的形成
[0235] 本发明的像素层的形成方法是将前述的彩色感光性树脂组成物涂布在基板上后, 进行预烤等加热处理,藉此去除其中的溶剂,W形成彩色像素层。
[0236] 通过旋转涂布、流延涂布或漉式涂布等涂布方式,将上述呈溶液状态的本发明的 感光树脂组成物涂布在基板上。此基板可W使用:用于液晶显示装置的无碱玻璃、钢巧玻 璃、硬质玻璃(派勒斯玻璃)、石英玻璃,W及附着有透明导电膜的此等玻璃等;用于光电变 换装置(如固体摄影装置)的基板(如:娃基板);事先形成有能隔离红、绿、蓝等像素着色层 的遮光用黑色矩阵(black matrix)的基板。
[0237] 涂布后,先W减压干燥方式去除感光树脂组成物中大部分的有机溶剂,再W预烤 (pre-bake)方式将残余的有机溶剂完全去除,W形成预烤涂膜。过程中,减压干燥及预烤的 操作条件是依各成分的种类、配合比率而异,通常,减压干燥是在OmmHg至200mmHg压力下进 行1秒钟至60秒钟,而预烤是在70°C至11(TC溫度下进行1分钟至15分钟。
[0238] 预烤后,W具有规定图案的光罩对预烤涂膜进行曝光。在曝光过程中所使用的光 线,优选为g线、h线、i线等紫外线,而用w发出紫外线的设备例如是(超)高压水银灯及金属 面素灯。
[0239] 曝光后,将该预烤涂膜浸溃于溫度介于23±2°C的显影液中,进行约15秒至5分钟 的显影,去除预烤涂膜不需要的部分,W于基板上形成预定的图案。所使用的显影液可W是 包含氨氧化钢、氨氧化钟、碳酸钢、碳酸氨钢、碳酸钟、碳酸氨钟、娃酸钢、甲基娃酸钢、氨水、 乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、氨氧化四甲锭、氨氧化四乙锭、胆碱、化咯、狐晚,或1,8-二氮 杂二环-[5.4.0]-7-^^ -締等碱性化合物的碱性水溶液,其浓度为0.001重量%至10重 量%,优选为0.005重量%至5重量%,更优选为0.01重量%至1重量%。
[0240] 之后,用水将基板上的图案洗净,再用压缩空气或压缩氮气将图案风干,最后W热 板或烘箱等加热装置对图案进行后加热处理(post-bake),加热溫度设定在150°C至250°C 之间,使用热板时的加热时间为5分钟至60分钟,使用烘箱时的加热时间则为15分钟至150 分钟,藉此使图案固定、从而形成像素层。重复上述步骤,便能依序在该基板上形成红、绿、 蓝等像素层。
[0241 ]保护膜与间隙体的形成
[0242] 本发明的保护膜的形成方法是先将由红色、绿色及蓝色着色层组成的像素层形成 于透明基板上,再将前述的透明感光性树脂组成物涂布在前述形成红、绿、蓝等像素着色层 的基板上后,进行曝光、显影W及后烤等步骤,藉此去除其中的溶剂,W形成彩色滤光层保 护膜。
[0243] 本发明的间隙体的形成方法是先在已形成有保护膜及像素层的透明基板上,形成 透明导电膜,再将前述的透明感光性树脂组成物涂布在前述透明导电膜上,接着,进行曝 光、显影W及后烤等步骤,藉此去除其中的溶剂,W形成间隙体。
[0244] 换言之,若欲形成保护膜,是将感光性树脂组成物涂布于基板上的像素层上;而若 欲形成间隙体,则是将感光性树脂组成物涂布于基板上的透明导电膜上。
[0245] 上述的涂布方法可例如为喷洒(spray)法、漉式(ro 11 er)涂布法、旋转涂布(sp in coating)法、杆式(bar)涂布法或喷墨印刷(ink jet)法等。上述的涂布方法可采用旋转涂 布机(spin coater)、非旋转式涂布机(spin loess coating machine) W及狭缝式涂布机 (slit-die coating machine)等进行涂布为优选。
[0246] 上述预烤(pre-bake)的条件,依各成分的种类,配合比率而异,通常预烤乃在70°C 至90°C溫度下进行1分钟至15分钟。预烤后,预烤涂膜的厚度为0.15皿至8.5皿,然WO. 15皿 至6.5WI1为优选,又W0.15WI1至4.5皿为更优选。可^理解的是,上述预烤涂膜的厚度系指去 除溶剂后的厚度。
[0247] 上述预烤涂膜形成后,再W热板或烘箱等加热装置进行加热处理。加热处理的溫 度通常为150至250°C,其中,使用热板的加热时间为5分钟至30分钟,使用烘箱的加热时间 为30分钟至90分钟。
[0248] 当上述硬化性树脂组成物使用光起始剂时,倘若有需要,可在将硬化性树脂组成 物涂布在基板表面上,并W预烤方式去除溶剂而形成预烤涂膜后,对该预烤涂膜进行曝光 处理。
[0249] 上述的曝光处理所使用的光线可例如可见光、紫外线、远紫外线、电子束 (electron beam)、X射线等,然W波长为190nm至450nm含有紫外线的光为优选。
[02加]上述的曝光处理曝光量Wiooj/V至20,000J/V为宜,然W150J/V至10,000J/V 为优选。
[0251] 在上述曝光处理后,可选择性利用热板或烘箱等加热装置进行加热处理。加热处 理的溫度通常为150至250°C,其中,使用热板的加热时间为5分钟至30分钟,使用烘箱的加 热时间为30分钟至90分钟。
[0252] 本发明的保护膜及间隙体并不限定于形成于像素层或透明导电膜上,而可W形成 于基板上或基板上的各种元件上。
[0253] 薄膜晶体管与彩色滤光片的制造方法
[0254] 本发明提供一种薄膜晶体管,其包含上述的保护膜。本发明也提供一种彩色滤光 片,其包含上述的间隙体、像素层或保护膜。W下详细说明其制备方法。
[02W]薄膜晶体管
[0256] 具体而言,本发明的薄膜晶体管的制造方法例如是:将本发明的感光性树脂组成 物W旋转涂布、流延涂布或漉式涂布等方式涂布于含有侣、铭、氮化娃或非结晶娃等薄膜的 玻璃基板或塑胶基板上,从而形成光阻剂层。接着,进行如上所述的预烤、曝光、显影W及后 烤处理等步骤而形成感光性树脂图案。然后,再进行蚀刻及光阻剥离的步骤,便能制得包含 将本发明的感光性树脂组成物硬化而成的硬化物的薄膜晶体管(thin fiIm transiStor, 简称TFT)。
[0257] 彩色滤光片
[0258] 具体而言,本发明的彩色滤光片的制造方法例如是:在形成红、绿、蓝等像素着色 层及保护膜后,在溫度介于220°C至250°C之间的真空环境下,在保护膜层的表面上进行瓣 锻,而形成IT0保护膜,必要时,对IT0保护膜进行蚀刻,并进行布线,然后在IT0保护膜表面 上涂布配向膜,便能制造出包含将本发明的感光性树脂组成物硬化而成的硬化物的彩色滤 光片。
[0259] 液晶显示装置的制造方法
[0260] 本发明提供一种液晶显示装置,包含上述的薄膜晶体管或彩色滤光片。W下详细 说明其制造方法。
[0261] 首先,将通过上述彩色滤光片的形成方法所形成的彩色滤光片W及设置有上述薄 膜晶体管的形成方法所形成的薄膜晶体管的基板作对向配置,并且在上述两者之间设置间 隙(晶胞间隔,cell gap)。接着,W粘着剂贴合彩色滤光片与上述基板的周围部分并且留下 注入孔。然后,在基板表面W及粘着剂所分隔出的间隙内由注入孔注入液晶,并封住注入孔 来形成液晶层。随后,通过在彩色滤光片中接触液晶层的另一侧与基板中接触液晶层的另 一侧提供偏光板,W形成液晶显示元件。接着,在液晶显示元件的一侧设置面光源,W形成 液晶显示装置。上述所使用的液晶,亦即液晶化合物或液晶组成物,此处并未特别限定,但 可使用任何一种液晶化合物及液晶组成物。
[0262] 此外,在制作彩色滤光片中所使用的液晶配向膜是用来限制液晶分子的配向,并 且没有特别的限制,举凡无机物或有机物任一者均可,并且本发明并不限于此。
[0263] W下将列举实施例详细说明本发明,但本发明并不局限于运些实施例所掲露的内 容。
[0264] 实施例
[0265] 第一碱可溶性树脂(A-1)的合成例
[0266] W下说明第一碱可溶性树醋(A-1)的合成例A-1-1至合成例A-1-3:
[0267] 合成例1:具有不饱和基的第一碱可溶性树脂(A-1-1)的制造方法
[0268] 将100重量份的巧环氧化合物(型号ESF-300,新日铁化学制;环氧当量231)、30重 量份的丙締酸、0.3重量份的氯化苄基Ξ乙基锭、0.1重量份的2,6-二第Ξ下基对甲酪,及 130重量份的丙二醇单甲基酸醋酸醋W连续式添加方式加入置500mL的四口烧瓶中,且入料 速度控制在25重量份/分钟,该反应过程的溫度维持在100°C至110°C,反应15小时,即可获 得一固成分浓度为50wt%的淡黄色透明混合液(Α-1-Γ )。
[0269] 接着,将100重量份的上述所得的淡黄色透明混合液(Α-1-Γ)溶于25重量份的乙 二醇乙酸醋酸醋中,并同时添加6重量份的四氨邻苯二甲酸酢及13重量份的二苯甲酬四甲 酸二酢,并加热至1 l〇°C至115°C,反应2小时,即可得一酸价为98. OmgKOH/g的具有不饱和基 的树脂下简称为A-1-1)。
[0270] 合成例2:具有不饱和基的第一碱可溶性树脂(A-1-2)的制造方法
[0271] 将100重量份的上述合成例1中所得的淡黄色透明混合液(Α-1-Γ)溶于25重量份 的乙二醇乙酸醋酸醋中,并添加13重量份的二苯甲酬四甲酸二酢,在90 °C至95 °C下反应2小 时,接着,添加6重量份的四氨邻苯二甲酸酢,并于90°C至95°C下反应4小时,即可得一酸价 为99.0m巧OH/g的具有不饱和基的树脂下简称为A-1-2)。
[0272] 合成例3:具有不饱和基的第一碱可溶性树脂(A-1-3)的制造方法
[0273] 将400重量份的环氧化合物[型号NC-3000,日本化药(株)制;环氧当量28引、102重 量份的丙締酸、0.3重量份的对甲氧基苯酪(p-metho巧地enol)、5重量份的Ξ苯基麟,及264 重量份的丙二醇单甲基酸醋酸醋置于反应瓶中,该反应过成的溫度维持在95°C,反应9小 时,即可获得一酸价为2.2m排OH/g的中间产物。接着,加入151重量份的四氨邻苯二甲酸酢 (tetr址yhwhthalic anhy化ide),在95°C下反应4小时,即可得一酸价为102m化OH/g,且 重量平均分子量为3,200的具有不饱和基的树脂下简称为A-1-3)。
[0274] 第二碱可溶性树脂(A-2)的合成例
[0275] W下说明第二碱可溶性树醋(A-2)的合成例A-2-1至合成例A-2-3:
[0276] 合成例4:第二碱可溶性树脂(A-2-1)的制造方法
[0277] 将1重量份的2,2'-偶氮双异下腊、240重量份的丙二醇单甲基酸醋酸醋、20重量份 的甲基丙締酸、15重量份的苯乙締、35重量份的甲基丙締酸苯甲醋、10重量份的甘油单甲基 丙締酸脂及20重量份的N-苯基马来酷亚胺置于一装有揽拌器及冷凝器的圆底烧瓶中,并使 该烧瓶内部充满氮气,之后,缓慢揽伴并升溫至80°C,使各反应物均匀混合并进行聚合反应 4小时。之后,再将其升溫至100°C,并添加0.5重量份的2,2'-偶氮二异下腊进行1小时聚合 后,即可得一其它碱可溶性树脂(W下简称为A-2-1)。
[0278] 合成例5:第二碱可溶性树脂(A-2-2)的制造方法
[0279] 将2重量份的2,2'-偶氮双异下腊、300重量份的二丙二醇甲基酸、15重量份的甲基 丙締酸、15重量份的2-径基丙締酸乙醋及70重量份的甲基丙締酸苯甲醋置于一装有揽拌器 及冷凝器的圆底烧瓶中,并使该烧瓶内部充满氮气,之后,缓慢揽伴并升溫至8(TC,使各反 应物均匀混合并进行聚合反应3小时。之后,再将其升溫至100°C,并添加0.5重量份的2,2'- 偶氮二异下腊进行1小时聚合后,即可得一其他碱可溶性树脂(W下简称为A-2-2)。
[0280]合成例6:第二碱可溶性树脂(A-2-3)的制造方法
[0%1]将2重量份的2,2'-偶氮双异下腊、300重量份的二丙二醇甲基酸、20重量份的2-甲 基丙締酷乙氧基下二酸醋、15重量份的丙締酸双环戊締基氧化乙醋及65重量份的甲基丙締 酸苯甲醋置于一装有揽拌器及冷凝器的圆底烧瓶中,并使该烧瓶内部充满氮气,之后,缓慢 揽伴并升溫至80°C,使各反应物均匀混合并进行聚合反应3小时。之后,再将其升溫至100 °C,并添加0.5重量份的2,2 偶氮二异下腊进行1小时聚合后,即可得一其他碱可溶性树脂 (W下简称为A-2-3)。
[0282]感光性树脂组成物的实施例
[02削 W下说明感光性树脂组成物的实施例1至实施例10W及比较例语比较例5:
[0284] 实施例1
[0285] 将100重量份的第二碱可溶性树脂A-2-UW下简称为A-2-1K10重量份的W式(7) 表示的化合物下简称为B-1-1K50重量份的己内醋改质的二季戊四醇六丙締酸醋下 简称为B-2-1K20重量份的2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-吗嘟代-1-丙酬下简称为C- 1)、1重量份的W式(1)表示的化合物(其中R'表示甲基,m=0)(W下简称为E-1)加入500重 量份的丙二醇甲酸醋酸醋下简称为D-1)中,并且W摇动式揽拌器(shaking type stirrer)揽拌均匀后,即可制造得实施例1的感光性树脂组成物。将所制得的感光性树脂组 成物W后述各评价方式进行评价,其结果如表2所示。
[02化]实施例2至实施例10
[0287] 实施例2至实施例10的感光性树脂组成物是W与实施例1相同的步骤来制备,并且 其不同处在于:改变感光性树脂组成物的成分种类及其使用量(如表2所示)。将所制得的感 光性树脂组成物W后述各评价方式进行评价,其结果如表2所示。
[0288] 比较例1至比较例5
[0289] 比较例1至比较例5的感光性树脂组成物是W与实施例1相同的步骤来制备,并且 其不同处在于:改变感光性树脂组成物的成分种类及其使用量(如表3所示)。将所制得的感 光性树脂组成物W后述各评价方式进行评价,其结果如表3所示。
[0290] 表2及表3中的简称所对应的化合物如下所示。
[0291]
[0292]
[0293] 评价方式
[0294] (a)显影性
[02M]将感光性树脂组成物W旋转涂布的方式,涂布在100mm X 100mm的玻璃基板上,先 进行减压干燥,压力lOOmmHg、时间30秒钟,然后再进行预烤,溫度80°C、时间3分钟,可形成 膜厚2.5μπι的预烤涂膜。
[0296]然后,取2重量%氨氧化钟水溶液2ml,滴在该预烤涂膜上,测量该预烤涂膜溶解所 需的时间t,即相当于显影时间,并根据下列标准进行评价:
[0 巧 7] 秒;
[0巧引 O:15秒<t^20秒;
[0299] A:20#<t^25#;
[0300] X:25秒<t。
[0301] (b)高精细度的图案直线性
[0302] 隔着具有25WI1宽(间距(pitch)50ym)的条状图案的光罩,对经所述显影性评价后 的预烤涂膜照射具有300mJ/cm2的光量的紫外光(曝光机化non PLA-501F),藉此进行了曝 光,之后浸溃于23°C的显影液2分钟,W纯水洗净,再W200°C后烤80分钟,即可在玻璃基板 上形成膜厚2. Own的感光性树脂层。
[0303] 利用光学显微镜对所述方法所形成的条状图案进行观察及评价。评价的等级如下 所述:
[0304] ◎:直线性良好;
[0305] 〇:部分直线性不良;
[0306] X:直線性不良。
[0307] 表 2 [030引
[0309]
[0310]
[0:311]表3
[0312]
[0313]
[0314] 评价结果
[0315] 由表2及表3得知,与含有由式(1)表示的化合物化)的感光性树脂组成物(实施例1 至实施例10)相比,不含有由式(1)表示的化合物化)的感光性树脂组成物(比较例1至比较 例5)的高精细度的图案直线性W及显影性较差。由此可知,当感光性树脂组成物中,未包括 由式(1)表示的化合物化)时,感光性树脂组成物的高精细度的图案直线性W及显影性较 差。进一步,当化合物化)的使用量于适当范围时,则后续可制得精细度的图案直线性较佳 的感光性树脂组成物,还可提升显影性。
[0316] 另外,碱可溶性树脂(A)包括具有不饱和基的第一碱可溶性树脂(A-1K实施例8至 10时,感光性树脂组成物的高精细度的图案直线性较佳。由此可知,当感光性树脂组成物 中,碱可溶性树脂(A)包括具有不饱和基的第一碱可溶性树脂(A-1)时,感光性树脂组成物 的高精细度的图案直线性较佳。
[0317] 又,当含乙締性不饱和基的化合物(B)选自由式(5)表示的化合物W及式(6)表示 的化合物所组成的族群(实施例1至5、9)时,感光性树脂组成物的显影性较佳。由此可知,当 感光性树脂组成物中,含乙締性不饱和基的化合物(B)选自由式(5)表示的化合物W及式 (6)表示的化合物所组成的族群时,感光性树脂组成物的显影性较佳。
[0318] 综上所述,本发明提供一种可应用于保护膜、间隙体、像素层、彩色滤光片、薄膜晶 体管W及液晶显示装置的感光性树脂组成物,其能够提供良好的显影性及高精细度的图案 直线性。
[0319] 最后应说明的是:W上各实施例仅用W说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽 管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依 然可W对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进 行等同替换;而运些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术 方案的范围。
【主权项】
1. 一种感光性树脂组成物,其特征在于,包括: 碱可溶性树脂(A); 含乙烯性不饱和基的化合物(B); 光起始剂(C); 有机溶剂(D);以及 由式(1)表示的化合物(E);式(1)中,R'各自独立表示氢原子、碳数为1至20且经取代或未经取代的烃基、或酰基, R"各自独立表示氢原子、碳数为1至15且经取代或未经取代的烃基、酰基、或硝基, m表示0、1或2的整数, X为具有由式(2)表不的结构的基团:式(2)中,R表示氢原子或碳数为1至4的烷基。2. 根据权利要求1所述的感光性树脂组成物,其特征在于,所述碱可溶性树脂(A)包括 具有不饱和基的第一碱可溶性树脂(A-1),所述具有不饱和基的第一碱可溶性树脂(A-1)是 由具有至少二个环氧基的环氧化合物(al)及具有至少一个羧酸基及至少一个乙烯性不饱 和基的化合物(a2)的混合物进行聚合反应而得。3. 根据权利要求2所述的感光性树脂组成物,其特征在于,所述具有至少二个环氧基的 环氧化合物(al)选自由式(3)表示的化合物以及式(4)表示的化合物所组成的族群,式⑶中及Γ各自独立表示氢原子、面素或碳数为1至5的烷基;式⑷中,R5至R18各自独立表示氢原子、??素、碳数为1至8的烷基或碳数为6至15的芳香 基, η表示0至10的整数。4. 根据权利要求2所述的感光性树脂组成物,其特征在于,基于所述碱可溶性树脂(Α) 的总使用量为100重量份,所述具有不饱和基的第一碱可溶性树脂(Α-1)的使用量为10至80 重量份。5. 根据权利要求1所述的感光性树脂组成物,其特征在于,所述含乙烯性不饱和基的化 合物(Β)包括由式(5)表示的化合物以及式(6)表示的化合物所组成的族群的至少一种的化 合物(Β-1)。,式(5)及式(6)中,Ε各自独立表示-((CH2)zCH20)_或-((CH 2)zCH(CH3)0)-,z各自独立表 示1至10的整数,Y\Y2各自独立表示丙烯酰基、甲基丙烯酰基、氢原子或羧基; 式(5)中,Υ1所表示的丙烯酰基以及甲基丙烯酰基的合计为3个或4个,ρ各自独立表示0 至10的整数,各个Ρ的合计为1至40的整数; 式(6)中,Υ2所表示的丙烯酰基以及甲基丙烯酰基的合计为5个或6个,q各自独立表示0 至10的整数,各个q的合计为1至60的整数。6. 根据权利要求5所述的感光性树脂组成物,其特征在于,基于所述碱可溶性树脂(A) 的总使用量为100重量份,所述包含选自由式(5)所表示的化合物以及式(6)所表示的化合 物所组成的组群中的至少一种的化合物(B-1)的使用量介于10重量份至100重量份。7. 根据权利要求1所述的感光性树脂组成物,其特征在于,基于所述碱可溶性树脂(A) 的总使用量为100重量份,所述含乙烯性不饱和基的化合物(B)的使用量为60至600重量份; 所述光起始剂(C)的使用量为20至200重量份;所述有机溶剂(D)的使用量为500至5000重量 份;所述由式(1)表示的化合物(E)的使用量为3至30重量份。8. 根据权利要求1所述的感光性树脂组成物,其特征在于,还包括颜料(F)。9. 根据权利要求8所述的感光性树脂组成物,其特征在于,基于所述碱可溶性树脂(A) 的总使用量为100重量份,所述颜料(F)的使用量为40至400重量份。10. 根据权利要求8所述的感光性树脂组成物,其特征在于,还包括染料(G)。11. 根据权利要求10所述的感光性树脂组成物,其特征在于,基于所述碱可溶性树脂 (A)的总使用量为100重量份,所述染料(G)的使用量为3至30重量份。12. -种保护膜,其特征在于,由根据权利要求1至7中任一项所述的感光性树脂组成物 所形成。13. -种间隙体,其特征在于,由根据权利要求1至7中任一项所述的感光性树脂组成物 所形成。14. 一种像素层,其特征在于,由根据权利要求1至11中任一项所述的感光性树脂组成 物所形成。15. -种薄膜晶体管,其特征在于,包含根据权利要求12所述的保护膜。16. -种彩色滤光片,其特征在于,包含根据权利要求12所述的保护膜。17. -种彩色滤光片,其特征在于,包含根据权利要求13所述的间隙体。18. -种彩色滤光片,其特征在于,包含根据权利要求14所述的像素层。19. 一种液晶显示装置,其特征在于,包含根据权利要求15所述的薄膜晶体管。20. -种液晶显示装置,其特征在于,包含根据权利要求16至18中任一项所述的彩色滤 光片。
【文档编号】G03F7/027GK106066577SQ201610214937
【公开日】2016年11月2日
【申请日】2016年4月8日 公开号201610214937.8, CN 106066577 A, CN 106066577A, CN 201610214937, CN-A-106066577, CN106066577 A, CN106066577A, CN201610214937, CN201610214937.8
【发明人】许承昌, 谢栢源
【申请人】奇美实业股份有限公司
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