专利名称：图象显示装置的制造方法
技术领域：
本发明涉及图象显示装置的制造方法，特别是涉及在构成显示面板的一对基板(前面板和后面板)之间设置长隔离件(大气压支持部件)的平面型图象显示装置的制造方法中使用保持长隔离件用的把柄的隔离件组装方法。
背景技术：
至今，备有作为一对基板(面板)的前面板和后面板，分别在前面板一侧形成荧光体，又在后面板一侧矩阵状地形成电子发射元件，从电子发射元件发出电子束，该电子束打到荧光体上使荧光体发光，形成并显示图象的平面型图象显示装置是众所周知的。在这种图象显示装置中，因为一对面板之间的空间形成真空，所以为了支持加在两面板上的大气压以预定间隔配设多条长隔离件。
当制造这种在一对面板之间设置多条长隔离件的平面型图象显示装置时，在这种长隔离件的保持并组装工序中，为了高精度地接合长隔离件，用一个一个地保持并组装长隔离件的方法。又，在其它技术领域中，记载着例如在并排多个用于保持物品的把柄从而同时保持并搬运多个物品并送入箱中的预定作业中使用的方法(例如，请参照专利文献1)。
日本平成7年公布的7-61421号专利公报可是，虽然在使用现有例的保持物品用把柄的技术中，记载了保持多个物品进行预定作业的方法，但是作为在上述那样的平面型图象显示装置的制造方法中使用的方法，难以满足所要求的下述条件。即必须满足下列各条件
1)保持作为长的柔软体的长隔离件的两端部分。
2)将一定的张力给予长隔离件。
3)两端侧的把柄对准设置在长隔离件的面的凹凸。
4)将与设置长隔离件的面接触的荷重减到所需的最少量。
5)并排多个具有满足上述1)～4)的各项要求的性能的把柄从而同时保持多个长隔离件，并同时高精度地(间隔方向)组装它们。
但是在上述现有例的用于保持物品的把柄中不能充分满足上述各要求，特别是，要满足上述5)的高精度组装要求是困难的。
发明内容
本发明就是以这种已有问题为背景，本发明的目的是提供为了在一对基板之间高精度并且高效率地接合长隔离件，保持隔离件的两端部分，将一定的张力给予隔离件，两端侧的把柄对准设置在隔离件的面的凹凸，将与设置长隔离件的面接触的荷重减到所需的最少量，并排多个具有这些性能的把柄从而同时保持多个隔离件，并同时高精度地组装多个隔离件的图象显示装置的制造方法。
为了达到上述目的，与本发明有关的图象显示装置的制造方法，是在一对基板之间具有用于保持其间隔的多个隔离件的图象显示装置的制造方法，该方法具有保持上述多个隔离件的工序、和将保持的上述多个隔离件组装在上述一对基板内的一个基板上的工序，在保持上述多个隔离件的工序中，用一对把柄的各个把柄保持各个隔离件的长方向的两端部，实现用一对把柄保持该多个隔离件的各个隔离件。因此，可以满足上述1)～4)的各项要求，从而能够满足上述5)的高精度组装的要求。
图1是表示与本发明有关的图象显示装置的制造方法中使用的隔离件接合装置的外观的斜视图。
图2是图象显示装置的分解图。
图3是图象显示装置的组装后的图。
图4是图象显示装置的截面图。
图5是表示隔离件单元的斜视图。
图6是表示后面板上的隔离件单元的接合状态的斜视图。
图7是表示把柄部分的整体构成的斜视图。
图8是表示固定侧把柄的侧面图。
图9是表示张力施加侧把柄的侧面图。
图10是表示由张力施加侧把柄形成的施加张力机构的侧面图。
图11A、11B、和11C是说明到后面板的隔离件的接地状态的正面图。
图12是表示配置了隔离件按压的后面板模具的斜视图。
图13是表示隔离件按压机构的详细情形的斜视图。
图14A和14B是说明隔离件按压机构的状态变化的斜视图。
图15是表示真空干燥炉全景的斜视图。
图16是表示真空干燥炉内部的截面图。
具体实施例方式
下面，我们参照图1～16说明与本发明有关的图象显示装置的制造方法的实施形态。
首先，我们说明要用与本实施形态有关的制造方法制造的图象显示装置的概要。该图象显示装置，作为相互对置的一对基板(面板)，备有矩阵状地形成多个电子发射元件的后面板和在与该后面板上的各电子发射元件对置的位置上形成有荧光体的前面板，从后面板上的电子发射元件发出电子束，该电子束打到与它对置的前面板上的荧光体上使荧光体发光。因为在这种图象显示装置中的两面板之间的空间形成真空，所以要设置为了支持加在两面板上大气压的隔离件(长隔离件)。
分别地图1是图象显示装置的分解图，图2是表示组装后的成品的斜视图，图3是表示成品的截面图。
在图1～图3中，271是玻璃前面板，在它上面形成荧光体271c和黑矩阵。271a、b是玻璃前面板271上的对准标记。272是框体，272a、b是框体272的玻璃材料。74是作为大气压支持部件的隔离件，预先用陶瓷粘合剂将垫片(垫片支持隔离件的辅助部件)74a、74a粘合在它的两端。75是由上述隔离件74、垫片74a、74a构成的隔离件单元。
又，273是玻璃后面板，273c是在玻璃后面板273上矩阵状地形成的多个电子发射元件。273e是表示玻璃后面板273上的隔离件接合位置的隔离件对准标记，形成在与隔离件两端对应的位置上。273a、b是与玻璃前面板271上的对准标记271a、b对应的、设在玻璃后面板273上的定位用对准标记。
在上述图象显示装置中，由设置在构成一对基板的玻璃前面板271和玻璃后面板273之间的多个隔离件74.......74，支持加在两面板271、273上的大气压(请参照图3)。
图4表示隔离件单元75的详细情形。在隔离件单元75中的隔离件74是玻璃隔离件，例如由厚度为0.2mm，高度为2mm的长带状玻璃形成。预先用陶瓷粘合剂将垫片74a、74a粘合在该隔离件74的两端。
图5表示将上述隔离件单元75接合在后面板273上的样子。以使隔离件74的厚度的中心与连接后面板273上的隔离件对准标记273e两端后的直线一致的方式设置隔离件单元75，在图象显示面外的预定位置上，通过垫片74a、74a用陶瓷粘合剂将隔离件单元75粘合在后面板273上。当进行该接合时，为了使隔离件74成为笔直的直线状，在隔离件74上施加预定张力(请参照后面的说明)。
这里，我们参照图6～图16说明上述图象显示装置的制造方法和在该方法中使用的隔离件接合装置(也称为“隔离件组装装置”、“隔离件安装装置”)。
图6是表示在后面板273上保持隔离件74进行组装、接合的工序中使用的隔离件接合装置的装置整体的斜视图。在图6中，1是隔离件接合装置，2是架台，在该架台2的左右位置上安装座架导轨(直线导轨)3。4是可以在直线导轨3上移动地设置的座架(移动座架)，由用伺服马达8和螺杆的移动机构接受来自图中未画出的数值控制单元的控制指令，进行数值控制驱动(以下称为NC驱动)。在该座架4上安装了由用于机械地保持、定位、组装隔离件74的多个把柄构成的把柄部分(请参照后面的说明)。9是隔离件盒(隔离件单元用的盒)，只将所需数量的隔离件单元75收容在1个面板上。5是XYθ台面，以由图象处理照相机(请参照后面的说明)捕捉到的隔离件对准标记273e为基准进行移动控制。6是载置后面板273的后面板模具，7是隔离件按压机构。
这里，我们说明隔离件接合装置1的工作。
首先，从隔离件接合装置1将后面板模具6取出到它的外部，将后面板273载置在这个后面板模具6上。而且，使载置后面板273的后面板模具6回到隔离件接合装置1，载置在XYθ台面5上。又，在隔离件接合装置1的预定位置上，预先设置收容所需数量的隔离件单元的隔离件盒9。
由作业者进行到此为止的工序，以后的工序是自动运转的。即由驱动部分8使座架4移动到隔离件盒9的收容隔离件单元的位置，由设置在座架4上的后述的把柄部分中的一对把柄的组合构成的多个把柄，同时保持多个隔离件74的两端部。此后，使座架4移动到后面板273上，在隔离件74上施加张力(关于保持把柄部分的详细情形请参照后面的说明)。而且，由设置在座架4上的图象照相机(请参照后面的说明)捕捉隔离件273上的隔离件对准标记273e，用XYθ台面5使后面板273与把柄位置重合。
此后，使上述多个把柄下降，在后面板273上使隔离件74的下端部接地。其次，为了使隔离件74不产生机构上的位置偏离，又为了不使张力消失，而用隔离件按压机构7按压隔离件的两端部(关于隔离件按压机构7的详细情形请参照后面的说明)。通过重复这些作业，将预定数量的隔离件74组装在后面板273上。在该组装完成后，取出后面板模具6和后面板273。
此后，由粘合剂转运装置(图中未画出)的多个转运针，将陶瓷粘合剂涂敷在设置在图4所示的隔离件单元75的垫片74a中的粘合剂孔74b中。此后，将后面板模具6放入真空室内，通过真空干燥使粘合剂固化(关于真空干燥的详细情形请参照后面的说明)。此后，从真空室内取出后面板模具6，从后面板模具6取出接合了隔离件74的后面板273，行进到下一个工序。
在以上的工序中，将预定数量的隔离件74接合在后面板273上的预定位置上。在本例中，隔离件74，每5条组合在一起，重复4次组合了全部总数20条的隔离件后，由隔离件按压机构7进行固定。这样，在本发明中，通过用具有多个一对把柄的把柄部分，可以在一个作业工序中设置多条隔离件，能够减少设置隔离件的作业工序。
其次，我们参照图7～图11A～11C说明在上述工序内，在隔离件74的保持组装工序中使用的把柄部分的详细情形。
把持部分具有保持隔离件74的两端的一对把柄。这一对把柄，在本实施形态的例子中，由固定配置在座架4上的固定把柄和在座架4上可以移动的地配置的张力施加把柄构成，为了各个把柄同时保持并组合多条隔离件74，搭载与该条数相应的隔离件数。
图7是表示设置在座架4上的一对把柄的斜视图，图8是表示一对把柄中的固定把柄的截面图，图9是表示一对把柄中的张力施加把柄的截面图，图10表示由张力施加把柄形成的张力施加机构的详细图。
在图7～图10中，4a是在上述座架4上形成的孔，在该孔4a内，把柄的爪部分(请参照后面的说明)是可以驱动的。在图7和图8中，11～21表示关于固定把柄及其驱动机构的各要素。即，11是支持固定把柄的支柱(固定支柱)，固定在邻接座架4上的孔4a的预定位置上。12是成为固定把柄主体的固定板，沿设置在支柱11的孔4a一侧的侧面上的上下导轨13在垂直方向上被引导到孔4a的内外。14是固定把柄的固定爪，安装在固定板12的前端。15是固定把柄的可动爪，16是在固定板12的侧面上可以旋转地支持可动爪15的旋转支持部分，17是插入旋转支持部分16的旋转轴的孔进行配置的插销，可动爪15通过插销17以旋转支持部分16的旋转轴为中心在预定角度范围内摇动，因此，固定把柄可以自由开闭。18是由通过旋转支持部分16可以摇动地驱动可动爪15的空气圆筒构成的保持圆筒，由空气压力使杆前后运动使可动爪15开闭。隔离件74的保持力例如为3kg。19是金属线，20是卷绕金属线的滑轮，金属线19的一端与固定侧板12连接，另一端通过滑轮20与重锤21连接，根据这种构造能够减轻固定侧把柄的自重，例如即便固定侧把柄的重量为数kg，也能够将它减轻到数百g。
又，在图7、图9和图10中，30～45表示构成张力施加把柄及其驱动机构的的各要素。31是支持张力施加把柄的支柱(固定柱)，通过直线导轨30可以沿该隔离件74的长方向移动地安装在座架4上，32是形成张力施加把柄主体的固定板，通过上下导轨33在垂直方向上进行引导。34是张力施加把柄的固定爪，安装在固定板32的前端。35是张力施加把柄的可动爪，36是在固定侧板32的侧面上可以旋转地支持可动爪35的旋转支持部分，37是插入旋转支持部分36的旋转轴的孔中进行配置的插销，可动爪35通过插销37以旋转支持部分36的旋转轴为中心在预定角度范围内摇动，因此，固定侧把柄可以自由开闭。38是由通过旋转支持部分36可以摇动地驱动可动爪35的空气圆筒构成的保持圆筒，由空气压力使杆前后运动使可动爪35开闭。39是金属线，40是卷绕金属线的滑轮，金属线39的一端与固定侧板32连接，另一端通过滑轮40与重锤41连接，根据这种构造能够减轻张力施加把柄的自重，例如即便张力施加把柄的重量为数kg，也能够将它减轻到数百g。
即，张力施加把柄与固定把柄比较时，其爪部分的构成是相同。不同之处在于支柱31通过直线导轨30安装在座架4上，因此，把柄整体可以沿隔离件74的长方向移动。具体地说，如图7和图10所示，支柱31由直线导轨30引导，在支柱31上安装拉伸线圈弹簧42，由张力施加圆筒(空气圆筒)43能够施加例如数百g的弹簧力。44是停止器。由停止圆筒(空气圆筒)45通过将支柱31按压在停止器44上决定它的杆的前端位置。
在本实施形态的例子中，安装5组(在图7的例子中只例示了5组内的2组)上述的一对把柄。这时，例如可以以间隔精度2μm那样高精度的间隔组装固定把柄的固定爪14。也能够以同样的间隔精度组装张力施加把柄的固定爪34。
又，在图7中，22～26表示使一对把柄，即固定把柄和张力施加把柄上下运动的驱动机构的各要素。即，22是把柄上下衬片(把柄上下板)，表示系在一对把柄间的衬片经过多个把柄在它的中央部分连接成的平面形状，它的上面与从固定板12、32的上端部的侧面突出地设置的肩部件12a、32a的底面接触，但是在该接触状态，通过肩部件12a、32a可以使固定板12、32沿上方向移动。作为这种把柄上下衬片22的移动机构，23是作为在上下方向驱动把柄上下衬片22的驱动源的空气圆筒，24是安装在座架4上的角形部件，25是设置在该角形部件侧面上的垂直导轨，通过使空气圆筒23的杆上下运动沿角形部件24的垂直导轨25在上下方向驱动把柄上下衬片22，因此可以使把柄部分上升或下降。代替空气圆筒23也可以用伺服马达等的驱动源。
又，46、47是图象处理用的CCD照相机，例如设置在5组把柄中的例如位于中央的把柄周边。因为连接设置在后面板273上的两端的隔离件对准标记273e的直线与隔离件74的厚度方向的中心位置重合，所以通过中央的固定爪14、34的隔离件保持面的直线必须位于从连接对准标记273e的直线离开预定距离(例如如果是0.2mm厚的隔离件则为0.1mm)的方向上。如上所述地预先调整图象处理装置，由XYθ台面5决定对准位置。
这里，我们说明把柄部分的工作。在该说明中的“把柄部分(保持把柄部分)”指的是由驱动把柄上下衬片的圆筒23通过把柄上下衬片22在上下方向移动的部分。具体地说，表示相对于支柱11、31沿上下导轨13、33移动的部分，即固定侧板12、32、固定爪14、34、移动爪15、35、旋转支持部分16、36、插销17、37和空气圆筒18、38。
首先，作为保持隔离件74前的初期状态，把柄部分由于驱动把柄上下衬片用的圆筒23相对于支柱11、31位于上端。这时的可动爪15、35处于打开状态。又，张力施加侧把柄的支柱31处于由停止圆筒45按压停止器44的状态，进一步拉伸线圈弹簧42不施加张力。
从上述的初期状态，实施下面的(1)～(14)的各个工作。
(1)通过NC驱动伺服马达8，由传送螺杆机构使座架4在隔离件盒9上的5条隔离件74上移动。而且，在该移动位置上通过驱动用于驱动把柄上下衬片的圆筒23使它的杆下降到下降端，因此，通过把柄上下衬片22使把柄部分相对于支柱11、31沿上下导轨13、33下降。
(2)在上述下降位置，把柄部分通过驱动空气圆筒18、38伸长它的杆，关闭可动爪15、35。因此，用固定爪14、34和可动爪15、35夹入并保持隔离件74的两端部。在这种状态中，通过驱动用于驱动把柄上下衬片的圆筒23通过把柄上下衬片22使把柄部分上升。
(3)通过NC驱动伺服马达8，由传送螺杆机构使座架4移动到后面板273上的隔离件接合位置(与5条隔离件对应的上侧位置)。
(4)通过驱动止动圆筒45使它的杆后退(请参照图10)。
(5)通过驱动张力施加圆筒43使它的杆后退，通过拉伸线圈弹簧42，张力施加侧把柄在座架4上沿直线导轨30移动。因此，将张力加在隔离件74上。
(6)通过驱动用于驱动把柄上下衬片的圆筒23，使把柄部分下降到在隔离件按压机构7的爪(请参照后面的说明)的横侧位置上不与后面板273接触的高度。在该状态中，通过NC驱动伺服马达8，由传送螺杆机构使座架4移动，使隔离件74移动到隔离件按压机构7的爪的下面。
(7)由图象处理照相机46、47捕捉隔离件对准标记273e，通过XYθ台面5使连接两端的隔离件对准标记的直线与隔离件74的厚度方向的中心位置一致地重合。
(8)通过驱动用于驱动把柄上下衬片的圆筒23，经过把柄上下衬片22，使把柄部分下降。
图11A～11C表示把柄部分下降(到后面板273的法线方向的移动)的样子。后面板273的表面(隔离件接地部分)由于玻璃板的厚度精度、其上形成的物体(例如配线)的厚度精度而其厚度不均匀。图11A表示隔离件74的下面在后面板273的表面上接地前的状态，图11B表示在通过把柄上下衬片22的下降，一对把柄的一方(在图中的例子中为固定把柄)在后面板273上接地的状态中，使接地的把柄的上下方向的移动停止。图11C表示把柄上下衬片22进一步下降，一对把柄的另一方(在图中的例子中为张力施加把柄)在后面板273上接地的状态。通过这些工作，与后面板273的厚度不均匀对应，隔离件74的下表面在后面板表面上确实地接地。
(9)由隔离件按压机构7按压隔离件74(请参照后面的说明)。
(10)通过驱动张力施加圆筒43使它的杆前进，通过拉伸线圈弹簧42、张力施加把柄，放开加在隔离件74上的张力。
(11)通过驱动空气圆筒18、38，打开可动爪15、35。
(12)通过驱动用于驱动把柄上下衬片的圆筒23，经过把柄上下衬片22使把柄部分上升。
(13)使张力施加侧把柄的止动圆筒45起作用。
(14)重复全部上述(1)到(12)的各个工作4次(当设置20条时)。因此，通过隔离件按压机构7高精度地将隔离件74固定在后面板273上。
其次，我们根据图12～图14A～14B说明隔离件按压机构7的详细情形。
分别地图12是表示隔离件按压机构7和后面板模具6的斜视图，图13是表示隔离件按压机构7的详细情形的斜视图，图14A和14B是说明由隔离件按压机构7按压隔离件74的状态的斜视图。
如图12所示，在具有与后面板273的外形大致近似的形状的后面板模具6的载置台上面，设置决定后面板273的配置的位置的后面板位置决定基准300和用于固定的吸附孔(吸附机构)301等，能够平滑地并且没有歪斜地固定后面板273。
在后面板模具6中，相对于隔离件接合装置1，设置用于决定后面板模具6的位置的高度方向的高度接受面302和决定模具位置的基准(位置决定基准)303，并且可以交换。
在形成上述后面板模具6的载置台外侧的4条边中的对置的2条边上，与隔离件74两端的粘合固定部分对应，至少配置隔离件74的条数以上的隔离件按压机构7。如图13所示，上述隔离件按压机构7保持隔离件74并且将在保持它的张力的状态中搬运过来的把柄的外侧露出的隔离件部分固定在后面板(玻璃基板)273上。该隔离件按压机构7具有从上向下按压隔离件74两端的露出部分的上面的爪304和引导该爪304上下动作的导轨305，将导轨305配置在后面板模具6的台侧面上。
因为考虑到在隔离件74的高度尺寸和设置在基板上的配线面的高度中经常存在偏移，所以使导轨30形成如下构造当同时按压多个隔离件74时，可以使按压每个隔离件74的爪304的前端分别在高度上下方向跟踪工作。
用于抵消为了使隔离件74保持直线状的姿势而施加的张力的摩擦力，是在隔离件74的下表面和后面板273的上表面之间产生的力，爪304用这个力按压隔离件74。
爪304的与隔离件74接触的面，当与基板上表面平行地按压时不产生隔离件74倒下方向的矢量。在爪304的按压过程中，用小的力使爪与隔离件74接触，此后阶段性地增大到保持张力的按压力。
在本实施形态中，表示了用弹簧产生隔离件按压机构7的按压力的例子。如图13、图14A和14B所示，以通过配置在后面板模具6的板侧面上的导轨305而在上下方向移动的方式安装按压爪304。将第1拉伸线圈弹簧306的一端固定在该按压爪304上。将第1拉伸线圈弹簧306的另一端固定在后面板模具6的板侧面一侧上。因此，通过第1拉伸线圈弹簧306能够得到由按压爪304产生的按压力F1。
在该按压爪304上，也安装了第2压缩弹簧307。可以以与安装在隔离件接合装置1中的按压解除棒308接触的方式设置该第2压缩弹簧307，在该接触状态中，力F2作用在抵消由第1拉伸弹簧306产生的按压力的方向上。
又，当第2压缩弹簧307与按压解除棒308接触时，解除按压爪304，在后面板273的上表面与按压爪304之间形成间隙。将该间隙的量设定在可以从横方向插入隔离件74那样的大小。即，以使在该按压爪304上产生的按压力F1最小的方式，设定第1拉伸弹簧306和第2压缩弹簧307的关系。此后，当通过使按压解除棒308下降，徐徐增加按压力F1达到最高值时，按压爪304与后面板273上的隔离件74接触，并为了保持由第1拉伸弹簧306产生的张力而起作用。
因此，对于接地的隔离件74，隔离件按压机构7能够用小的力与由把柄搬运过来的后面板273接触，防止已经对准的位置发生偏离。
此外，因为将隔离件74按压在后面板273上并从隔离件接合装置1取出后涂敷粘合剂，所以在爪304上设置粘合剂涂敷孔309。
(粘合剂涂敷工序)直到上述工序，由后面板模具6对后面板273决定全部隔离件74的位置并进行固定，然后搬运到粘合剂涂敷工序。
在本工序中，在位于隔离件单元75的两端的粘合剂涂敷孔75b中涂敷粘合剂。涂敷方法采用传送方式。采用这种传送方式的理由如下所述。
粘合剂处于将作为骨材的直径为数μm到百μm左右的粒子分散在作为溶剂的水中的状态。一般地说，在粘合剂涂敷中多用分配方式，但是为了稳定地涂敷如现在粘合剂那样的粒子大的粘合剂，当然需要用直径大的针(φ1.4以上)。用直径大的针，必然地通过1次喷射喷出来的最低量也相应地增多。
但是，为了达到粘合中所需的强度，用2～3mg那样的微量粘合剂就足够了。用分配方式不可能稳定地喷出这个量。而且也不能够使涂敷后的粘合剂形状很薄。使粘合剂形状很薄是因为粘合剂干燥需要很长的时间。因为从与外部气体的边界面蒸发水分使粘合剂硬化，所以如果增加硬化的厚度则厚度越增加，干燥时间越长。因此，必须涂敷得很薄，因此，需要用传送方式涂敷粘合剂。
(粘合剂的干燥硬化工序)由上述工序将粘合剂涂敷在粘合剂涂敷孔74b后的后面板74，在该后面板74被保持设置在后面板模具6中的状态下，为了进行该粘合剂的干燥硬化工序而搬运到真空干燥炉中。
图15表示本工序中使用的真空干燥炉全景。
在图15中，501是形成真空干燥炉的框体。502是取出放入载置了后面板273的后面板模具6的盖子，503是用于保持框体501与盖子502之间的密闭度的O环。在框体501的外部立着肋504，因此，当抽真空时不会由于框体501的内外压力差，破坏框体501的形状。
作为框体501的材料，有金属(例如不锈钢、Al)、丙烯。框体501是金属时的结合方法是熔接、粘合、O环接合，但是当用丙烯时是粘合或O环接合。用于抽真空的真空源(图中未画出)与真空干燥炉连接。
在本工序中使用的真空干燥炉，因为在室温左右(22～24℃)蒸发包含在粘合剂中的水分，所以作为达到的真空度为4～20Torr(约533～2,666Pa)，或者为了提高水分蒸发效率，提高真空度到0.1Torr(约13Pa)。如果是这种真空度水平，则是用旋转泵就能够达到的真空度，能够用廉价的真空源。真空保持时间为8到12分钟。
该达到的真空度和真空保持时间是即便当以后的搬运和从隔离件按压机构7取出时施加机械外力时，也能够实现后面板273上的隔离件74不发生偏离或剥离所需的最低限度的粘合强度(＝假固定)的处理条件。
图16表示本工序中使用的真空干燥炉的内部。
在图16中，框体501是与图15的框体相同的框体。在框体501内部，决定后面板模具6在支持后面板模具6的后面板模具支柱511a～c上的位置，在该后面板模具6上载置后面板273。由安装在后面板模具6中的隔离件按压机构7，规定后面板273和隔离件74的位置。
容积占有块512从框体501向着后面板273突起。该容积占有块512是为了使框体501内的气体容积减到极小而设置的。因此，当用作为真空源的旋转泵(图中未画出)对框体501内部抽真空时可以在短时间中完成排气。
如图所示，分开后面板模具支柱511a～c。这是为了用专用的搬运台车作为搬运后面板模具6的工具，但是使该搬运台车的叉部分进入框体501内，能够在搬运台车和真空干燥炉内交接后面板模具6。
下面，我们说明在本工序中采用真空干燥的理由。
首先，决定全部20条隔离件74在后面板273上的位置，用从后面板模具6出来的隔离件按压机构7调整该位置。需要使在上述后面板273上的隔离件74的位置精度约为数μm。进一步后面板273的大小为1,000mm×600mm，隔离件74的长度约为800mm非常大。
从而，当为了使粘合剂硬化而加热时，不可能只加热粘合剂，也使直到粘合剂周围的后面板273和隔离件74的温度上升。当后面板273的温度上升时，由于热膨胀使后面板273自身变大。因为该大小是当后面板273的温度上升1℃时约为4μm，所以当在粘合剂本身硬化所需的温度200℃进行加热时，与加热前的位置简单地偏离约数十μm。进一步由加热引起的玻璃形变是不均匀的。但是，因为对于该热膨胀不可能使后面板模具6和隔离件按压机构7跟随后面板的膨胀变化，所以降低了后面板273和隔离件74的相对位置的精度。
因此，作为通过加热使不同粘合剂干燥的过程需要真空干燥。下面，我们说明由这种真空干燥进行的粘合剂硬化工序。
在直到上述的工序中临时固定的物件搬运到后面板模具卸下工序中。该后面板模具6的卸下工序能够防止由于以后的加热使后面板273、隔离件74膨胀，在与后面板模具6之间发生位置偏离，因此而发生的应力超过它的破坏界限值而使隔离件74受到破坏。
因此将从后面板模具6取出的后面板273运到加热工序。在该加热工序中，进行使粘合剂完全硬化的加热。该加热方法既可以是将热空气和光束点状地直接吹到或射到粘合剂上的方法，也可以是通过用电炉那样的加热器对整体进行加热，使粘合剂加热硬化的方法。通过这种加热使粘合剂的粘合强度增加，在以后的搬运和以后的工序中，也能够达到维持它的位置的粘合剂强度。又，在该加热工序中，因为卸下了后面板模具6、隔离件按压机构7，所以不会发生由于上述后面板与后面板模具6、隔离件按压机构7的热膨胀差引起的不合适情形。
随着直到上述的工序结束，隔离件组装工序就全部结束了。
从而，如果根据本实施形态，则因为采用了如下构成，即设置多个用于保持隔离件两端的把柄，为了在各个隔离件上独立地施加一定的张力，固定一方的把柄，通过弹簧力沿直线导轨将张力给予另一方的把柄，又独立地上下引导各个把柄，形成对准后面板表面凹凸地接地这样的构造，进一步用各计数锤来减轻各个把柄的自重，以最小的力与后面板表面接触，并使用具有对隔离件没有损伤的构造的隔离件接合装置进行隔离件组装，所以具有1)能够对准后面板的接地面的凹凸使隔离件下表面接地，2)能够使接地时的冲击最小，从而使隔离件、后面板的接地面的损伤最小，3)因为能够同时组装多条隔离件，所以能够缩短组装过程的效果。因此，能够高精度并且高效率地将隔离件接合在后面板上。
在本实施形态中，我们说明了多个(例如5个)把柄，但是从隔离件的设置总数少等的理由出发，例如在1个作业工序中设置1条隔离件时，也可以用同样的机构、构成进行组装。这时，通过应用本发明，也能够得到1)能够对准后面板的接地面的凹凸使隔离件下面接地，2)能够使接地时的冲击最小，从而使隔离件、后面板的接地面的损伤最小的效果。
如上所述，如果根据本发明，则能够提供为了能够高精度并且高效率地将长隔离件接合在一对基板间，保持隔离件的两端部分，给予隔离件一定的张力，两端侧的把柄对准设置在隔离件的面的凹凸，将与设置隔离件的面接触的荷重减少到所需的最小程度，并排多个具有这些性能的把柄从而同时保持多个隔离件，同时高精度地组装多个隔离件的图象显示装置的制造方法。
权利要求
1.一种图象显示装置的制造方法，该图象显示装置在一对基板之间具有用于保持其间隔的多个隔离件，其特征是具有，保持上述多个隔离件的工序、和将所保持的上述多个隔离件组装在上述一对基板内的一方的基板上的工序，在保持上述多个隔离件的工序中，用一对把柄保持该多个隔离件中各个隔离件，其中用该一对把柄中的各个把柄保持该各个隔离件的长方向的两端部。
2.根据权利要求1中记载的图象显示装置的制造方法，其特征是在组装上述隔离件的工序中，通过使分别保持上述隔离件两端的一对把柄中的一方把柄沿上述隔离件的长方向的延长线上移动，一面将一定的拉伸力作用于上述隔离件一面进行上述组装。
3.根据权利要求1中记载的图象显示装置的制造方法，其特征是上述一对把柄中的各个把柄可以在上述基板的法线方向上分别独立地移动。
全文摘要
本发明提供了一种图象显示装置的制造方法。当在图象显示装置的一对基板之间组装隔离件时，由一对把柄保持隔离件的长方向的两端部。因此，能够高精度并且高效率地将长隔离件接合在基板上。
文档编号H01J9/26GK1499562SQ20031010470
公开日2004年5月26日 申请日期2003年10月31日 优先权日2002年10月31日
发明者谷古宇猛, 町野匡纪, 纪, 人, 山口岳人 申请人:佳能株式会社