专利名称：：等离子体显示器的具有防电磁辐射及滤光功能的滤光板的制作方法
技术领域：
：本实用新型与显示器件中的滤光板有关，特别与等离子体显示器(PDP)中的具有防电磁辐射及滤光功能的滤光板有关。技术背景-目前的PDP滤光板的抗反射和防电磁辐射及滤光功能是这样形成的在一片玻璃的外表面粘贴镀有抗反射膜层的塑料膜片，在另一面粘贴由二层塑料形成的防电磁辐射和滤光功能的膜片。其中一层是采用光刻蚀法或金属丝网布线方法在膜片上制成金属导电网格形成防电磁辐射功能。在这层具有金属线或金属丝网格的膜上采用刷涂颜料膜形成膜层或用红外光光衰减塑料膜粘贴的方法，由这两层膜形成防电磁辐射及滤光的功能。因为叠层层压复合的方法，各种功能膜在各层膜片上，贴合工艺和复合工艺要求高，不易机械化连续生产，成本高，成品率低、生产效率低，透光率低。公开号CN1509490A的名称为等离子体显示板滤光片公开了在透明基片上层压和叠层各种抗反射(AR)膜，近红外(NIR)屏蔽膜和电磁干扰(EMI)屏蔽膜，这功能性膜是滤光片需要的关健性膜，它们是分别镀膜在塑料基材或塑料膜上，再按功能需要一层一层的层压和叠层在透明基片上，透明基片是由至少两个玻璃层和至少一个置于树脂层之间的粘结剂层的叠压而成的。这种分别镀膜，再层压的成形制作方法，仍然与前述方法没有实质进步，仍然效率低、成品率低、成本高。特别是多层次的叠层层压，叠层之间的汽泡和粘结剂可能存在的溶剂的残余挥发物，使成品率大为降低。专利申请号为200410069275.7,名称为叠层体及使用该叠层体的显示器用滤光器公开了，在滤光器最需要的关健功能膜电磁干扰(EMI)的屏蔽膜中如何解决EMI屏蔽膜中银膜层的抗氧化或侵蚀问题，在该申请中将侵蚀称为银薄膜层的银原子的凝聚，侵蚀的表现为银薄膜层产生"白点"，该申请在抗电磁干扰的关健薄膜层银薄膜层上为增透而必须具有的透明高折射率的薄膜上也即在三层银薄膜层的最表面层上增加一保护层，该保护层是由高分子物的粘合剂材料和无机微粒子组成。无机微粒子是采用金属氧化物如其推荐的二氧化硅、氧化锡、氧化锌、氧化铟、三氧化二锑、氧化铝、氧化锆等，更特别优先选择氧化锑一氧化锡复合氧化物，氧化锑一氧化锌复合氧化物。粘合剂和无机微粒子是通过溶剂或溶液溶解粘合剂，并分散无机微粒子，用涂布法涂在由银薄膜层和增透高折射率薄膜层组成的膜层上，实际上是涂在高折射率薄膜层上，而最终形成保护层，该申请称对形成"白点"有明显惊奇的抑制作用。这种利用溶剂或溶液涂布形成的金属氧化物与粘结剂组合的薄膜层，就工艺过程讲涉及环保问题和污染，就形成薄膜的厚度和可见光透过率不易控制，且在生产线上无法检测产品合格率，不能控制且合格率低，膜层牢度不够，且膜层最表面，在保护层面上测表面电阻率，因有高分子树脂参与组合，表面电阻率反而比不增加该保护层更高，使EMI屏蔽功能下降，对三层银的膜层结构而言，解决了所谓"白点"问题，但降低了三层银的EMI屏蔽能力。该文献讲到了抑制对银薄膜层侵蚀或称减少"白点"的控制办法，但由于只采用在三层银结构薄膜层的最表面层的透明高折射率薄膜层上涂该层保护层，对EMI屏蔽膜的效果还不够，表面电阻率最好只能达2Q/cm2，还达不到家用电器小于1.5Q/on2的标准，该申请没有方法或方案在每层银薄膜层与透明高折射率薄膜层之间分为三层(若是四层银薄膜层结构应有四层)之间增加金属氧化物薄膜层的报道或提示，更没有利用连续磁控溅射方法来镀这三层或四层金属氧化物如ITO(铟锡氧化物)或AZ0Y(铝、锌氧化物)薄膜并与其余IT0或AZ0Y/Ag/Ti(V薄膜有机结合来提高可见光透光率，提高镀膜层抗氧化抗侵蚀能力及提高EMI屏蔽能力，同时对近红外光、远红外光、紫外光阻挡起滤光功能的报道和提示。专利申请号01804419.Q的专利文献，公开了一种显示器滤光片，这种滤光片是高分子薄膜(B)的一面或两面上层积透明导电层(D)，透明导电层是将高折射率透明薄膜层(Dt)和金属薄膜层(MD)的组合(Dt)/(DM)作为重复单元，反复2—4次进行层积，再在其上层积高折射率透明薄膜层(Dt)而构成，也公开了该高折射率透明薄膜层(Dt)中的至少一层由以铟、锡和锌的一种以上为主要成分的氧化物形成。也公开了多个金属薄膜层(DM)中的至少一层由银或银合金形成。也公开了在高分子薄膜(B)的靠近空气侧也即观看面制有单层减反射膜层的方案。也公开透明导电层(D)具有0.01—30Q/cm2的表面电阻，但实际上公开的层积的Dt/DM薄膜的2—4次重复的膜即使是7层膜，只要是采用镀膜层积的方式形成透明导电薄膜，其表面电阻都在2.2Q/cm2以上，多数在5Q/cm2以上，达不到家用电视低于1.5Q/cm2的标准，实际上是无法投入使用的。即使按其专利公开的方法能够使用，实际上该所谓的透明导电层(D)仍然是采用的前面几个专利公开的刻蚀复合的铜板或采用金属丝布网方法形成的EM1干扰波屏蔽网，该层网并不同时具备吸收或阻挡紫外光、近红外光、远红外光的功能。该专利公开的方案是专用于粘贴在显示器荧光屏上的高分子薄膜。该专利没有公开和启示以银为主要膜层，在其之上层积一层高折射率的TiOJ莫层，在银层和Ti02之间专门层积一层透明的金属氧化物膜层，利用这一层金属氧化物自身防氧化能力稳定来增加对银层的保护，同时利用该层膜是纳米级薄膜对红外光波有特殊吸收能力，与银层和Ti02膜层组合后共同提高紫外光、近红外光、远红外光的吸收和阻挡能力。该专利也没有公开以银层为基础，在其两边分别对称层积金属氧化物膜层/Ti02的5层结构，由这5层结构可以巧妙的形成3至4组的的重复而形成13层或17层膜结构，最终由i3层和17层膜来实现1.5Q/cm2以下的表面电阻及对紫外光、近红外光的滤光功能。
实用新型内容本实用新型的目的是为了克服以上不足，提供一种采用可大面积连续的磁控溅射方法镀膜的方法，能大大降低成本，生产效率高，强度高，透光率高，防电磁辐射和滤光效果佳，使用寿命长的具有防电磁辐射及滤光功能的滤光板。本实用新型的目的是这样实现的-本实用新型滤光板，包括玻璃基片，采用连续磁控溅射的方法在玻璃基片的一面镀上的有防电磁辐射及滤光功能的镀膜层，在镀膜层上复合有阻止镀膜层氧化或侵蚀的表面有抗反射功能膜层的塑料膜层，在玻璃基片另一面复合有具有抗反射功能膜层的塑料膜层，与镀膜层接触的作为引出电极的金属薄膜，镀膜层是由三组或四组Ti02/AZ0Y/Ag/AZ0Y/T瓜或Ti(VITO/Ag/AZOY/m或Ti(VITO/Ag/ITO/im或Ti02/AZOY/Ag/ITO/TiO2这样的膜系的重复形成的13层或17层膜层结构，其中AZOY是氧化锌与氧化铝掺杂材料组成的氧化物膜层，ITO是掺锡氧化铟材料组成的膜层，在玻璃基片上镀13层膜层的结构是第一层膜层是Ti02，第二层膜层是AZOY或ITO，第三层膜层是Ag，第四层膜层是AZOY或ITO，第五层膜层是Ti02,第六层膜层是AZOY或ITO，第七层膜层是Ag，第八层膜层是AZOY或ITO，第九层膜层是Ti02，第十层膜层是AZOY或ITO，第十一层膜层是Ag,第十二层膜层是AZOY或ITO，第十三层膜层是Ti02，在玻璃基片上镀17层膜层的结构是第一层膜层是Ti02，第二层膜层是AZOY或ITO，第三层膜层是Ag,第四层膜层是AZOY或ITO，第五层膜层是Ti02,第六层膜层是AZOY或ITO，第七层膜层是Ag,第八层膜层是AZOY或ITO，第九层膜层是Ti02，第十层膜层是AZOY或ITO，第十一层膜层是Ag，第十二层膜层是AZOY或ITO，第十三层膜层是Ti02，第十四层膜层是AZOY或ITO，第十五层膜层是Ag，第十六层膜层是AZOY或ITO，第十七层膜层是Ti02。塑料膜层可采用透光率高于85%甚至90%的能阻止镀膜层氧化或侵蚀的塑料膜片，该膜片不仅可以防止和延缓电磁干扰(EMI)屏蔽镀膜层的侵蚀和性能衰减，还可以用来防止粘贴的玻璃基片破碎，采用高强度的塑料膜片可以将玻璃耐冲击性能提高，使之成为安全玻璃，不仅是一块性能很好的滤光板，同时成为PDP显示器保护屏，特别是用连续磁控溅射方法在Ag镀层与Ti02镀层之间镀了一层ITO或AZOY金属氧化物层，使Ag镀层增加了抗氧化及侵蚀能力，解决所谓的"白点"问题，并不因重复三组或四组的这层镀膜而降低滤光板总体透光率要求，反而对镀膜层表面电阻率《1.5Q/cm2有贡献。且生产效率高，镀膜工艺统一、方便，成本低。在玻璃基片两面都复合有具有抗反射功能膜层的塑料膜层，进一步保护了玻璃基片。塑料膜层上的抗反射功能膜层可采用磁控溅射方法镀膜或溶胶-凝胶法复合。塑料膜层通过粘结剂层与镀膜层粘贴复合，塑料膜自身也可以因需要变为粘结剂层与其它的基片粘结复合为一体成为滤光片，也可以与PDP显示板粘结为一体而使显示器更薄，塑料膜层是双向拉伸的聚酯膜或聚碳酸酯膜或聚乙烯醇縮丁醛膜，粘结剂中加入蓝色颜料以调节和衰减显示器发出的596mn(纳米)的黄色特征光，加入紫色、红色、黑色颜料中的至少一种以调节显示器的色温及透光率。塑料膜层是双向拉伸的聚酯膜(BOPET)，也可以是聚碳酸酯膜(PC膜)、聚乙烯醇縮丁醛(PVB)膜或聚酯膜(PET膜)。粘结剂中加入蓝色可以调节和衰减596nm黄色特征光而使红色更鲜艳，也可加入其它颜料如紫色和/或红色和/或黑色颜料以调节显示器的色温及可见光透过率。也可以因需要在粘结剂中加入紫外线吸收剂和抗氧剂增加抗老化能力，滤光板在玻璃基片的镀膜层上复合的阻止镀膜层氧化或侵蚀的塑料膜层是粘结剂，在其中至少加入了调节显示器的色温和衰减显示器发出的596rnn(纳米)的黄色特征光的蓝色颜料，该基片与另外的基片粘结成一体形成滤光板.利用塑料膜层是粘结剂层，可以方便的将具有EMI屏蔽功能和滤光功能的玻璃基片与另外的玻璃基片、塑料基片贴合，而成为具有更多功能的滤光板，滤光板也可通过与镀膜层复合的阻止镀膜层氧化或侵蚀的塑料膜层，将此塑料层作为粘洁剂并加入调节色温的颜料和紫外线吸收剂，直接与等离子体显示板粘贴为一体，减薄显示器厚度更加提高侧面大角度观看质量。滤光板的玻璃基片是可采用化学方法或物理方法处理的半钢化玻璃或钢化玻璃，增加其强度，加上用高强度的塑料膜片粘贴复合，再加上已有EMI镀膜层的防电磁辐射及滤光功能，同时具备滤光板及保护屏的功能。上述的具有13层或17层结构的镀膜层中的各层膜层厚度为以下厚度范围Ti02为10150nm(纳米)，AZOY或ITO为1.030nm(纳米)，Ag为530nm(纳米)，AZOY或ITO为1.030mn(纳米)，TiOz为10200nm(纳米)，AZOY或ITO为1.030nm(纳米)，Ag为530nm(纳米)，AZOY或ITO为1.030nm(纳米)，Ti。2为10200nm(纳米)，AZOY或ITO为1.030nm(纳米)，Ag为530腿(纳米)，AZOY或ITO为1.030nm(纳米)，Ti02为10200nm(纳米)，AZOY或ITO为1.030nm(纳米)，Ag为530nm(纳米)，AZOY或ITO为1.030nm(纳米)，Ti02为10150nm(纳米)。上述的金属薄膜是包覆玻璃基片四周且通过金属薄膜上的导电胶与镀膜层粘结复合而成，或者是金属导电粘结剂通过印刷固化包覆玻璃基片四周与镀膜层粘结复合而成，可将金属薄膜不仅接触EMI屏蔽镀膜层而且呈U型包覆基片边沿或只在EMI屏蔽镀膜面四周边沿粘贴，金属薄膜作为引出电极将EMI屏蔽镀膜层屏蔽阻挡下的电磁辐射传递给显示器直至接地。金属薄膜也可以是用导电金属粘结剂印刷后固化形成，与用金属薄膜粘结复合相比有更高的自动化效率，可降低成本，粘结和对EMI镀层密封更牢固。上述的具有抗反射功能膜层的塑料膜层通过粘结剂层与镀膜层和玻璃基片粘贴复合，可见光段的反射率<3%，两面复合塑料膜层叠加后反射率也小于6%。上述的塑料膜层上抗反射功能膜层至少由Si02与NbA或Ti02二层组成。也可以由Si(VNb205或Ti02/Si02/Nb205或Ti02四层膜组成，在EMI屏蔽镀膜面上粘贴镀有AR膜的塑料膜片，可使滤光板透过的可见光有更高的透过率，提高显示器的亮度。也可以将镀有防电磁辐射及滤光功能镀层及在其上粘贴镀有AR膜的塑料膜片这一面作为观看面，不仅起EMI屏蔽作用和滤光作用，还能抗环境光反射，提高观看质量。上述的镀膜层的表面电阻率《1.5Q/cm2(也同以Q/口单位表示)。上述的滤光板，在显示器观看面，测量滤光板可见光380780nm时的透光率大于30%而小于75%，红外光850nm时的透光率小于18%，950nm叶的透光率小于10%。本实用新型在Ag层的底层是ITO膜层或AZOY膜层，在Ag层的面上复盖的也是ITO膜层或AZOY膜层，本实用新型的ITO膜层或AZOY膜层在镀膜工艺上更容易控制，所以本实用新型不仅工艺容易控制、成品率高，光学指标也稳定，透光率更好，膜层可以更厚，对Ag层的保护和隔氧能力更高，更重要的是在Ag层的两面是ITO和域AZOY，也即是对称膜层，使该滤光板两面都可以与PDP显示器组装，而起到EMI屏蔽和紫外光波，近红外光波及远红外光波的过滤功能，加之膜厚设计为对称的，镀膜时设备只要满足能进行单Ag的四层镀膜工艺，就能通过重复镀膜方式方便的获得3银或4银的重复膜层结构，而方便镀膜，节约设备投资。本实用新型滤光板由镀EMI屏蔽镀膜层的镀膜玻璃或玻璃基片与具有阻止镀膜层氧化和侵蚀的塑料膜层以及与EMI镀膜层接触的作为引出电极的金属薄膜粘贴复合而成，成为PDP显示器的最基本的滤光板。利用所贴塑料膜在其上镀AR膜，增加滤光板可见光透过率，降低面对观众的可见光反射率，而将贴膜面面对观众装配使用，并使玻璃成为安全玻璃。在基片另一面复合有镀有AR膜的塑料膜层，使其面对观看面也能抗反射，特别是抗环境对屏的光反射，提高观看的图像质量.该镀膜层解决了过去多层功能膜叠加层压才能解决的EMI屏蔽及紫外光、近红外光、远红外光的过滤难题，而且生产效率高、成本低、寿命长、性能M^第兀普。本实用新型滤光板成本低，生产效率高，强度高，透光率高，防电磁辐射和滤光效果佳，使用寿命长。图1为本实用新型结构示意图。图2为防电磁辐射镀膜层三层重复结构示意图。图3为对电磁波及近红外、远红外、紫外线的的屏蔽及过滤和可见光透光率曲线图。图4为抗反射膜结构示意图。图5为抗反射膜(AR膜)的反射率(R96)曲线图.图6为本实用新型再一结构示意图。具体实施方式实施例1:图1给出了本实施例1图。参见图1，玻璃基片1经去离子水清洗后，进入连续的磁控溅射镀膜生产线中镀上如图2所示的三银膜系(也可以是四银膜系)，即由Ti02/IT0或AZOY/Ag/ITO或AZOY/TiG2重复结构组成的13层膜(相邻结构层的相邻Ti02层重合)的防电磁辐射和滤光功能的镀膜层(即EMI屏蔽镀膜层)2，其中的TiC)2采用孪生中频反应磁控溅射的方法制备，而Ag和ITO或AZOY是采用平面直流磁控溅射法制备。AZOY是锌氧化物与铝氧化物掺杂材料组成的氧化物膜层，该ZnO与A1203材料组成的革巴材是德国"G伍MetalleundMaterralienGmbH"公司的已公开并成熟使用的靶材，ZnO与A1203占到材料的99.95%，它与ITO膜层比较有类似的性能，在同样厚度情况下有更高的透光率。用直流脉冲磁控溅射有方便可控的薄膜层积工艺条件，材料成本比ITO节省3/4,有较好的应用价值。若在三层Ti02/ITO或AZOY/Ag/IT0或AZ0Y/Ti02重复结构膜层(即三银)上增加Ti(VITO或AZOY/Ag/ITO或AZOY/Ti02膜层即四层复合结构(即四银)，最后成为17层，各种性能指标更有保证，特别是表面电阻率可以由《1.5Q/cm2降到《1.3Q/cm2以下。生产出的EMI屏蔽膜层的性能如图3所示，可见光的透光率应大于75%，而在近红外段应迅速下降，在596纳米处也即显示器氖气发出的黄色特征光段因加入蓝色颜料而产生吸收，透光率有一个低峰谷，约只有30%的透光率。表面电阻R二1.3土0.02Q/cm2，表面电阻越小，防电磁辐射的能力越强。在EMI屏蔽镀膜层2的表面通过丙烯酸酯粘结剂层3粘贴上一层透光率高于85%的具有阻止镀膜层氧化和侵蚀的双向拉伸的聚酯膜(B0PET膜)制成的塑料膜片4。贴上塑料膜层和加入蓝色颜料及调节色温的颜料后，能满足透光率大于30%小于75%的指标。在镀有EMI屏蔽膜层的基片面沿其四周边宽约10mm之处用导电胶7粘贴与EMI屏蔽镀膜层接触的且作为引出电极的金属薄膜(箔片)5。根据该滤光板EMI膜是否面向PDP显示器8，可以将金属薄膜(箔片)不仅接触EMI屏蔽镀膜层且呈U型包覆基片边沿或只在EMI屏蔽镀膜层面四周边沿粘贴。呈U型包覆基片边沿，可以使该滤光板在只作为防电磁辐射及滤光功能使用时，滤光板两面都可以方便安装面对PDP显示器。在塑料膜和基片的另.一面分别采用孪生中频反应磁控溅射方法镀上抗反射功能(AR)膜层6。抗反射功能膜层的结构如图4所示，由Si(VNbA或Ti02组成的四层结构。生产出的AR膜层的性能，其反射曲线如图5所示在可见光段的反射率1^<0.5%，两层面叠加后反射率也小于3%,该实施例利用了Ti(VITO或AZOY/Ag/ITO或AZOY/丌02的三层或四层重复结构的连续磁控溅射方法镀的膜层，不仅膜层牢固，可见光透过泰高，满足家电防电磁辐射标准，表面电阻率小于1.5Q/cm2，生产效率高、成品率高、成本低，还因在观看面增加了抗反射镀膜层，提高了图像质量，更重要是提高了EMI屏蔽镀膜层的使用寿命。本实施例即13层或14层EMI屏蔽膜的膜厚参数如下表:<table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>实施例2:图6给出了本实施例2的结构示意图。参见图6，将镀有EMI屏蔽镀膜层的玻璃基片1，利用丙烯酸酯粘结剂3与PDP显示板粘结为一体，在基片1的另一面(观看面)粘贴镀有AR膜6的B0PET塑料膜片4，减薄了显示器厚度，将上述实施例的向PDP显示板一面的塑料膜换为了粘结剂，仍然有防止EMI屏蔽膜氧化和侵蚀的功能。上述各实施例是对本实用新型的上述内容作进一步的说明，但不应将此理解为本实用新型上述主题的范围仅限于上述实施例。凡基于上述内容所实现的技术均属于本实用新型的范围。权利要求1、一种等离子体显示器的具有防电磁辐射及滤光功能的滤光板，其特征在于包括玻璃基片，采用连续磁控溅射的方法在玻璃基片的一面镀上的有防电磁辐射及滤光功能的镀膜层，在镀膜层上复合有阻止镀膜层氧化或侵蚀的表面有抗反射功能膜层的塑料膜层，与镀膜层接触的作为引出电极的金属薄膜，镀膜层是由三组或四组TiO2/AZOY/Ag/AZOY/TiO2或TiO2/ITO/Ag/AZOY/TiO2或TiO2/ITO/Ag/ITO/TiO2或TiO2/AZOY/Ag/ITO/TiO2这样的膜系的重复形成的13层或17层膜层结构，在玻璃基片上镀13层膜层的结构是第一层膜层是TiO2，第二层膜层是AZOY或ITO，第三层膜层是Ag，第四层膜层是AZOY或ITO，第五层膜层是TiO2，第六层膜层是AZOY或ITO，第七层膜层是Ag，第八层膜层是AZOY或ITO，第九层膜层是TiO2，第十层膜层是AZOY或ITO，第十一层膜层是Ag，第十二层膜层是AZOY或ITO，第十三层膜层是TiO2，在玻璃基片上镀17层膜层的结构是第一层膜层是TiO2，第二层膜层是AZOY或ITO，第三层膜层是Ag，第四层膜层是AZOY或ITO，第五层膜层是TiO2，第六层膜层是AZOY或ITO，第七层膜层是Ag，第八层膜层是AZOY或ITO，第九层膜层是TiO2，第十层膜层是AZOY或ITO，第十一层膜层是Ag，第十二层膜层是AZOY或ITO，第十三层膜层是TiO2，第十四层膜层是AZOY或ITO，第十五层膜层是Ag，第十六层膜层是AZOY或ITO，第十七层膜层是TiO2，在玻璃基片另一面复合有具有抗反射功能膜层的塑料膜层。2、如权利要求1所述的等离子体显示器的具有防电磁辐射及滤光功能的滤光板，其特征在于具有13层或17层结构的镀膜层中的各层膜层厚度由基片向最外层依次为以下厚度范围Ti02为10150nm,AZOY或ITO为1030nm，Ag为530nm，AZOY或ITO为1.030nm,Ti02为10200醒，AZOY或ITO为1.030nm，为530nm，AZOY或ITO为1.030nm,Ti02为10200nm，AZOY或ITO为1.030nm，Ag为530mn，AZOY或ITO为1.030nm，Ti02为10200nm，AZOY或ITO为1.030nm,Ag为530nm,AZOY或ITO为1.030nm,TiO为10150nm。3、如权利要求1所述的等离子体显示器的具有防电磁辐射及滤光功能的滤光板，其特征在于金属薄膜是包覆玻璃基片四周且通过金属薄膜上的导电胶与镀膜层粘结复合而成，或者是金属导电粘结剂通过印刷固化包覆玻璃基片四周与镀膜层粘结复合而成。4、如权利要求1所述的等离子体显示器的具有防电磁辐射及滤光功能的滤光板，其特征在于具有抗反射功能膜层的塑料膜层通过粘结剂层与镀膜层和玻璃基片粘贴复合，可见光段的反射率<3%，两面复合塑料膜层叠加后反射率也小于6%。5、如权利要求14之一所述的等离子体显示器的具有防电磁辐射及滤光功能的滤光板，其特征在于塑料膜层上抗反射功能膜层至少由S瓜与Nb^或Ti02二层组成。6、如权利要求14之一所述的等离子体显示器的具有防电磁辐射及滤光功能的滤光板，其特征在于镀膜层的表面电阻率《1.5Q/cm2。专利摘要本实用新型提供了一种等离子体(PDP)显示器的具有防电磁辐射及滤光功能的滤光板。包括玻璃基片，采用连续磁控溅射的方法在玻璃基片的一面镀上的有防电磁辐射及滤光功能的镀膜层，在镀膜层上复合有阻止镀膜层氧化或侵蚀的表面有抗反射功能膜层的塑料膜层，与镀膜层接触的作为引出电极的金属薄膜，镀膜层是由TiO<sub>2</sub>/AZOY或ITO/Ag/AZOY或ITO/TiO<sub>2</sub>这样的膜系重复镀层组成的13层或17层膜层结构，在玻璃基片另一面复合有具有抗反射功能膜层的塑料膜层，本实用新型滤光板能大大降低成本，生产效率高，强度高，透光率高，防电磁辐射和滤光效果佳，使用寿命长。文档编号H01J17/16GK201146171SQ20062003574公开日2008年11月5日申请日期2006年9月27日优先权日2006年9月27日发明者甘国工申请人:甘国工