圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的发光显示器的制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的发光显示器，包括由前玻璃封装面板、后玻璃封装面板和透明玻璃框所构成的真空室；在前玻璃封装面板上有阳极导电层、制备在阳极导电层上面的发光层以及与阳极导电层相连通的阳极外连接线层；在后玻璃封装面板上有圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构；位于真空室内的隔离墙和消气剂附属元件。本发明具有制作结构简单易行、制作成品率高、制作成本低廉、发光亮度高、制作工艺稳定可靠的优点。
【专利说明】
圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的发光显示器
技术领域
[0001]本发明属于真空科学与技术领域、显示技术领域、集成电路科学与技术领域、光电子科学与技术领域、纳米科学与技术领域以及微电子科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平面场发射发光显示器的制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平面场发射发光显示器的制作，特别涉及到一种圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的发光显示器及其制作工
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【背景技术】
[0002]利用碳纳米管作为阴极的场发射发光显示器是一种新型的平面显示装置，业已成为了下一代显示器的典型标志，也是众多科研人员的重点研究课题。场发射发光显示器兼顾具有阴极射线管显示器的高图像质量、液晶显示器的超薄型，以及等离子体显示器的大面积性，更兼顾具有工作温区宽、响应速度快等优势，在平面显示技术领域引起了极大的重视。在三极结构的场发射发光显示器中，其工作原理可简单概述为:利用阴极-门极之间的外加电场，从而迫使碳纳米管发射电子;利用阴极-阳极之间的外加工作电压，使得发射的电子对荧光粉层进行高速轰击，从而发出可见光。国内外的众多科研人员对场发射发光显示器进行了大量研究。
[0003]但是，目前的碳纳米管阴极的场发射发光显示器普遍都存在着大量缺陷，还没有一个令人满意的解决方案。在三极结构的场发射发光显示器中，由于门极-阴极之间的距离过大，而导致门极工作电压过高，从而引起了不必要的发光显示器功率损耗。同时，门极对碳纳米管阴极的控制能力很弱，一方面使得大部分碳纳米管无法发射电子，使得这些碳纳米管的电子发射效率低下，另一方面门极更会截留部分碳纳米管发射的电子，形成无效的门极电流，增大了发光显示器的运转负担。同时，寻找适合于门极-阴极之间的合适的制作材料，以及针对这种合适制作材料所必需的合适的制作工艺，也是非常重要的。
[0004]此外，在碳纳米管阴极的场发射发光显示器中，制作成本以及制作工艺难度也是必需要考虑的问题。一方面必须确保门极对碳纳米管阴极的良好控制性能，另一方面也要进一步降低发光显示器的制作工艺难度，确保发光显示器的制作成功率。如何提高场发射发光显示器的发光亮度，增大发光显示器的阳极工作电流，这都需要我们进一步的加以研究。
【发明内容】
[0005]发明目的:本发明的目的在于克服上述发光显示器中存在的缺陷和不足而提供一种制作结构简单易行的、制作成品率高的、制作成本低廉的、发光亮度高的、制作工艺稳定可靠的带有圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的发光显示器的显示器制作及其制作工艺。
[0006]技术方案:本发明的圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的发光显示器，包括由前玻璃封装面板、后玻璃封装面板和透明玻璃框所构成的真空室，以及位于真空室内的隔离墙和消气剂附属元件;在前玻璃封装面板上有阳极导电层、发光层和阳极外连接线层，所述发光层制备在阳极导电层上面，所述阳极外连接线层与阳极导电层相连通;在后玻璃封装面板上有圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构。
[0007]所述圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的衬底为后玻璃封装面板，后玻璃封装面板上的印刷的绝缘浆料层形成隔离层；隔离层上的印刷的银浆层形成阴极外连接线层；阴极外连接线层上的印刷的绝缘浆料层形成阴极增高层；阴极增高层的下表面为平面；阴极增高层的外侧面为底部向内收缩顶部向外扩展的倾斜圆筒面；阴极增高层的上表面呈现圆环状的、凸起的喷涌泉水形状；阴极增高层中存在三角孔，作为阴极延长线层的通道；阴极增高层中三角孔内的印刷的银浆层形成阴极延长线层；阴极延长线层和阴极外连接线层是相互连通的；阴极增高层上表面的刻蚀的金属层形成阴极导电层；阴极导电层覆盖阴极增高层的上表面，且和阴极延长线层相互连通；隔离层上的印刷的绝缘浆料层形成门极增高层；门极增高层的下表面为平面；门极增高层位于隔离层上；门极增高层中存在圆形孔，圆形孔中暴露出阴极导电层和阴极增高层；门极增高层的内侧面为倾斜的圆筒面，其倾斜的方向与阴极增高层外侧面倾斜圆筒面的倾斜方向相反；门极增高层的高度低于阴极增高层的高度；门极增高层上表面的圆形孔边缘周围形成一个向下倾斜的斜坡面，向下倾斜的斜坡面环绕于圆形孔的周围，门极增高层其余上表面部分为平面；门极增高层上表面的刻蚀的金属层形成门极下层；门极下层上面的印刷的绝缘浆料层形成门极间隔层；门极间隔层位于门极下层上；门极间隔层的上表面为为一个靠近圆形孔部分高、远离圆形孔部分低的倾斜面；门极间隔层上表面的刻蚀的金属层形成门极上层；门极上层覆盖于门极间隔层的上表面，且和门极下层相互连通；门极上层和门极下层上面的印刷的绝缘浆料层形成门极遮挡层；门极遮挡层覆盖门极上层和门极下层;碳纳米管层制备在阴极导电层上。
[0008]具体地，所述后玻璃封装面板的材料为硼硅玻璃或钠钙玻璃。
[0009]具体地，所述圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的固定位置为后玻璃封装面板；阴极导电层为金属银、钼、铬、镍、锡或钴；门极下层为金属金、银、钼、铬或锡；门极上层为金属金、银、钼、铬或锡。
[0010]本发明同时提供上述圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的发光显示器的制作工艺，具体步骤如下:
[0011 ] I)后玻璃封装面板的制作:对平面钠钙玻璃进行划割，形成后玻璃封装面板；
[0012]2)隔离层的制作:在后玻璃封装面板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成隔1?层；
[0013]3)阴极外连接线层的制作:在隔离层上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极外连接线层；
[0014]4)阴极增高层的制作:在阴极外连接线层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极增高层；
[0015]5)阴极延长线层的制作:在阴极增高层中的三角孔中印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极延长线层；
[0016]6)阴极导电层的制作:在阴极增高层上制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；
[0017]7)门极增高层的制作:在隔离层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极增尚层；
[0018]8)门极下层的制作:在门极增高层上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成门极下层；
[0019]9)门极间隔层的制作:在门极下层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极间隔层；
[0020]10)门极上层的制作:在门极间隔层上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成门极上层；
[0021]11)门极遮挡层的制作:在门极下层和门极上层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极遮挡层；
[0022]12)圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的清洁:对圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；
[0023]13)碳纳米管层的制作:将碳纳米管印刷在阴极导电层上，形成碳纳米管层；
[0024]14)碳纳米管层的处理:对碳纳米管层进行后处理，改善其场发射特性；
[0025]15)前玻璃封装面板的制作:对平面钠钙玻璃进行划割，形成前玻璃封装面板；
[0026]16)阳极导电层的制作:对覆盖于前玻璃封装面板表面的锡铟氧化物膜层进行刻蚀，形成阳极导电层；
[0027]17)阳极外连接线层的制作:在前玻璃封装面板上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阳极外连接线层；
[0028]18)发光层的制作:在阳极导电层上印刷荧光粉，经烘烤工艺后形成发光层；
[0029]19)显示器器件装配:将消气剂安装于前玻璃封装面板的非显示区域;然后，将前玻璃封装面板、后玻璃封装面板、透明玻璃框和隔离墙装配到一起，用夹子固定；
[0030]20)显示器器件封装:对已装配的显示器器件进行封装工艺形成成品件。
[0031]所述步骤17具体为:在前玻璃封装面板的非显示区域印刷银浆，经过烘烤之后，最高烘烤温度:180°C，最高烘烤温度保持时间:8分钟，放置在烧结炉中进行烧结，最高烧结温度:525 °C，最高烧结温度保持时间:8分钟。
[0032]所述步骤18具体为:在前玻璃封装面板的阳极导电层上印刷荧光粉，然后放置在烘箱中进行烘烤，最高烘烤温度为120°C，最高烘烤温度保持时间:10分钟。
[0033]所述步骤20具体为:将显示器器件放入烘箱中进行烘烤;放入烧结炉中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离；在烤消机上对消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
[0034]有益效果:本发明具有如下的积极效果:
[0035]首先，在所述的圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构中，碳纳米管层被制备在了环泉水涌喷状阴极导电层上。当在门极上施加适当电压后，就会在碳纳米管层表面形成强大的电场强度;无需其它额外能量的加入，就能够迫使碳纳米管发射出大量的电子，形成特有的场发射电子现象。一方面，在所制作的环泉水涌喷状阴极导电层上，碳纳米管层的制作面积增大了，也就意味着可以有更多的碳纳米管可以进行电子发射，这对进一步增强发光显示器亮度无疑是有益的；另一方面，鉴于碳纳米管层被制作在环泉水涌喷状阴极导电层的外部，这就为缩减阴极-门极二者之间的距离创造了有利条件，可以大幅度降低门极的工作电压。
[0036]其次，在所述的圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构中，在碳纳米管层的旁侧制作了圆形尖侧双门极。利用在门极上施加适当的工作电压，就能够让碳纳米管发射出大量电子，这体现了门极对碳纳米管的强有力控制功能;一方面，鉴于门极位于碳纳米管层的旁侧，故碳纳米管发射的电子并不会被门极大量截留，这有助于进一步增强发光显示器的发光亮度；同时，门极呈圆形围绕在碳纳米管层的周围，这对门极控制更多的碳纳米管是十分有利的。另一方面，一旦将外部工作电压施加于门极，门极的工作电压将会同时传送到门极下层和门极上层;至此，门极下层和门极上层将同时工作，迫使更多的碳纳米管进行电子发射，将极大增加发光显示器的阳极电流;鉴于门极下层和门极上层都被制作成了尖状，从而能够尽可能的缩减阴极-门极的有效距离，降低门极的工作电压，减小发光显示器的功率损耗。
[0037]第三，在所述的圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构中，不仅制作了门极下层和门极上层的双层复合结构，同时门极下层和门极上层还均呈现了倾斜角。这种带有一个倾斜面的双层门极，能够极大增加门极-阴极之间的接触面积，这也就意味着门极能够控制更多的碳纳米管进行发射电子，有助于进一步提升发光显示器的发光均匀度。
[0038]此外，在所述的圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构中，并没有采用特殊的制作工艺，也没有采用特殊的制作材料，且整体制作工艺简单易行，这显著进一步降低了发光显示器的制作成本。
【附图说明】
[0039]图1给出了圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的纵向结构示意图；
[0040]图2给出了圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的横向结构示意图；
[0041]图3给出了一种带有圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的发光显示器的结构示意图；
[0042]图中:后玻璃封装面板1、隔离层2、阴极外连接线层3、阴极增高层4、阴极延长线层
5、阴极导电层6、门极增高层7、门极下层8、门极间隔层9、门极上层10、门极遮挡层11、碳纳米管层12、前玻璃封装面板13、阳极导电层14、阳极外连接线层15、发光层16、消气剂17、透明玻璃框18、隔离墙19。
【具体实施方式】
[0043]下面结合附图和实施例对本发明进行进一步说明，但本发明并不局限于本实施例。
[0044]本实施例的一种圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的发光显示器如图1、图2和图3所示，包括由前玻璃封装面板13、后玻璃封装面板I和透明玻璃框18所构成的真空室；在前玻璃封装面板13上有阳极导电层14、制备在阳极导电层14上面的发光层16以及与阳极导电层14相连通的阳极外连接线层15;在后玻璃封装面板I上有圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构;位于真空室内的隔离墙19和消气剂17附属元件。
[0045]其中，圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构包括后玻璃封装面板1、隔离层2、阴极外连接线层3、阴极增高层4、阴极延长线层5、阴极导电层6、门极增高层7、门极下层8、门极间隔层9、门极上层10、门极遮挡层11和碳纳米管层12。
[0046]圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的衬底材料为玻璃，可以为硼硅玻璃、钠钙玻璃，也就是后玻璃封装面板I;后玻璃封装面板I上的印刷的绝缘浆料层形成隔离层2;隔离层2上的印刷的银浆层形成阴极外连接线层3;阴极外连接线层3上的印刷的绝缘浆料层形成阴极增高层4;阴极增高层4的下表面为平面；阴极增高层4的外侧面为底部向内收缩顶部向外扩展的倾斜圆筒面；阴极增高层4的上表面呈现圆环状的、凸起的喷涌泉水形状；阴极增高层4中存在三角孔，作为阴极延长线层5的通道;阴极增高层4中三角孔内的印刷的银浆层形成阴极延长线层5;阴极延长线层5和阴极外连接线层3是相互连通的；阴极增高层4上表面的刻蚀的金属层形成阴极导电层6;阴极导电层6覆盖阴极增高层4的上表面，且和阴极延长线层5相互连通；隔离层2上的印刷的绝缘浆料层形成门极增高层7;门极增高层7的下表面为平面；门极增高层7位于隔离层2上；门极增高层7中存在圆形孔，圆形孔中暴露出阴极导电层6和阴极增高层；门极增高层7的内侧面为倾斜的圆筒面，其倾斜的方向与阴极增高层外侧面倾斜圆筒面的倾斜方向相反；门极增高层7的高度低于阴极增高层的高度；门极增高层7上表面的圆形孔边缘周围形成一个向下倾斜的斜坡面，向下倾斜的斜坡面环绕于圆形孔的周围，门极增高层7其余上表面部分为平面；门极增高层7上表面的刻蚀的金属层形成门极下层8;门极下层8上面的印刷的绝缘浆料层形成门极间隔层9;门极间隔层9位于门极下层8上；门极间隔层9的上表面为为一个靠近圆形孔部分高、远离圆形孔部分低的倾斜面；门极间隔层9上表面的刻蚀的金属层形成门极上层10;门极上层10覆盖于门极间隔层9的上表面，且和门极下层8相互连通；门极上层10和门极下层8上面的印刷的绝缘浆料层形成门极遮挡层11;门极遮挡层11覆盖门极上层10和门极下层8;碳纳米管层12制备在阴极导电层6上。
[0047]所述的圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的固定位置为后玻璃封装面板I;阴极导电层6可以为金属银、钼、络、镍、锡、钴；门极下层8可以为金属金、银、钼、铬、锡；门极上层10可以为金属金、银、钼、络、锡。
[0048]该圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的发光显示器的制作工艺如下:
[0049]I)后玻璃封装面板I的制作:对平面钠钙玻璃进行划割，形成后玻璃封装面板I;
[0050]2)隔离层2的制作:在后玻璃封装面板I上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成隔离层2;
[0051]3)阴极外连接线层3的制作:在隔离层2上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极外连接线层3;
[0052]4)阴极增高层4的制作:在阴极外连接线层3上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极增高层；
[0053]5)阴极延长线层5的制作:在阴极增高层中的三角孔中印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极延长线层5;
[0054]6)阴极导电层6的制作:在阴极增高层上制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层6;
[0055]7)门极增高层7的制作:在隔离层2上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极增高层7;
[0056]8)门极下层8的制作:在门极增高层7上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成门极下层8 ；
[0057]9)门极间隔层9的制作:在门极下层8上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极间隔层9;
[0058]10)门极上层10的制作:在门极间隔层9上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成门极上层10;
[0059]11)门极遮挡层11的制作:在门极下层8和门极上层10上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极遮挡层11;
[0060]12)圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的清洁:对圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；
[0061]13)碳纳米管层12的制作:将碳纳米管印刷在阴极导电层上，形成碳纳米管层12;
[0062]14)碳纳米管层12的处理:对碳纳米管层12进行后处理，改善其场发射特性；
[0063]15)前玻璃封装面板13的制作:对平面钠钙玻璃进行划割，形成前玻璃封装面板13；
[0064]16)阳极导电层14的制作:对覆盖于前玻璃封装面板13表面的锡铟氧化物膜层进行刻蚀，形成阳极导电层14;
[0065]17)阳极外连接线层15的制作:在前玻璃封装面板13上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阳极外连接线层15;具体是在前玻璃封装面板13的非显示区域印刷银浆，经过烘烤(最高烘烤温度:180°C，最高烘烤温度保持时间:8分钟)之后，放置在烧结炉中进行烧结(最高烧结温度:525 °C，最高烧结温度保持时间:8分钟)。18)发光层16的制作:在阳极导电层14上印刷荧光粉，经烘烤工艺后形成发光层16;具体是在前玻璃封装面板13的阳极导电层14上印刷荧光粉，然后放置在烘箱中进行烘烤(最高烘烤温度为120°C，最高烘烤温度保持时间:10分钟)。
[0066]19)显示器器件装配:将消气剂17安装于前玻璃封装面板13的非显示区域;然后，将前玻璃封装面板13、后玻璃封装面板1、透明玻璃框18和隔离墙19装配到一起，用夹子固定；
[0067]20)显示器器件封装:对已装配的显示器器件进行封装工艺形成成品件，具体是将显示器器件放入烘箱中进行烘烤;放入烧结炉中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离;在烤消机上对消气剂17进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
【主权项】
1.一种圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的发光显示器，包括由前玻璃封装面板、后玻璃封装面板和透明玻璃框所构成的真空室，以及位于真空室内的隔离墙和消气剂附属元件;其特征在于:在前玻璃封装面板上有阳极导电层、发光层和阳极外连接线层，所述发光层制备在阳极导电层上面，所述阳极外连接线层与阳极导电层相连通;在后玻璃封装面板上有圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构。2.根据权利要求1所述的圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的发光显示器，其特征在于:所述圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的衬底为后玻璃封装面板，后玻璃封装面板上的印刷的绝缘浆料层形成隔离层；隔离层上的印刷的银浆层形成阴极外连接线层；阴极外连接线层上的印刷的绝缘浆料层形成阴极增高层；阴极增高层的下表面为平面；阴极增高层的外侧面为底部向内收缩顶部向外扩展的倾斜圆筒面；阴极增高层的上表面呈现圆环状的、凸起的喷涌泉水形状；阴极增高层中存在三角孔，作为阴极延长线层的通道；阴极增高层中三角孔内的印刷的银浆层形成阴极延长线层；阴极延长线层和阴极外连接线层是相互连通的；阴极增高层上表面的刻蚀的金属层形成阴极导电层；阴极导电层覆盖阴极增高层的上表面，且和阴极延长线层相互连通；隔离层上的印刷的绝缘浆料层形成门极增高层；门极增高层的下表面为平面；门极增高层位于隔离层上；门极增高层中存在圆形孔，圆形孔中暴露出阴极导电层和阴极增高层；门极增高层的内侧面为倾斜的圆筒面，其倾斜的方向与阴极增高层外侧面倾斜圆筒面的倾斜方向相反；门极增高层的高度低于阴极增高层的高度；门极增高层上表面的圆形孔边缘周围形成一个向下倾斜的斜坡面，向下倾斜的斜坡面环绕于圆形孔的周围，门极增高层其余上表面部分为平面；门极增高层上表面的刻蚀的金属层形成门极下层；门极下层上面的印刷的绝缘浆料层形成门极间隔层；门极间隔层位于门极下层上；门极间隔层的上表面为为一个靠近圆形孔部分高、远离圆形孔部分低的倾斜面；门极间隔层上表面的刻蚀的金属层形成门极上层；门极上层覆盖于门极间隔层的上表面，且和门极下层相互连通；门极上层和门极下层上面的印刷的绝缘浆料层形成门极遮挡层；门极遮挡层覆盖门极上层和门极下层;碳纳米管层制备在阴极导电层上。3.根据权利要求2所述的圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的发光显示器，其特征在于:所述后玻璃封装面板的材料为硼硅玻璃或钠钙玻璃。4.根据权利要求2所述的圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的发光显示器，其特征在于:所述圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的固定位置为后玻璃封装面板；阴极导电层为金属银、钼、铬、镍、锡或钴；门极下层为金属金、银、钼、铬或锡；门极上层为金属金、银、钼、络或锡。5.根据权利要求2所述的圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的发光显示器的制作工艺，其特征在于包括以下步骤: 1)后玻璃封装面板的制作:对平面钠钙玻璃进行划割，形成后玻璃封装面板； 2)隔离层的制作:在后玻璃封装面板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成隔离层； 3)阴极外连接线层的制作:在隔离层上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极外连接线层； 4)阴极增高层的制作:在阴极外连接线层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极增高层； 5)阴极延长线层的制作:在阴极增高层中的三角孔中印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极延长线层； 6)阴极导电层的制作:在阴极增高层上制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层； 7)门极增高层的制作:在隔离层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极增高层； 8)门极下层的制作:在门极增高层上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成门极下层； 9)门极间隔层的制作:在门极下层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极间隔层； 10)门极上层的制作:在门极间隔层上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成门极上层； 11)门极遮挡层的制作:在门极下层和门极上层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极遮挡层； 12)圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的清洁:对圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘； 13)碳纳米管层的制作:将碳纳米管印刷在阴极导电层上，形成碳纳米管层； 14)碳纳米管层的处理:对碳纳米管层进行后处理，改善其场发射特性； 15)前玻璃封装面板的制作:对平面钠钙玻璃进行划割，形成前玻璃封装面板； 16)阳极导电层的制作:对覆盖于前玻璃封装面板表面的锡铟氧化物膜层进行刻蚀，形成阳极导电层； 17)阳极外连接线层的制作:在前玻璃封装面板上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阳极外连接线层； 18)发光层的制作:在阳极导电层上印刷荧光粉，经烘烤工艺后形成发光层； 19)显示器器件装配:将消气剂安装于前玻璃封装面板的非显示区域;然后，将前玻璃封装面板、后玻璃封装面板、透明玻璃框和隔离墙装配到一起，用夹子固定； 20)显示器器件封装:对已装配的显示器器件进行封装工艺形成成品件。6.根据权利要求5所述的圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的发光显示器的制作工艺，其特征在于:所述步骤17中，在前玻璃封装面板的非显示区域印刷银浆，经过烘烤之后，最高烘烤温度:180 °C，最高烘烤温度保持时间:8分钟，放置在烧结炉中进行烧结，最高烧结温度:525 °C，最高烧结温度保持时间:8分钟。7.根据权利要求5所述的圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的发光显示器的制作工艺，其特征在于:所述步骤18中，在前玻璃封装面板的阳极导电层上印刷荧光粉，然后放置在烘箱中进行烘烤，最高烘烤温度为120°C，最高烘烤温度保持时间:10分钟。8.根据权利要求5所述的圆形尖侧双门控环泉水涌喷状阴极结构的发光显示器的制作工艺，其特征在于:所述步骤20中，将显示器器件放入烘箱中进行烘烤;放入烧结炉中进行烧结;在排气台上进行器件排气、封离;在烤消机上对消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
【文档编号】H01J31/12GK106024555SQ201610532620
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年7月7日
【发明人】李玉魁
【申请人】金陵科技学院