专利名称：具有表面改性的非模制区域的模具的制作方法
具有表面改性的非模制区域的模具 相关专利申请资料
本申请要求2006年8月14日提交的美国临时申请序列号60/822， 272 的优先权。
背景技术：
包括等离子体显示面板(PDP)和等离子体寻址液晶(PALC)显示器的发展 在内的显示器技术的进步已促使人们关注在玻璃基板上形成电绝缘障肋 (barrier rib)的技术。障肋将多个单元隔开，在所述单元里，在相反电 极之间施加的电场可以激发惰性气体。该气体的放电现象在所述单元里发 出紫外线(UV)辐射。对于PDP，单元内部涂覆有荧光剂，该荧光剂被紫外 线辐射激发时会发出红色、绿色或蓝色的可见光。单元的尺寸决定显示器 中图像元素(像素)的尺寸。PDP和PALC显示器可用作(例如)高清晰度 电视(HDTV)或其它数字电子显示设备的显示器。
一种可在玻璃基板上形成障肋的方法是直接模制法。该方法涉及将
(如柔性)模具层合到基板上，模具和基板之间设置有可形成玻璃或陶瓷 的组合物。然后将可形成玻璃或陶瓷的组合物硬化，并移除模具。最后，
通过在约55(TC至约160CrC的温度下进行烧制来使障肋熔凝或烧结。可形 成玻璃或陶瓷的组合物具有分散在有机粘结剂中的微米粒度的玻璃粉颗 粒。有机粘结剂的使用允许障肋在生料态下硬化，从而使得通过烧制将玻 璃颗粒熔凝在基板上的合适位置处。
WO 2004/064104描述了包括(如玻璃)基板和障肋的等离子体显示面 板的后板。非肋区域占据了障肋区域的周边的至少一部分，所述非肋区域 由与障肋区域的材料相同的材料制得。所述等离子体显示面板的后板可通 过使用(如柔性)模具模制固化性模制材料来制备。
尽管已经描述了适用于模制障肋的多种模具，但是业界还是会从新模 具中获益。
发明内容
在一个实施例中，描述了 (如柔性)模具。该模具适用于在基板上制 备微结构化的制品，例如障肋。该模具可以为具有微结构化的模制表面的 单个薄片或连续巻筒，该微结构化的模制表面包括被具有在共同平面中的 表面的平面部分隔开的槽。该模具还包括在至少两个相对侧面上邻近周边 平面部分的非模制区域。非模制区域包括至少一个表面改性区，该表面改 性区在模制期间减小非模制区域与基板的接触面积，从而降低模具与基板 的粘合力。
在一个方面，非模制区域的表面可以是物理改性的。例如，可减小非 模制区域的至少一部分的厚度。在另一方面，非模制区域可包括粗糙表 面。在又一方面，非模制区域可包括基本上小于模制表面的微结构(如障 肋)的微结构。作为另外一种选择，非模制区域可以是化学改性的。
在另一个实施例中，描述了制备(如障肋)微结构的方法。该方法包 括提供模具，所述模具具有在至少两个相对侧面上的表面改性的非模制 区域；在模具的微结构化的表面和基板之间提供固化性(如肋前体)材 料；使该固化性材料固化；以及移除模具，从而在基板上形成固化的(如 障肋)微结构。通常沿基本上平行于物理改性的非模制区域的方向移除模 具。固化的(如障肋)微结构(例如在烧结前)具有小于50ppm的位置误 差。
在其它实施例中，描述了制备(如柔性)微结构化的模具的方法。模 具可以采用已知的方法制备。模具制备后，相对的周边非模制区域可以是 表面改性的。作为另外一种选择，用于随后制备(如柔性)模具的转印模 和/或母模可包括合适的物理改性区。
图1为适用于制备障肋的示例性柔性模具的透视图。
图2为具有周边非模制区域的柔性模具的巻筒。
图3为沿图1所示的模具的线条3-3截取的柔性模具的剖视图。
6图4为平面视图，其示出了示例性柔性模具的微结构化的模制区域 (如障肋)和非模制区域的尺寸。
具体实施例方式
本文描述了具有微结构化的表面的模具、通过利用模具来制备微结构 化的制品的方法、以及制备模具的方法。在下文中，将结合适用于制备微 结构(例如障肋)的柔性模具来说明本发明的实施例。柔性模具可用于制 备用于显示器(如用于形成其单元)的其它微结构化的制品以及其它用途 (例如(诸如)制备具有毛细管道的电泳板)。
图1为示出示例性柔性模具100的局部透视图。图3为沿线条3-3截 取的图1所示的柔性模具的剖视图。柔性模具100通常为具有平面支承体 层110和布置在支承体110上的微结构化的模制表面120的双层结构，所 述微结构化的模制表面在本文中也称为赋形层。微结构化的表面包括多个 凹槽(例如槽)130。槽被平面部分135隔开。此类平面部分135的表面在 相同平面中。
图1所示的柔性模具100包括与第二组平行槽相交的第一组平行槽， 并且适用于在(如等离子体)显示面板的(如具有图案化的电极)后面板 上制备障肋的网格状肋图案。另一种通用的障肋图案包括多根互相平行布 置(非相交)的肋，例如在W0 2004/064104中有所描述。
赋形层的微结构化的槽130的深度、间距和宽度可以根据所需的成品 的变化而变化。微结构(如与障肋的高度相对应的槽)的深度一般为至少 100pm，并且通常为至少150pm。此外，深度通常不大于500nm，并且通常 小于300pm。微结构化的(如槽)图案的纵向间距与横向间距相比可以是 不同的。间距一般为至少100,，并且通常为至少200pm。间距通常不大 于60C^mi，并且优选地小于400pm。微结构化的(如槽)图案的宽度在上 表面和下表面之间可以是不同的，尤其当如此形成的障肋为锥形时更是如 此。该宽度一般为至少10pm，并且通常为至少5(Vm。此外，该宽度通常 不大于10(Vm，并且通常小于80pm。
代表性赋形层的厚度为至少5|im，通常为至少10nni，并且更通常地为 至少5(Vm。此外，赋形层的厚度不大于l，OO(Vm，通常小于800pm，并且
7更通常小于70(^m。当赋形层的厚度小于5pm时，通常无法获得所需的肋 高度。当赋形层的厚度大于l，OOOpm时，可能会由于过度收縮而使模具的 尺寸精度出现异常和降低。
模具包括通常由与微结构化的模制区域的材料相同的材料构成的非模 制(如非肋)区域160。出于各种原因设置非模制(如非肋)区域。参照 图2，其示出了柔性模具的巻筒，非肋区域142设置在微结构化的模制表 面区域180a、 180b和180c之间，从而将微结构化的模制表面分隔成尺寸 合适于各个等离子体显示面板的部分。还可在平行于巻筒的长度方向的周 边位置处设置非肋区域143，以提供夹持柔性模具的区域，从而便于进行 处理。例如(如自动化)机械装置可以夹持模具以便拉伸模具从而使所述 微结构一致，这在美国专利No. 6,616,887和已公布的专利申请No. US2007/0018363中有所描述。非肋区域还可作为粘结框架的位置，从而使 得所述拉伸的肋保持一致，这在已公布的专利申请No. US2007/0018348中 有所描述。
非模制(如非肋)区域通常设置在模具的至少两个相对侧面上的周边 处。对于四边形形状的模具，相对两侧通常互相平行。(如薄片)模具的 微结构化的表面的整个周边可以被非模制区域界定。
非模制区域的尺寸可以是变化的。对于尺寸适于制备30英寸至60英 寸的等离子体显示器的后面板的柔性模具而言，邻近的分立模具的微结构 化的模制区域之间的非模制区域的宽度(即图2中的cU通常为至少10mm 至100ram。平行于巻筒的长度方向的非模制区域的宽度(即图2中的d2) 通常为至少5mm至50mm。
已经发现的是，通过对至少两个相对侧面上的非模制区域进行表面改 性，可以进一步改善具有非模制区域的柔性模具。 一般来讲，非模制区域 的表面改性会形成接触面积减小的非模制区域。接触面积减小可以降低模 制期间模具的非模制区域与基板的粘合力，从而降低模制的障肋的位置误 差。
在模具使用期间，通常在具有图案化的电极的基板上设置厚度均匀的 糊剂涂层，例如W0 03/032353中所描述的那样。该涂层的宽度通常不超过 微结构化的模制表面的周边凹槽(如槽130a)。当模具接触到糊剂的均匀
8涂层时，周边平面部分145的平表面接触基板。然而，表面改性的非模制
区域160的最上层表面完全不接触基板(因为其厚度显著减小)，或与基
板的接触程度显著降低(因为其它物理或化学表面改性)。
参照图1-4，与微结构化的表面的最外周边凹槽(如槽130a)直接相 邻的平面部分145是未改性的，从而不会妨碍由槽130a形成的微结构的形 成。如图4所示，该未改性的平面部分145通常延伸微结构化的模制表面 的长度("1")。参照图3，未改性的平面部分的宽度d3为槽的宽度的至 少约10至20倍。更通常地，未改性的平面部分的宽度d3为槽的宽度的至 少30至50倍。在一些实施例中，未改性的平面部分145的宽度可以为最 外周边槽的宽度的100至500倍。
与表面改性的非模制区域160相比，未改性的平面部分145通常具有 相对较小的接触面积，如图4所示。未改性的平面部分145可占未改性的 平面部分与改性的非模制区域结合的总面积的约1%至10% (如4%至6%)。
可以采用多种方法对非模制区域进行物理和/或化学改性。
在一个方面，可通过减小邻近未改性的周边平面部分145的非模制区 域的至少一些部分的厚度，来减小非模制区域的接触面积。相对于邻近的 周边平面部分135a，物理改性的非模制区域的厚度通常减小至少10%、 20%、 30%或40%。在一些实施例中，邻近未改性的区域135a的100%的物理 改性的非模制区域被移除，使得只有支承体110保留在此类物理改性的区 域中。
在另一方面，非模制区域的至少一些部分可包括粗糙表面。非肋区域 可通过其它方法进行磨砂或研磨，从而形成至少1微米的表面粗糙度Ra。 通常，表面粗糙度不大于约10微米。
另一种在非模制区域的一部分处进行物理改性的方法是使非模制区域 微结构化。此类微结构一般显著小于模具的微结构化的表面的微结构(如 槽)。例如，非肋区域的微结构的尺寸范围可为模具的微结构化的表面的 微结构的尺寸的约1%至约10%。
作为另外一种选择，可通过在表面上涂覆本领域所熟知的氟化材料或 有机硅材料来对非模制区域进行化学改性。可以利用本文所述的物理改性和/或化学改性中的任何一种或它们的组合。
可通过以下方法对柔性模具进行表面改性首先根据本领域所熟知的 方法制备具有非模制区域的柔性模具，然后对柔性模具的至少两个相对侧 面上的非模制区域的一部分进行表面改性。但作为另外一种选择，可对由 其形成柔性模具的转印模进行物理改性，和/或对由其形成转印模的母模进 行物理改性。由母模制备转印模的方法已为人们所熟知，例如在美国专利
公布2005/0206034中有所描述。此外，母模的制备也是人们熟知的，例如 在已公布的专利申请No.US2006/0225463中有所描述。
由转印模制备柔性模具的方法已为人们所熟知，例如在美国已公布的 专利申请No. 2006/0231728中有所描述。在制备柔性模具的具体实施的方 法中，至少在(例如聚合物)转印模的微结构化的表面的凹槽中设置聚合 性树脂组合物，该转印模有与柔性模具对应的相反的微结构化的表面图 案。这可以通过已知的常规涂覆方法(例如刮刀涂布机法或刮条涂布机 法)来实现。将包括柔性聚合物膜的支承体堆叠到聚合性树脂填充的转印 模上，使得树脂与支承体接触。在按照这种方式堆叠时，使聚合性树脂组 合物固化。通常优选光固化。对于该实施例，优选地，支承体和聚合性组 合物足够光学透明，从而使得用于固化而照射的光线可以穿过该支承体。 一旦固化，将具有支承膜的柔性模具与转印模分开，其中所述支承膜与由 固化的聚合性树脂形成的赋形层整体粘结。
适于制备柔性模具的赋形层的光致固化型聚合性树脂组合物也是熟知 的，例如在美国已公布的专利申请No. 2006/0231728中有所描述。
在制备柔性模具之前，转印模和支承膜通常为在湿度和温度控制室 (如221755%相对湿度)内调节过的，从而将其任何尺寸变化降到最低。 还期望在采用由柔性模具制备障肋的方法中能保持恒定的湿度和温度。此 类调节方法在分别于2004年4月1日提交的W0 2004/010452、 W0 2004/043664和日本专利申请No. 2004-108999中有进一步的描述。
尽管支承体可以可任选地(例如)通过在转印模上涂覆过量(比仅填 满凹槽所需的量多)的聚合性组合物来包含与赋形层的材料相同的材料， 但支承体通常为预成形的聚合物膜。聚合物支承膜的厚度通常为至少
100.025毫米，更通常为至少0.075毫米。此外，聚合物支承膜的厚度一般小于0. 5毫米，并且通常的是小于0. 175毫米。聚合物支承膜的拉伸强度一般为至少约5kg/mm2，并且通常为至少约10kg/mm2。聚合物支承膜的玻璃化转变温度(Tg)通常为约6(TC至约200°C。多种材料可用于柔性模具的支承体，包括醋酸丁酸纤维素、醋酸丙酸纤维素、聚醚砜、聚甲基丙烯酸甲酯、聚氨酯、聚酯、和聚氯乙烯。可对支承体的表面进行处理，以提高其与聚合性树脂组合物的粘合力。适合的基于聚对苯二甲酸乙二醇酯的材料的实例包括光学级别(photograde)的聚对苯二甲酸乙二醇酯和具有根据美国专利No. 4,340,276中所述方法形成的表面的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)。
由柔性模具制备微结构化的制品的方法也为人们所熟知，例如在(例如)已公布的专利申请No. US2006/0235107中有所描述。在一种具体实施
的方法中，提供了具有(如条状)电极图案的平整透明的(如玻璃)基板。本文所述的柔性模具通过(例如)使用传感器(例如电荷耦合器件摄影机)来进行定位，从而使得模具的障肋图案与图案化的基板一致。可以通过多种方式在基板和柔性模具的赋形层之间提供固化性陶瓷糊剂。可以将固化性材料直接放置在模具的图案中，随后将模具和材料放置在基板上；可以将材料放置在基板上，随后将模具压向基板上的材料；或当模具和基板通过机械或其它方法合在一起时，可以将材料引入模具和基板之间的间隙中。例如，可采用(如橡胶)辊来使柔性模具和障肋前体接合。肋前体在玻璃基板和模具的赋形表面之间展开并填充模具的槽部分。换句话讲，肋前体顺次取代槽部分中的空气。随后，肋前体被固化。肋前体优选地通过暴露于穿过透明基板和/或穿过模具的光线(如紫外线)进行辐射来固化。柔性模具被移除，同时所得的固化的肋仍然粘结在基板上。
固化性肋前体(也称为"浆料"或"糊剂")包含至少三种组分。第一种组分是可形成玻璃或陶瓷的颗粒物质(例如，粉末)。该粉末将最终通过烧制而被熔凝或烧结，从而形成微结构。第二种组分是可以通过固化、加热或冷却而成型并且随后硬化的固化性有机粘结剂。该粘结剂允许浆料成型为刚性或半刚性"生料态"微结构。该粘结剂通常在脱粘结剂和烧制过程中挥发，因此也可以称作"短效粘结剂"。第三种组分是稀释
ii剂。该稀释剂通常在粘结剂材料硬化后促进与模具的分离。作为另外一种选择或除此之外，该稀释剂可以在烧制微结构的陶瓷材料之前，在脱粘结剂的过程中促进粘结剂的快速和基本上完全的烧除。该稀释剂优选地在粘结剂硬化后保持液态，以使得该稀释剂在硬化过程中与粘结剂材料实现相
分离。肋前体的粘度优选地小于20，000cps，并且更优选地小于5， OOOcps，从而在不捕获气体的条件下均匀填满柔性模具的所有微结构化的槽部分。肋前体组合物的粘度优选地在剪切速率为0. 1/秒时为约20至600Pa-S之间，在剪切速率为100/秒时为1至20Pa-S之间。适合的陶瓷糊剂组合物是已知的，例如在已公布的美国专利申请No. 2006/0235107中有所描述。
在一些实施例中，赋形层的聚合性组合物的光引发剂与美国专利No.2006/0113713中描述的陶瓷糊剂的光引发剂不同。
本文所述的发明可利用的多种其它方面在本领域中是已知的，包括(但不限于)以下每一个专利美国专利No. 6， 247， 986; 6,537,645;6,352,763; 6,843,952， 6,306,948; 6， 761， 607; 6,821,178; PCT申请公开W0 99/60446; W0 2004/062870; WO 2004/007166; W0 03/032354; W003/032353 ; WO 2004/010452 ; W02004/064104 ; WO 2004/043664 ;W02005/042427; W02005/019934; W02005/021260;以及W02005/013308;W02005/052974 ; W02005/068148 ; W02005/097449 ;美国专利公开No.2006/0043647; 2006/0043638; 2006/0043634以及已公布的美国专利申请No. 2007/0018363 ; 2006/0231728 ; 2007/0018348 ; 2006/0235107 ;2007/0071948。
本发明通过以下非限制性实例示出。实例中采用的成分在下面的表1
中有所描述
12表1
化学名称供应商名称商标名称 縮写作用
Y-甲基丙烯酰氧基丙基三 甲氧基硅烷Nippon Unicar Co. ， Ltd.A174用于玻璃基板 的底漆
聚酯类聚氨酯丙烯酸酯Daicel-UCB Co. ， Ltd.EB 8402低聚物
双酚A二縮水甘油醚二甲基 丙烯酸酯Kyoeisya Chemical Co., Ltd.Epoxyester3000M低聚物
丙烯酸苯氧基乙基酯Osaka Organic Chemical Industry, Ltd.POA模具稀释剂
二甲基丙烯酸三甘醇酯Wako Pure Chemical Industries, Ltd.TEGDMA固化性粘结剂
1,3-丁二醇Wako Pure Chemical Industries, Ltd.1, 3-丁二醇 ("1,3-BD")糊剂稀释剂
磷酸酯3M Co.P0CAII稳定剂
2-羟基-2-甲基-1-苯基丙 烷-1-酮CIBA Specialty ChemicalDarocure 1173光引发剂
1-[4-(2-羟基乙氧基)-苯 基]-2-羟基-2_甲基-l-丙 垸-l-酮CIBA Specialty ChemicalIrgacure 2959光引发剂
硼硅酸铅玻璃粉Asahi Glass Co., Ltd.RFW-030填充剂
微结构化的柔性模具的制备
微结构化的模具由聚合性组合物制备，所述聚合性组合物包含80重量份(pbw)的Ebecryl 270丙烯酸酯改性聚氨酯低聚物、20pbw的POA和lpbw的Darocure-1173光引发剂。将聚合性组合物在环境温度下混合，并且涂覆到具有格状图案(其与最终的障肋相同)的转印模的表面上。图4示出模具的微结构化的模制表面和非模制区域的尺寸。模具的微结构化的表面有两组平行相交的槽，每组槽的肋间距为300微米、肋高度为200微米，肋顶部宽度为80微米。非模制区域(如非肋区域)的厚度为250微米。将250微米厚的聚酯膜(PET)(由Teijin Dupont制造，商品名为特普膜(Tetron Film))层合到涂覆的表面的顶部，并使用峰值波长为352nm的荧光灯(由Mitsubishi Electric Osram LTD制造)、利用3， 000mj/cm2的紫外线穿过PET进行固化。将具有固化的树脂的塑料膜与阳模工具(positive tool)分离，从而获得具有阴模图案的500微米厚的柔性透明模具。
光致固化型前体糊剂的制备
13将21. 0克Epoxyester 3000M、 9. 0克TEGDMA、 30. 0克1， 3-丁二醇、3. 0克P0CA II、 0. 3克Irgacure 819以及180克玻璃粉RFW-030在环境温度下在调节混合机AR-250 (Conditioning Mixer AR-250，由TMNKYCorporation制造)中混合至均匀。
表面粗糙度的测量
通过由KEYENCE Corp.制造的激光显微镜VK9500的20倍镜头来观察五个面积为0. 15腿X0. 15mm的样品。以0. 2微米的深度间隔测量表面粗糙度，轮廓的平均算术平均偏差(Average Arithmatic Mean Deviation)(Ra)和标准偏差按照JIS B 0601-1994进行计算。
微结构位置误差的测量
在模具上选取点，然后定位固化的障肋图案上的对应点。通过坐标测量机(由Sokkia Fine Systems Co., Ltd.制造)来测量该点到参考标记之间的距离。对模具和固化屏蔽肋图案的长尺寸(lOOOmm)和短尺寸(500mm)都进行了五次测量。计算模具上的点的实测值和固化的肋上的对应点的实测值之间的最大差值。
实例1
通过用剃刀刀片切割并移除固化的非模制区域的一些部分，从而从两个相对的非模制区域的周边移除材料。参照图4，移除部分的宽度为5mm，长度为520腿，深度为250微米。
通过以下步骤对玻璃基板涂底漆将使用IPA稀释的1%至2%的A-174溶液涂覆在表面上，并在环境条件下干燥15分钟。
将光致固化型前体糊剂涂覆到涂底漆的玻璃基板上，然后使用辊将模具层合到涂覆的玻璃上。使用峰值波长为400-500nm的荧光灯(Philips制造)，采用O. 16mW/cm2的光穿过柔性模具照射30秒，从而使固化性糊剂固化。然后分离模具，并且使固化的障肋仍然粘结在玻璃基板上。经测量，固化的障肋的最大微结构位置误差为18ppm。
实例2
参照图4，使用#180砂纸对两个单独样品的两个相对侧面上的非模制区域的一些部分进行打磨，以获得表面粗糙度Ra为17. 95微米，6 (sigma)为1.95微米。按照与实例1同样的方式使用该模具来制备障肋微结构。经
测量，固化的障肋的最大微结构位置误差为34ppm。 比较例A
按照上述方法制备模具，不同的是非模制区域不是物理改性的。按照 与实例1同样的方式使用该模具来模制障肋微结构。经测量，障肋的最大 微结构位置误差为115ppm。
权利要求
1. 一种适用于在基板上制备障肋的模具，包括适用于模制障肋的微结构化的表面，其中所述微结构化的表面包括被具有在共同平面中的表面的平面部分隔开的槽，以及在至少两个相对侧面上邻近周边平面部分的非模制区域，其中所述非模制区域包括至少一个表面改性区，所述表面改性区减小所述非模制区域的接触面积。
2. 根据权利要求1所述的模具，其中所述周边平面部分的宽度为邻近的所述槽的宽度的至少10至20倍。
3. 根据权利要求1所述的模具，其中相对于所述周边平面部分，所述 非模制区域的高度减小10%至100%。
4. 根据权利要求1所述的模具，其中所述非模制区域包括粗糙表面。
5. 根据权利要求4所述的模具，其中所述表面的粗糙度为至少约1微 米。
6. 根据权利要求1所述的模具，其中所述非模制区域包括微结构化的 表面，所述微结构化的表面具有显著小于所述障肋的微结构。
7. 根据权利要求1所述的模具，其中所述模具为透光性的。
8. 根据权利要求1所述的模具，其中所述模具为柔性的。
9. 根据权利要求1所述的模具，其中所述模具的所述微结构化的表面 包含设置在聚合物支承膜上的固化的聚合物材料。
10. —种在基板上制备障肋的方法，包括 提供模具，所述模具包括适用于模制障肋的微结构化的表面，其中所述微结构化的表面包括被具有在共同平面中的表面的平面部分隔开的槽，和在至少两个相对侧面上邻近周边平面部分的周边非模制区域，其中所述非模制区域包括至少一个表面改性区，所述表面改性区减小所述非模制区域与所述基板的接触； 在所述模具的所述微结构化的表面和所述基板之间提供肋前体材料，从而填充所述槽和所述周边非模制区域；使所述肋前体材料固化；以及移除所述模具，从而在基板上形成固化的障肋。
11. 根据权利要求10所述的方法，其中沿基本上平行于所述物理改性的 非模制区域的方向移除所述模具。
12. 根据权利要求IO所述的方法，其中所述障肋具有小于50ppm的最大位置误差。
13. 根据权利要求10所述的方法，其中所述基板为无机材料，并且所述 方法包括烧结所述基板上的所述固化的障肋。
14. 根据权利要求10所述的方法，其中所述模具、基板、或它们的组合 均为透光性的，并且穿过所述基板、穿过所述模具、或它们的组合 使所述肋前体材料光固化。
15. —种制备微结构化的模具的方法，包括提供模具，所述模具包括适用于模制障肋的微结构化的表面，其中所述微结构化的表面包括被具有在共同平面中的表面的平面部分隔开的槽，和 邻近周边平面部分的周边非模制区域， 其中所述非模制区域包括至少一个表面改性区，所述表面改性区减小所述非模制区域的接触面积；以及减小所述非模制区域的一些部分的所述接触面积。
16. 根据权利要求15所述的方法，其中所述非模制区域的所述表面通过 磨砂或减小所述非模制区域的至少一些部分的厚度来减小。
17. —种制备适用于制备障肋的微结构化的模具的方法，包括提供具有适用于模制障肋的微结构化的表面的转印模或用于制备转印模的母模，其中所述微结构化的表面包括被具有在共同平面中的表面的平面部分限定的槽，和 在至少两个相对侧面上邻近周边平面部分的周边非模制区域；将所述转印模、母模工具或它们的组合的所述非模制区域的至少一 些部分物理改性，从而减小所述非模制区域的接触面积；可任选地采用所述母模工具来制备所述转印模；以及采用所述转印模来制备微结构化的模具。
18. 根据权利要求17所述的方法，其中所述转印模有基本上与所述障肋 相同的微结构化的表面；并且所述微结构化的模具是通过以下步骤 来制备的至少在所述转印模的所述微结构化的表面的凹槽中设置聚合性树脂；将聚合物膜支承体堆叠到所述转印模上； 使所述聚合性树脂固化；以及将所述固化的聚合的树脂组合物和所述支承体一起从所述转印模上 移除。
19. 一种适用于在基板上制备微结构的模具，包括 适用于模制微结构的微结构化的表面，其中所述微结构化的表面包 括被具有在共同平面中的表面的平面部分隔开的凹槽，以及 在至少两个相对侧面上邻近平面部分的周边非模制区域，其中所述非模制区域包括至少一个表面改性区，所述表面改性区减小所述非模制区域的接触面积。
20. —种制备微结构的方法，包括 提供权利要求19所述的模具；在所述模具的所述微结构化的表面和所述基板之间提供固化性材 料，从而填充所述模具的所述凹槽；使所述固化性材料固化；以及移除所述模具，从而在基板上形成固化的微结构。
全文摘要
本发明描述了模具、制备模具的方法、以及由模具制备微结构化的(如障肋)制品的方法。所述模具包括微结构化的表面，所述微结构化的表面包括被具有在相同平面中的表面的平面部分限定的凹槽(如槽)，以及在至少两个相对侧面上邻近周边平面部分的非模制区域。所述非模制区域包括减小所述非模制区域与所述基板的接触面积的至少一个表面改性区。
文档编号H01J9/24GK101501809SQ200780029711
公开日2009年8月5日 申请日期2007年8月6日 优先权日2006年8月14日
发明者菊池宽, 阳田彰 申请人:3M创新有限公司