导电糊剂及使用该导电糊剂的电极的制作方法

专利名称：：导电糊剂及使用该导电糊剂的电极的制作方法
技术领域：
：本发明涉及一种导电糊剂及使用该导电糊剂的电极，特别是涉及一种对形成等离子显示器(以下称"PDP")用的前面基板或背面基板中所用的电极有用的导电糊剂及使用该导电糊剂所形成的电才及。
背景技术：
：通常，PDP的背面基板在由玻璃基板上通过图案化和烧成形成的寻址电极、形成在该寻址电极上的电介体层以及划分形成在该电介体层上的放电空间而形成的肋等构成。在这些构件中，制作肋时使用喷砂法和蚀刻法。喷砂法是通过隔着掩模(保护膜)从肋用玻璃层上吹附切削材料等，从而选择性切削被掩模保护的部分以外部分的方法。这种方法与蚀刻法相比处理时间长，而且存在切削材料的处理和被切削的玻璃粉的处理等问题。另一方面，蚀刻法是通过隔着掩模(保护膜)用硝酸等酸对肋用玻璃层进行蚀刻处理，从而选择性溶解除去被掩模保护的部分以外部分的方法。这种方法与喷^少法相比处理时间短，没有必要如喷砂法那样处理切削材料和处理被切削的玻璃粉。然而，形成在玻璃基板上的寻址电极由于,人对该端子部分赋予电压的结构出发而在该端子部分的表面未形成电介体层和肋，因此在使用蚀刻法形成肋时，成为露出状态。所以，在该蚀刻法中，该露出部分由于蚀刻处理的酸而受到损伤，可能引起断线等。因此，作为肋的形成方法，主要采用操作工时多、但对电极等的可靠性没有影响的喷砂法。与此相对，最近，作为即使采用通过蚀刻法形成肋的方法也能耐受的电极用糊剂，已提出使用了具有耐酸性的含铅的玻璃粉末的糊剂(参照专利文献l)。专利文献l:日本特开2007-012371号公报(权利要求书)
发明内容发明要解决的问题本发明的目的在于，l是供一种可以形成耐酸性优异的电^L的导电糊剂。用于解决问题的方案发明人等为了解决上述课题进行了深入研究，结果完成了以以下的内容作为要点构成的发明。即，本发明的PDP用导电糊剂，其特征在于，该糊剂含有有机粘合剂、平均一次粒径为0.5~1.4)im的导电粉末、玻璃粉末，所述玻璃粉末含有氧化铋、氧化锌、氧化锂和;咸性硼硅酸盐中的至少一种作为主要成分，其中，所述玻璃粉末在无机成分中的含量为O.l~0.9wt%。发明的效果通过本发明，能够提供一种可以形成耐酸性优异、密合性也优异的电极的导电糊剂。由此，提供一种适于包括酸处理工序的电极的制造方法的PDP用电极。具体实施例方式根据发明人等的研究，推测电极是通过以下的机理而受到酸的损伤的。即，推定为通过蚀刻处理形成肋时，硝酸等酸浸入到露出的电极内部，腐蚀电极和基材之间的玻璃，结果受到失去与基材的密合性的电极从基材剥离这样的损伤。尤其是，发现了导电粉末的粒径越大，导电粉末间的间隙也存在变大的趋势，浸入内部的酸的量也变多，结果是电极的损伤也变得显著。于是，作为解决这种电极的损伤的方法，发明人等着眼于使导电粉末的粒径细化，尽量减少玻璃量而增大电极内的导电粉末的密度，从而防止酸浸入电极内部。但是，导电粉末的粒径过细时，存在光刻法中分辨率劣化的缺点，此外，过度地减少玻璃粉末的量时，存在不能保证与基材的密合性等缺点。因此，发明人等发现了有效防止酸的浸入、电极图案形成时的分辨率也优异的导电粉末的粒径范围和用于维持与基材的优异密合性的玻璃粉末的最适的配合量，从而想到了本发明。以下对本发明的各组成进行说明。作为上述有机粘合剂，可以使用具有羧基的树脂，具体而言，其自身为具有烯属不饱和双键的含羧基感光性树脂和没有烯属不饱和双键的含羧基树脂中的任意一种。作为可适合使用的树脂(低聚物和聚合物都可以。)可以列举如下物质(1)通过使(甲基)丙烯酸等不饱和羧酸和(曱基)丙烯酸曱酯等具有不饱和双键的化合物共聚而得到的含羧基树脂、(2)使(甲基)丙烯酸等不饱和羧酸与(甲基)丙烯酸甲酯等具有不饱和双键的化合物的共聚物，通过(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸氯化物等加成烯属不饱和基团作为侧链，从而得到的含羧基感光性树脂、(3)使(甲基)丙烯酸缩水甘油酯等具有环氧基和不饱和双键的化合物与(甲基)丙烯酸甲酯等具有不饱和双键的化合物共聚，使该共聚物与(甲基)丙烯酸等不饱和羧酸反应，所生成的仲羟基与四氢邻苯二曱酸酐等多元酸酐反应而得到的含羧基感光性树脂、(4)使马来酸酐等具有不饱和双键的酸酐与苯乙烯等具有不饱和双键的化合物共聚，使该共聚物与(甲基)丙烯酸2-羟乙酯等具有羟基和不饱和双键的化合物反应而得到的含羧基感光性树脂、(5)使多官能团环氧化合物与(曱基)丙烯酸等不饱和单羧酸反应，所生成的仲幾基与四氢邻苯二曱酸酐等多元酸酐反应而得到的含羧基感光性树脂、(6)使(甲基)丙烯酸曱酯等具有不饱和双键的化合物和(甲基)丙烯酸缩水甘油酯的共聚物的环氧基、与l分子中具有一个羧基、且不具有烯属不饱和双键的有机酸反应，使生成的仲羟基与多元酸酐反应所得到的含羧基树脂、(7)使聚乙烯醇等含羟基的聚合物与多元酸酐反应而得到的含羧基树脂、以及(8)使聚乙烯醇等含羟基的聚合物与四氢邻苯二甲酸酐等多元酸酐反应，使所得到的含羧基树脂与(曱基)丙烯酸缩水甘油酯等具有环氧基和不饱和双键的化合物进一步反应而得到的含羧基感光性树脂等，特别是可以优选使用(1)、(2)、(3)、(6)的树脂。另外，本说明书中，(甲基)丙烯酸酯是总称丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯以及它们的混合物的术语，其它类似表达也同样。上述有机粘合剂(含羧基感光性树脂或含羧基树脂)可以单独或混合使用，在任一种情况下，优选以它们的总计为组合物总量的10~50质量份的比例混合。这些聚合物的配合量过少于上述范围的情况下，形成的皮膜中上述树脂的分布容易变得不均匀，难以得到充分的光固化性和光固化深度，难以通过选6，容易产生烧成时电极的扭曲和线宽收缩，因此不优选。此外，作为上述有机粘合剂，重均分子量分别为1000~100000、优选为5000~70000，且酸值优选为50~250mgKOH/g。并且，上述有机粘合剂为含羧基感光性树脂的情况下，适合使用其双键当量为3502000g/当量、优选为400~1500g/当量的树脂。上述树脂的重均分子量不足1000时，对显影时的皮膜的密合性造成不良影响，另一方面，超过100000时，容易产生显影不良，因此不优选。此外，酸值小于50mgKOH/g时，对碱性水溶液的溶解性不充分而容易产生显影不良，另一方面，超过250mgKOH/g时，显影时产生薄膜的密合性恶化、光固化部(曝光部)的溶解，因此不优选。进而，为含羧基感光性树脂的情况下，感光性树脂的双键当量小于350g/当量时，烧成时容易残留残渣，另一方面，超过2000g/当量时，显影时的操作容限狭窄，而且光固化时需要高曝光量，因此不优选。本发明中，作为有效防止酸的浸入、电极图案形成时的分辨率优异的导电粉末，使用平均一次粒径为0.5~1.4|im、更优选为0.5~1.2]im的导电4分末。这里，导电并分末的平均一次粒径小于0.5[im时，光的透过性恶化，电极图案形成时的分辨率变差。另一方面，导电粉末的平均一次粒径大于1.4iam时，导电粉末的致密性恶化，酸容易浸入电极内部，损伤变得显著。而且电阻值变大，因此不优选。此外，本发明中的导电粉末的平均一次粒径是指从用扫描型电子显微镜(以下称"SEM")以5000倍拍摄的导电粉末的照片中任意选出50个导电粉末，测定其长径而算出的平均值。作为这种导电粉末，可以使用为选自Ag、Al、Pt、Au、Cu、7Ni、In、Sn、Pb、Zn、Fe、Ir、Os、Rh、W、Mo、Ru所组成的组中的至少l种金属及其合金、其氧化物、进而氧化锡(Sn02)、氧化铟(ln203)、ITO(氧化铟锡)等。此外，关于导电粉末的形状，可以使用球状、片状、树枝状等各种形状，但是从光特性和分散性考虑，优选使用球状的粉末。相对于100质量份的上述有机粘合剂，导电粉末的配合量优选为50~2000质量份。上述导电粉末的配合量少于上述范围时，不能获得充分的导电性，多于上述范围时糊剂化困难，因此不优选。本发明中，为了维持与基材的优异密合性，使用在无机成分中的含量为O.l~0.9wt%、更优选为0.3~0.8wt。/。的玻璃粉末。这里，无机成分中玻璃粉末的含量少于0.1wt。/。时，不能维持烧成后与基材的密合性，另一方面，无机成分中的玻璃粉末的含量多于0.9wt。/。时，酸处理后与基材的密合性容易变差，因it匕$^f尤。作为这种玻璃粉末，优选使用以氧化铅、氧化铋、氧化锌、氧化锂或碱性硼硅酸盐为主要成分的物质。尤其是作为氧化铋，以Bi203为3090质量％、8203为5~30质量％、ZnO为1~20质量％、SiO2为0~20质量％、BaO为035质量％的组成范围构成是合适的。此外，优选玻璃粉末的玻璃软化温度为420580°C、玻璃化转变温度为360~500°C、热月彭月长系数a300为60xl(T7~110xlO力。C。关于该玻璃粉末的粒径，优选最大粒径为1.0~4.5(im、平均粒径为0.2~2.2pm。本发明的导电糊剂还可以根据需要进一步混合黑色颜料作为黑色导电糊剂使用。本发明中使用的黑色颜料，由于在PDP的电极制作工序中伴随500~600。C的高温烧成，因此必须具有高温下的色调等的稳定性，可以优选使用例如钌氧化物、钌化合物、铜-铬系黑色复合氧化物、铜-铁系黑色复合氧化物、钴系氧化物等。特别是，四氧化三钴等钴系氧化物由于导电糊剂的稳定性、成本方面极其优异，因此最适合。并且，通过使用最大粒径5pm以下的四氧化三钴均匀分散于溶剂中形成的浆料，可容易地获得没有二次聚集物的导电糊剂。关于这种黑色颜料的形状，可以使用球状、片状、枝状等各种形状，但是从光特性和分散性考虑，优选使用球状的黑色颜料。相对于100质量份的有机粘合剂，这种黑色颜料的配合量为0.1~IOO质量份、优选O.l~50质量份的范围是合适的。理由是，该黑色颜料的配合量少于上述范围时，烧成后不能获得充分的黑度，另一方面，在超过上述范围的配合量下，光的透过性恶化，并且成本增加，因此不优选。本发明的导电糊剂还可以根据需要进一步混合光聚合性单体和光聚合引发剂，以提高光固化性和显影性。作为这种光聚合性单体，可以举出例如丙烯酸2-羟乙酯、丙烯酸2-羟丙酯、二乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、聚氨酯二丙烯酸酯、三羟曱基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、三羟甲基丙烷环氧乙烷改性的三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷环氧丙烷改性的三丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯以及与上述丙烯酸酯对应的各曱基丙烯酸酯类；邻苯二曱酸、己二酸、马来酸、衣康酸、琥珀酸、偏苯三酸、对苯二甲酸等多元酸与(曱基)丙烯酸羟烷基酯的单酯、二酯、三酯或其以上的聚酯等，但并不限于特定的物质，并且它们可以单独使用或者组合两种以上使用。这些光聚合性单体中，优选l分子中有2个以上丙烯酰基或甲基丙烯酰基的多官能单体。相对于100质量份的上述有机粘合剂，这种光聚合性单体的配合量为20-100质量份是合适的。当光聚合性单体的配合量小于上述范围时，难以得到组合物的充分光固化性，另一方面，当超过上述范围而过量时，与皮膜深部相比，表面部的光固化变早，因此容易产生固化不均。作为这种光聚合引发剂的具体例子，可以举出苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻异丙基醚等苯偶姻和苯偶姻烷基醚类；苯乙酮、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2，2-二乙氧基-2-苯基苯乙酮、l，l-二氯苯乙酮等苯乙酮类；2-甲基-l-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉基-l-丙酮、2-苄基-2-二甲基氨基-l-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮、2-(二甲基氨基)-2-[(4-曱基苯基)曱基]-1-[4-(4-吗啉基)苯基]-i-丁酮等氨基苯乙酮类；2-甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌、l-氯蒽醌等蒽醌类；2,4-二甲基噻吨酮、2，4-二乙基p塞p屯酮、2-氯逸吨酮、2,4-二异丙基噻吨酮等噻吨酮类；苯乙酮二曱基缩酮(AcetophenoneDimethylKetals苯偶酰二曱基缩酮等缩酮类；二苯甲酮等二苯曱酮类；或卩占吨酮类；(2,6-二曱氧基苯曱酰基)-2,4,4-戊基氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦、2,4,6-三曱基苯甲酰基二苯基氧化膦、2,4,6-三甲基苯曱酰基苯基亚膦酸乙酯等氧化膦类；各种过氧化物类等，可以将这些公知常用的光聚合引发剂单独使用或者组合两种以上使用。相对于100质量份的上述有机粘合剂，这些光聚合引发剂的混合比例为0.3~30质量份是合适的，优选为1~20质量份。此外，上述光聚合引发剂可以组合N，N-二甲基氨基苯曱酸乙酯、N,N-二曱基氨基苯曱酸异戊酯、戊基-4-二曱基氨基苯甲酸酯、三乙胺、三乙醇胺等叔胺类光敏剂中的l种或者2种以上使用。在要求更深的光固化深度的情况下，根据需要，可以组合使用在可视区域引发自由基聚合的Irgacure784(西巴特殊品化学公司制)等二茂钛系光聚合引发剂、隐色染料等作为固化助剂。为了提高组合物的保存稳定性，本发明的导电糊剂还可以根据需要进一步混合具有与作为无机粉末成分的金属或氧化物粉末络合物化或成盐等效果的化合物作为稳定剂。作为这种稳定剂，可以举出硝酸、硫酸、盐酸等各种无机酸；曱酸、乙酸、乙酰乙酸、柠檬酸、硬脂酸、马来酸、富马酸、邻苯二甲酸、苯磺酸、氨基磺酸等各种有机酸；磷酸、亚磷酸、次磷酸、磷酸甲酯、磷酸乙酯、磷酸丁酯、磷酸苯酯、亚磷酸乙酯、亚磷酸二苯酯、酸式磷酸单(2-甲基丙烯酰氧基乙基)酯、酸式磷酸二(2-甲基丙烯酰氧基乙基)酯等各种磷酸化合物(无机磷酸、有机磷酸)等酸，可以单独使用或组合2种以上使用。相对于100质量份的无机粉末，这种稳定剂优选以O.l~10质量份的比例混合。而且，根据需要，还可以配合有机硅类、丙烯酸类等消泡、流平剂，用于提高薄膜密合性的硅烷偶联剂等其它添加剂。此外，根据需要，还可以混合公知常用的抗氧化剂，用于提高保存时的热稳定性的热阻聚剂。接着，对使用本发明的导电糊剂的电极的形成方法进行说明。在预先成膜为薄膜状的情况下，本发明的导电糊剂只要层压于基板上即可，例如用丝网印刷法、棒涂机、刮刀涂布机等适当的涂布方法涂布于基板上，接着为了获得指触干燥性，使用热风循环式干燥炉和远红外线千燥炉等，例如在约70~120°C下干燥540分钟，得到不粘手的涂膜。其后，进行选择性曝光、显影、烧成来形成规定图案的电极电路。这里，作为曝光工序，可以是使用具有规定曝光图案的负掩模的接触曝光或者是非接触曝光。作为曝光光源，可以使用囟素灯、高压汞灯、激光、金属卣化物灯、黑光灯、无电极灯等。作为曝光量优选为50~500mJ/cm2左右。作为显影工序，可以使用喷雾法、浸渍法等。作为显影液，优选使用氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸钾、硅酸钠等金属^5咸性水溶液，单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺等胺水溶液、特别适宜使用约1.5质量％以下浓度的稀碱性水溶液。这种情况下，只要糊剂中的含羧基树脂的羧基被皂化、未固化部(未曝光部)被除去即可，不受上述显影液的限定。此外，为了除去显影后不需要的显影液，优选进行水洗、酸中和。烧成工序中，在空气中或者氮气气氛下对显影后的基板进行约400~60(TC的加热处理，形成所期望的电才及。并且，此时的升温速度优选i殳定为20°C/分钟以下。实施例以下，示出实施例和比较例对本发明进行具体说明，当然，本发明并不限定于下述实施例。并且，以下的"份"只要没有特别说明，全部为质量基准。合成例有机粘合剂A的合成在具备温度计、搅拌器、滴液漏斗以及回流冷凝器的烧瓶12中，以0.87:0.13的摩尔比加入曱基丙烯酸曱酯和甲基丙烯酸，加入二丙二醇单曱醚作为溶剂、偶氮二异丁腈作为催化剂，在氮气氛围下于80。C搅拌26小时，得到树脂溶液。将该树脂溶液冷却，使用作为阻聚剂的甲基氲醌、作为催化剂的四丁基溴化膦，在95~105°C、反应16小时的条件下，4吏甲基丙烯酸缩水甘油酯以相对于上述树脂的l摩尔羧基为0.12摩尔的比例的加成摩尔比发生加成反应，冷却后取出，得到有机粘合剂A。该有机粘合剂A的重均分子量为约20000,酸值为74mgKOH/g。此外，得到的有机粘合剂A的重均分子量的测定是通过接有岛津制作所生产的泵LC-6AD和昭和电工(抹)生产的柱Shodex(注册商才示)KF-804、KF-803、KF-802三才艮4主的高岁文液相色谱仪测定的。使用这样得到的有机粘合剂A，根据表l所示的各成分和配合比例混合，用搅拌机搅拌后，用三辊辊磨机进行混炼，制备感光性导电糊剂。银粉使用平均一次粒径为0.96[im和1.48jim的银粉。此外，玻璃粉末使用由Bi2O3为50质量y。、8203为15质量％、ZnO为15质量。/。、Si02为2质量。/。、BaO为18质量％的组成范围构成的、玻璃化转变温度为444。C、玻璃软化温度为500。C、热膨胀系数(X300为85x10力°C的玻璃粉末。此外，玻璃粉末的粒径用湿式粒度测定器进行测定，银粉的粒径用SEM进行测定。组合物例使用有机粘合剂A的组合物有机粘合剂A180.0份三羟曱基丙烷三丙烯酸酯60.0份2-节基-2-二甲基氨基-l-(4-吗啉代苯基)-l-丁酮10.0份二丙二醇单曱醚20.0份13银粉(粒径记载于表l中)400.0份玻璃粉末(平均粒径(D50)=0.9jim,各配合量记载于表l中)0.04~4.04份磷酸酯3.0份消泡剂(BYK-354:BYKJapanKK.)l.O份[表l]<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>试验片的制作用200目的聚酯筛将实施例1、2和比较例1~3的感光性导电糊剂整面涂布于玻璃基板上，接下来，用热风循环式干燥炉于9(TC下干燥30分钟，形成指触干燥性良好的涂膜。接着，使用金属卣化物灯作为光源，隔着负掩模进行曝光，使得干燥涂膜上的累积光量为300mJ/cm2之后，用液温为30°C的0.5wt。/。Na2C03水溶液进行显影，水洗。然后，将形成涂膜图案的基板在空气气氛下以5。C/分钟升温至580°C,并在580°C下烧成20分钟，制作形成了电极的试验片。通过这种方法，制作密合性试验、迁移性试验、线电阻值试验中使用的各试验片。即，制作L/S(布线宽度/布线间隔)二100/300iam的条状电极用于密合性试验，制作L/S^20/120iim的梳型电极用于迁移性试验，制作长x宽^00mmx0.1mm的线状电极用于线电阻值试验。(试验方法和各评价)烧成后的密合性使用玻璃带对通过上述试验片的制作得到的14L/S^00/300^im的条状电极进行带剥离试验，利用目视进行剥离的确^人。评价基准如下。烧成后的密合性评价o:没有剥离△:有一部分电极在带剥离中被剥离耐酸试验后的密合性将通过上述试-睑片的制作得到的L/S=100/3OOjim的条状电极基板于加温至30。C的3。/。硝酸水溶液中浸渍3分钟后，用自来水进行水洗。将其充分干燥后，用玻璃带进行带剥离试验，通过目视进行电极剥离的确认。评价基准如下。耐酸试验后的密合'性评价o:没有剥离△:有一部分电极在带剥离中被剥离x:浸渍于酸中的电才及^皮剥离迁移性试验在上述试验片的制作中得到的L/S=120/120)am梳型电极上涂布UV防湿剂，使其固化，制作迁移性试验用基板。于85。C、85。/oRH的恒温恒湿槽内对该基板进行施加电压=150V、试验时间=96小时的试验。用光学显微镜观察试验后的基板，进行枝晶(Dendrite)的评价。评价基准如下。迁移性评价o:没有产生枝晶产生若干枝晶x:短路线电阻值试验以用日置电才几7>司生产的毫欧测试4义测定上述试验片的制作中得到的长x宽^00mmx0.1mm的线状电才及的数据作为线电阻值。实施例1实施例2比较例1比较例2比较例3烧结后的密合性〇〇△〇〇耐酸试验后的密合性〇〇X△X迁移试验〇〇X〇〇线电阻值(o)15.8915.7214.3614.5620.00由表2所示的结果可知，通过本发明的导电糊剂，不会使烧成后的与基材的密合性、导电特性、耐迁移特性恶化，能够提供耐酸试验后的密合'性优异的电极。权利要求1.一种等离子显示器用导电糊剂，其特征在于，该糊剂含有有机粘合剂、平均一次粒径为0.5～1.4μm的导电粉末、和玻璃粉末，所述玻璃粉末含有氧化铋、氧化锌、氧化锂和碱性硼硅酸盐中的至少一种作为主要成分，其中，所述玻璃粉末在无机成分中的含量为0.1～0.9wt％。2.根据权利要求l所述的等离子显示器用导电糊剂，其特征在于，所述导电4分末为选自Ag、Al、Pt、Au、Cu、Ni、In、Sn、Pt、Zn、Fe、Ir、Os、Rh、W、Mo、Ru及它们的合金或氧化物、以及Sn02、111203和氧化铟锡所组成的组中的至少1种。3.根据权利要求1或2所述的电极用导电糊剂，其特征在于，其为在包括酸处理工序的等离子显示器的制造方法中使用的导电糊剂。4.一种等离子显示器用电极，其使用权利要求l~3中任一项所述的导电糊剂制作而成。5.—种等离子显示器用电极，其特征在于，以99.1~99.9wty。的比例含有平均一次粒径为0.5~1.4(im的导电粉末，以0.1~0.9wt。/。的比例含有玻璃粉末。全文摘要本发明的目的在于，提供一种可以形成耐酸性优异的电极的导电糊剂及使用该导电糊剂的电极。一种等离子显示器用导电糊剂，其特征在于，该糊剂含有有机粘合剂、平均一次粒径为0.5～1.4μm的导电粉末和玻璃粉末，所述玻璃粉末含有氧化铋、氧化锌、氧化锂和碱性硼硅酸盐中的至少一种作为主要成分，其中，所述玻璃粉末在无机成分中的含量为0.1～0.9wt％。文档编号H01J9/02GK101667515SQ20091017212公开日2010年3月10日申请日期2009年9月4日优先权日2008年9月4日发明者东海裕之,兴津谕申请人:太阳油墨制造株式会社