专利名称：一种等离子显示屏的制作方法
技术领域：
本发明属于平板显示领域，尤其涉及一种等离子显示屏的制作方法。
背景技术：
近年来，随着消费者对显示器件功能需求的不断提高和科学的进步，出现了PDP (Plasma Display Panel,等离子显不屏)、LCD (Liquid C rystal Display,液晶显不屏)等新型平板显示器件，它们以其清晰度高、重量轻、耗电少、无辐射、环保性能好等优点越来越多的进入人们的社会生活领域，特别是在超大屏幕的平板显示器件中，PDP技术有绝对的优势。F1DP (结构如图1所不)由第一基板I ( 一般为玻璃基板)和第二基板2 ( —般为玻璃基板)组成，在第一基板上设置有透明电极3和总线电极4以及前介质5和覆盖在前介质5表面的保护层6，在第二基板2上设置有地址电极7和后介质8以及障壁9。PDP利用了气体放电原理，由障壁9和前介质5、后介质8组成微小的绝缘放电间，放电间填满用于等离子放电的放电气体，通过等离子放电激发涂覆在放电间上的荧光粉层10发光。现有的制作PDP的过程为步骤S1、提供第一基板1，所述第一基板上设置有透明电极3和总线电极4 ；步骤S2、在所述第一基板I上涂覆前介质，形成前介质层5 ；步骤S3、在所述前介质层5表面上涂覆保护层6 ；步骤S4、提供第二基板2，所述第二基板2上设置有地址电极7 ；步骤S5、在所述第二基板2上涂覆后介质，形成后介质层8 ；步骤S6、在所述后介质层8表面上形成障壁9，在所述障壁9和后介质层8表面涂覆荧光粉层10 ；步骤S7、将第一基板I和第二基板2对合、封排；之后，还要进行研磨、端末刻蚀、老炼、点灯、贴膜、模组装配等步骤最终得到市面上的等离子显示屏。但是，在现有技术下，时常会有等离子显示屏的电极端子导电不良的现象出现，甚至会出现电极端子不能导电、失去作用的现象。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种等离子显示屏的制作方法，具体方案如下一种等离子显示屏的制作方法，其特征在于，包括提供第一基板和第二基板，且所述第一基板上设置有透明电极和总线电极，所述第二基板上设置有地址电极；在所述第一基板上涂覆前介质层，所述前介质层完全覆盖所述透明电极和总线电极；
在所述第二基板上涂覆后介质层，所述后介质层完全覆盖所述地址电极；将所述第一基板和所述第二基板对合、封排；将覆盖在透明电极端子和总线电极端子表面的前介质层材料和覆盖在地址电极端子表面的后介质层材料去除，露出透明电极端子、总线电极端子和地址电极端子。优选的，所述将覆盖在透明电极端子和总线电极端子表面的前介质层材料和覆盖在地址电极端子表面的后介质层材料去除，具体包括在所述第一基板和第二基板上喷淋刻蚀药液，将覆盖在透明电极端子和总线电极端子表面的前介质层材料和覆盖在地址电极端子表面的后介质层材料去除。
优选的，在所述第一基板和第二基板上喷淋刻蚀药液，具体包括将所述第一基板和第二基板送入刻蚀设备腔室，且使得所述第二基板位于所述第一基板上方；开启刻蚀设备腔室内的第一药液喷嘴和第二药液喷嘴，且所述第一药液喷嘴和第二药液喷嘴分别设置在所述刻蚀设备腔室的顶部和底部；由第一药液喷嘴喷出的刻蚀药液由上至下喷淋到覆盖在透明电极端子和总线电极端子表面的前介质层上，由第二药液喷嘴喷出的刻蚀药液由下至上喷淋到覆盖在地址电极端子表面的后介质层上。优选的，所述刻蚀药液的喷淋压力为0.1MPa 0. 5MPa。优选的，所述第一药液喷嘴设置在一摇杆上。优选的，所述第一药液喷嘴喷出的刻蚀药液由上至下喷淋到覆盖在透明电极端子和总线电极端子表面的前介质层上时，设置使第一基板和第二基板静止。优选的，待覆盖在透明电极端子和总线电极端子表面的前介质层被去掉之后，使第一基板和第二基板以设定的速度通过刻蚀设备腔室；所述设定速度为1500mm/s 15000mm/s。优选的，所述刻蚀药液为硝酸。优选的，所述硝酸浓度为5. 5% 6. 5%，硝酸温度为30°C 40°C。优选的，所述透明电极、总线电极和地址电极的制作材料均为耐酸材料。由上述方案可以看出，本发明所提供的等离子显示屏的制作方法包括提供第一基板和第二基板，且所述第一基板上设置有透明电极和总线电极，所述第二基板上设置有地址电极；在所述第一基板上涂覆前介质层，所述前介质层完全覆盖所述透明电极和总线电极；在所述第二基板上涂覆后介质层，所述后介质层完全覆盖所述地址电极；将所述第一基板和所述第二基板对合、封排；将覆盖在透明电极端子和总线电极端子表面的前介质层材料和覆盖在地址电极端子表面的后介质层材料去除，露出透明电极端子、总线电极端子和地址电极端子。可见，在第一基板和第二基板对合、封排等高温工序时，透明电极端子和总线电极端子被前介质层完全覆盖，地址电极端子被后介质层完全覆盖，从而使各电极端子与外界空气隔离，避免了各电极端子在高温环境下的氧化过程，高温工序之后又会将各电极端子表面的前介质层材料、后介质层材料去除，从而露出各电极端子，使得各电极端子可以正常使用。如此，本发明提供的方法所生产的等离子显示屏的电极端子不会因氧化而出现电阻变大的现象，即避免了电极端子导电不良甚至失去导电功能的现象出现。
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是等离子显示屏的结构示意图；图2是本发明实施例的流程图；图3和图4是在刻蚀设备腔室中第一基板和第二基板的状态图。
具体实施例方式为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。正如背景技术部分所述，在现有生产等离子显示屏的技术下，时常会有等离子显示屏的电极端子导电不良的现象出现，甚至会出现电极端子不能导电、失去作用的现象。发明人研究发现，在等离子显示屏的生产过程中，透明电极端子、总线电极的端子和地址电极的端子用于等离子显示屏与外接电路的导通。涂覆前、后介质的时候只是把透明电极、总线电极和地址电极覆盖住，透明电极端子、总线电极的端子和地址电极的端子裸露在外，涂覆完前、后介质之后，两基板还要经过对合、封排等高温工序，由于工艺要求，这些工序过程中透明电极端子、总线电极端子和地址电极端子会接触到空气，因而在经过这些高温工序之后，透明电极端子、总线电极端子和地址电极端子极易被氧化，进而生产得到的等离子显示屏的透明电极端子、总线电极端子和地址电极端子的电阻变大，使得透明电极端子、总线电极端子和地址电极端子导电不良，甚至失去导电功能。基于上述研究的基础，本发明公开了一种等离子显示屏的制作方法，该方法包括提供第一基板和第二基板，且所述第一基板上设置有透明电极和总线电极，所述第二基板上设置有地址电极；在所述第一基板上涂覆前介质层，所述前介质层完全覆盖所述透明电极和总线电极；在所述第二基板上涂覆后介质层，所述后介质层完全覆盖所述地址电极；将所述第一基板和所述第二基板对合、封排；将覆盖在透明电极端子和总线电极端子上的前介质层材料和覆盖在地址电极端子表面的后介质层材料去除，露出透明电极端子、总线电极端子和地址电极端子。采用本发明所提供的等离子显示屏的制作方法时，各电极端子分别被前介质层和后介质层完全覆盖，从而与外界空气隔离，避免了电极端子在高温工序时的氧化过程，高温工序之后又会将电极端子表面的前介质层材料、后介质层材料去除，从而露出电极端子，使得电极端子可以正常使用。如此，本发明提供的方法所生产的等离子显示屏的电极端子不会因氧化而出现电阻变大的现象，即避免了电极端子导电不良甚至失去导电功能的现象出现。以上是本申请的核心思想，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。本实施例公开了一种等离子显示屏的制作方法，如图2所示，该方法包括以下步骤S1、提供第一基板和第二基板，且所述第一基板上设置有透明电极和总线电极，所 述第二基板上设置有地址电极。本实施例中所述第一基板和第二基板均为玻璃基板。在对两基板进行清洗后，可在第一基板上沿着纵向以一定的间距设置透明电极和总线电极，透明电极的形成具体包括在第一基板一侧的主面上通过CVD法形成透明电极层，然后在透明电极层表面涂覆光致刻蚀剂，形成光致刻蚀剂层，将带有一定图形的光掩模重叠在上面，经过精确对位，进行紫外线照射，在光致刻蚀剂层上形成透明电极图案，经显影后，除去透明电极图案处的光致刻蚀剂，形成透明电极图形，再以具有透明电极图形的光致刻蚀剂层为掩模，通过刻蚀工艺将透明电极图形下方的透明电极材料去掉，形成透明电极，之后再去除光致刻蚀剂层。所述透明电极图案为光致刻蚀剂层表面上的二维图案，图案区域并不向下延伸，不具有立体形状；所述透明电极图形为具有立体形状的三维图形，该图形的厚度为光致刻蚀剂层的厚度。采用如同制作透明电极的光刻方法在透明电极上形成总线电极。在第二基板上设置地址电极，具体包括采用如同制作透明电极的光刻方法在第二基板上形成地址电极。S2、在所述第一基板上涂覆前介质层，所述前介质层完全覆盖透明电极和总线电极，具体包括在具有透明电极和总线电极的第一基板表面，涂覆包含前介质层材料的涂料，所述前介质层材料完全覆盖所述透明电极和总线电极，即使所述透明电极端子和总线电极端子与空气隔绝，然后，焙烧涂覆的包含前介质层材料的涂料，形成前介质层。所述前介质层的制作材料优选为无铅玻璃材料。之后还包括在所述前介质层表面用CVD法涂覆保护层，所述保护层并不覆盖透明电极端子和总线电极端子。所述保护层的制作材料优选为氧化镁。S3、在所述第二基板上涂覆后介质层，所述后介质层完全覆盖所述地址电极。在具有地址电极的第二基板表面涂覆包含后介质层材料的涂料，所述后介质层材料完全覆盖所述地址电极，即使所述地址电极端子与空气隔绝，然后，焙烧涂覆的包含后介质层材料的涂料，形成后介质层。所述后介质层的制作材料优选为无铅玻璃材料。
之后还要在后介质层上每隔邻接的地址电极的间隙形成障壁，该障壁可以通过反复丝网印刷包含有障壁材料的涂料并进行焙烧形成，也可以采用喷砂的方法形成。形成障壁后，在障壁的壁面和两个壁面之间露出的后介质层的表面上涂覆包含有红色荧光粉、绿色荧光法和蓝色荧光粉中任何一种材料的涂料并进行干燥和焙烧，分别形成突光粉层。S4、将所述第一基板和所述第二基板对合、封排。
对合过程具体包括在第二基板表面的后介质层的周边部分涂覆密封材料，接着将第一基板和第二基板设置成保护层与障壁相对的位置，且两个基板纵向正交的重叠在一起，在该状态将两基板送入高热炉，进行焙烧，密封材料熔融，将第一基板和第二基板粘合在一起。之后对两基板进行抽真空，充入工作气体，再进行封离作业。封离过程具体包括封离装置均匀加热排气管封离部分，初步达到温度均匀效果；预热完成后，封离装置在排气管切断位置连续加热，将排气管切断位置持续加热软化，按压封离去除排气管部分，使其与大气封离，形成一个密闭空间；按压封离后，封离装置移动至排气管切断位置加热，依靠两基板间与外界的压力差，排气管头部形成圆球形状，消除内部应力。可见，在第一基板和第二基板对合、封排等高温工序时，透明电极端子和总线电极端子被前介质层完全覆盖，地址电极端子被后介质层完全覆盖，从而各电极端子与外界空气隔离，避免了各电极端子在高温环境下的氧化过程。如此，本发明提供的方法所生产的等离子显示屏的电极端子不会因氧化而出现电阻变大的现象，即避免了电极端子导电不良甚至失去导电功能的现象出现。S5、将覆盖在所述透明电极端子和总线电极端子表面的前介质层材料和覆盖在地址电极端子表面的后介质层材料去除，露出透明电极端子、总线电极端子和地址电极端子。步骤S5具体包括将对合、封排后的第一基板和第二基板送入刻蚀设备腔室，如图3和图4所示，所述第二基板12位于所述第一基板11上方。在刻蚀设备腔室内有第一药液喷嘴22和第二药液23喷嘴，所述第一药液喷嘴22和第二药液喷嘴23分别设置在所述刻蚀设备腔室的顶部和底部，并且第一药液喷嘴22设置在摇杆21上，开启刻蚀设备腔室内的第一药液喷嘴22和第二药液喷嘴23，由第一药液喷嘴22喷出的刻蚀药液由上至下喷淋到覆盖在透明电极端子和总线电极端子表面的前介质层13上，由第二药液喷嘴23喷出的刻蚀药液由下至上喷淋到覆盖在地址电极端子表面的后介质层14上。需要说明的是，本实施例所选的刻蚀药液为硝酸，所述硝酸浓度为5. 5% 6.5%，温度为30°C 40°C，所以透明电极、总线电极和地址电极的制作材料需要为耐酸材料，本实施例优选透明电极的制作材料为氧化铟锡，优选总线电极的制作材料为镉铜镉，优选地址电极的制作材料为银。在刻蚀设备腔室内部，需要对第一基板和第二基板进行定位，以便使所述第一药液喷嘴可以对准覆盖在透明电极端子和总线电极端子表面的前介质层材料，所述第一药液喷嘴随摇杆一起摆动，刻蚀药液硝酸会呈锥状由第一药液喷嘴喷射出来，在第一基板和第二基板静止的时候，刻蚀药液硝酸即可以0.1MPa-O. 5MPa的喷淋压力喷淋在覆盖在透明电极端子和总线电极端子表面的前介质层上，从而完成对覆盖在透明电极端子和总线电极端子表面的前介质层的刻蚀，将透明电极端子和总线电极端子裸露出来；之后，第一基板和第二基板会以设定好的速度通过刻蚀设备腔室，本实施例中，第一基板和第二基板通过刻蚀设备腔室的速度优选为1500mm/s 15000mm/s,在第一基板和第二基板通过刻蚀设备腔室的整个过程中，在第一基板下方都会有柱状的第二药液喷嘴将刻蚀药液硝酸以0.1MPa-O. 5MPa的喷淋压力喷淋在覆盖在地址电极端子表面的后介质层上，硝酸在喷射时呈现锥状，进而增大药液与后介质层材料的接触面积。需要说明的是，第一药液喷嘴和第二药液喷嘴可以在刻蚀设备腔室内一直处于开启状态，但是为了节约刻蚀药液的使用，可以在第一基板和第二基板定位静止之后，再开启第一药液喷嘴，待覆盖在透明电极端子和总线电极端子表面的前介质层材料刻蚀掉之后，关闭第一药液喷嘴直至下一组基板在第一药液喷嘴下定位静止，第一基板和第二基板静止的时候，第二药液喷嘴可以是关闭的，在第一基板和第二基板非静止状态时开启，以此方法可以节约刻蚀药液的使用。
之后还包括清洗步骤，即第一基板和第二基板从刻蚀设备腔室出来后，覆盖在透明电极端子、总线电极端子表面的前介质层材料和覆盖在地址电极端子表面上的后介质层材料被刻蚀掉，然后，清洗第一基板和第二基板，去除掉残留在第一基板和第二基板上的刻蚀药液。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
权利要求
1.一种等离子显示屏的制作方法，其特征在于，包括 提供第一基板和第二基板，且所述第一基板上设置有透明电极和总线电极，所述第二基板上设置有地址电极； 在所述第一基板上涂覆前介质层，所述前介质层完全覆盖所述透明电极和总线电极； 在所述第二基板上涂覆后介质层，所述后介质层完全覆盖所述地址电极； 将所述第一基板和所述第二基板对合、封排； 将覆盖在透明电极端子和总线电极端子表面的前介质层材料和覆盖在地址电极端子表面的后介质层材料去除，露出透明电极端子、总线电极端子和地址电极端子。
2.根据权利要求1所述方法，其特征在于，所述将覆盖在透明电极端子和总线电极端子表面的前介质层材料和覆盖在地址电极端子表面的后介质层材料去除，具体包括 在所述第一基板和第二基板上喷淋刻蚀药液，将覆盖在透明电极端子和总线电极端子表面的前介质层材料和覆盖在地址电极端子表面的后介质层材料去除。
3.根据权利要求2所述方法，其特征在于，在所述第一基板和第二基板上喷淋刻蚀药液，具体包括 将所述第一基板和第二基板送入刻蚀设备腔室，且使得所述第二基板位于所述第一基板上方； 开启刻蚀设备腔室内的第一药液喷嘴和第二药液喷嘴，且所述第一药液喷嘴和第二药液喷嘴分别设置在所述刻蚀设备腔室的顶部和底部； 由第一药液喷嘴喷出的刻蚀药液由上至下喷淋到覆盖在透明电极端子和总线电极端子表面的前介质层上，由第二药液喷嘴喷出的刻蚀药液由下至上喷淋到覆盖在地址电极端子表面的后介质层上。
4.根据权利要求3所述方法，其特征在于，所述刻蚀药液的喷淋压力为O.1MPa O.5MPa。
5.根据权利要求3所述方法,其特征在于,所述第一药液喷嘴设置在一摇杆上。
6.根据权利要求3所述方法，其特征在于，所述第一药液喷嘴喷出的刻蚀药液由上至下喷淋到覆盖在透明电极端子和总线电极端子表面的前介质层上时，设置使第一基板和第二基板静止。
7.根据权利要求6所述方法，其特征在于，待覆盖在透明电极端子和总线电极端子表面的前介质层被去掉之后，使第一基板和第二基板以设定的速度通过刻蚀设备腔室； 所述设定速度为1500mm/s 15000mm/s。
8.根据权利要求3所述方法，其特征在于，所述刻蚀药液为硝酸。
9.根据权利要求8所述方法，其特征在于，所述硝酸浓度为5.5% 6. 5%，硝酸温度为30°C 40°C。
10.根据权利要求1 9任一项所述方法，其特征在于，所述透明电极、总线电极和地址电极的制作材料均为耐酸材料。
全文摘要
本发明公开了一种等离子显示屏的制作方法，包括提供第一基板和第二基板，且所述第一基板上设置有透明电极和总线电极，所述第二基板上设置有地址电极；在所述第一基板上涂覆前介质层，所述前介质层完全覆盖所述透明电极和总线电极；在所述第二基板上涂覆后介质层，所述后介质层完全覆盖所述地址电极；将所述第一基板和所述第二基板对合、封排；将覆盖在透明电极端子和总线电极端子上的前介质层材料和覆盖在地址电极端子表面的后介质层材料去除，露出透明电极端子、总线电极端子和地址电极端子。本发明提供的方法避免了等离子显示屏在生产过程中电极端子的氧化，即避免了电极端子电阻变大、导电不良甚至失去导电功能的现象出现。
文档编号H01J9/02GK103000474SQ20111027518
公开日2013年3月27日 申请日期2011年9月16日 优先权日2011年9月16日
发明者邵林飞 申请人:安徽鑫昊等离子显示器件有限公司