一种等离子体循环处理装置制造方法
【专利摘要】本发明涉及一种等离子体循环处理装置，包括反应箱、循环箱、电极组件和等离子体发生器，所述反应箱上部与所述循环箱连通，所述反应箱下部与所述循环箱连通，所述循环箱顶部设置有用于排气的抽气口，所述循环箱底部和所述反应箱底部设置有用于通入反应气体的气体入口，所述反应箱壁体上设置有电极组件，所述电极组件与所述等离子体发生器电连接。本发明反应气体从气体入口中进入反应箱中带动粉尘材料向上运动，等离子体发生器驱动电极组件形成电场将反应气体电离并对粉尘材料表面处理，由于重力作用一部分粉尘材料落进循环箱中，循环箱底部的反应气体将粉尘材料吹至反应箱中循环处理，使得粉尘材料处理得更完全、更均匀，提高处理效果。
【专利说明】一种等离子体循环处理装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及等离子体处理装置，尤其涉及一种等离子体循环处理装置。
【背景技术】
[0002]低温等离子体技术作为一种新的表面改性手段，能快速、高效、无污染地改善材料的表面性能，赋予新的特征，同时又不改变材料的本体特点，已经越来越被世界各国的研究人员所重视，等离子体表面处理是利用气体放电产生的等离子体对材料表面进行物理和化学反应。参与反应的有激发态粒子、自由基和离子，也包括等离子体辐射紫外线的作用。通过表面反应有可能在表面引入特定官能团，产生表面活化和刻蚀，形成交联结构或生成表面自由基。这些作用一般不是单一的，往往某种作用为主，几种作用并存。正是这些作用决定了等离子体表面处理的有效性。
[0003]现有技术中大多对材料进行等离子处理都是一次性的，如果处理效果不好，材料就浪费了或者需要再次进行处理。
[0004]因此，亟需一种可以循环处理的等离子体处理装置。
【发明内容】
[0005]本发明的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种等离子体循环处理装置。
[0006]实现本发明目的的技术方案是:一种等离子体循环处理装置，包括反应箱、循环箱、电极组件和等离子体发生器，所述反应箱上部与所述循环箱连通，所述反应箱下部与所述循环箱连通，所述循环箱顶部设置有用于排气的抽气口，所述循环箱底部和所述反应箱底部设置有用于通入反应气体的气体入口，所述反应箱壁体上设置有电极组件，所述电极组件与所述等离子体发生器电连接。
[0007]进一步的，所述反应箱与所述循环箱下部连通处设置有用于粉体材料流通的连接件。
[0008]进一步的，所述连接件包括直管和沿所述直管一端延伸与水平面夹角A设置的折弯管。
[0009]进一步的，所述夹角A为10。?90。。
[0010]进一步的，所述等离子体发生器包括电源和与所述电源连接的匹配器，所述匹配器与所述电极组件电连接。
[0011]进一步的，还包括用于抽真空的真空泵，所述真空泵与所述抽气口连接，所述真空泵与所述抽气口之间还设置有冷却箱。
[0012]进一步的，还包括用于提供反应气体的气源，所述气源与所述气体入口连接。
[0013]进一步的，还包括用于分布反应气体的气体分布板，所述气体分布板设置于所述气体入口上方，气体分布板上设置有若干气孔。
[0014]本发明具有积极的效果:本发明反应气体从气体入口中进入反应箱中带动粉尘材料向上运动，等离子体发生器驱动电极组件形成电场将反应气体电离并对粉尘材料表面处理，由于重力作用一部分粉尘材料落进循环箱中，循环箱底部的反应气体将粉尘材料吹至反应箱中循环处理，使得粉尘材料处理得更完全、更均匀，提高处理效果。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]为了使本发明的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明，其中:
图1为本发明第一实施例的结构示意图；
图2为本发明第二实施例的结构示意图。
[0016]其中:1、气体入口，2、循环箱，3、反应箱，4、抽气口，5、冷却箱，6、真空泵，7、连接件，8、气体分布板,9、电极组件,10、匹配器,11、电源。
【具体实施方式】
[0017]实施例1
如图1所示，本发明第一实施例提供一种等离子体循环处理装置，包括反应箱3、循环箱2、电极组件9和等离子体发生器，反应箱3上部与循环箱2上部连通，反应箱3下部与循环箱2下部连通，循环箱2顶部设置有用于排气的抽气口 4，循环箱2底部和反应箱3底部设置有用于通入反应气体的气体入口 1，反应箱3壁体上设置有电极组件9，等离子体发生器包括电源11和与电源11连接的匹配器10，匹配器10与电极组件电连接。
[0018]本实施例反应气体从气体入口 I中进入反应箱3中带动粉尘材料向上运动,等离子体发生器驱动电极组件9形成电场将反应气体电离并对粉尘材料表面处理，由于重力作用一部分粉尘材料落进循环箱2中，循环箱2底部的反应气体将粉尘材料吹至反应箱3中循环处理，使得粉尘材料处理得更完全、更均匀，提高处理效果。
[0019]实施例2
如图2所示，其余与实施例1相同，不同之处在于，本实施例提供的反应箱3与循环箱
2下部连通处设置有用于粉体材料流通的连接件7，连接件7包括直管和沿直管一端延伸与水平面夹角A设置的折弯管，该夹角A为10°?90°，本实施例优选45°。该连接件7可以防止反应箱3中的粉尘直接吹至循环箱2中，也可以使得循环箱2中的粉尘材料吹至反应箱3中。
[0020]本实施例还包括用于抽真空的真空泵6和用于提供反应气体的气源(图中未示出)，气源与气体入口 I连接，真空泵6与抽气口 4连接，真空泵6与抽气口 4之间还设置有冷却箱5，冷却箱5将气体冷凝后再由真空泵6排出，实现反应气体循环使用。
[0021]本实施例还包括用于分布反应气体的气体分布板8,气体分布板8设置于气体入口 I上方，气体分布板8上设置有若干气孔，使得反应气体进入反应箱3和循环箱2更均匀。
[0022]以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种等离子体循环处理装置，其特征在于，包括反应箱、循环箱、电极组件和等离子体发生器，所述反应箱上部与所述循环箱连通，所述反应箱下部与所述循环箱连通，所述循环箱顶部设置有用于排气的抽气口，所述循环箱底部和所述反应箱底部设置有用于通入反应气体的气体入口，所述反应箱壁体上设置有电极组件，所述电极组件与所述等离子体发生器电连接。
2.根据权利要求1所述的等离子体循环处理装置，其特征在于，所述反应箱与所述循环箱下部连通处设置有用于粉体材料流通的连接件。
3.根据权利要求2所述的等离子体循环处理装置，其特征在于，所述连接件包括直管和沿所述直管一端延伸与水平面夹角A设置的折弯管。
4.根据权利要求3所述的等离子体循环处理装置，其特征在于，所述夹角A为10°?90。。
5.根据权利要求1所述的等离子体循环处理装置，其特征在于，所述等离子体发生器包括电源和与所述电源连接的匹配器，所述匹配器与所述电极组件电连接。
6.根据权利要求1-5任一所述的等离子体循环处理装置，其特征在于，还包括用于抽真空的真空泵，所述真空泵与所述抽气口连接，所述真空泵与所述抽气口之间还设置有冷却箱。
7.根据权利要求6所述的等离子体循环处理装置，其特征在于，还包括用于提供反应气体的气源，所述气源与所述气体入口连接。
8.根据权利要求7所述的等离子体循环处理装置，其特征在于，还包括用于分布反应气体的气体分布板，所述气体分布板设置于所述气体入口上方，气体分布板上设置有若干气孔。
【文档编号】H01J37/32GK103594318SQ201310607640
【公开日】2014年2月19日 申请日期:2013年11月27日 优先权日:2013年11月27日
【发明者】沈文凯, 王红卫 申请人:苏州市奥普斯等离子体科技有限公司