一种颗粒材料表面等离子体处理装置制造方法
【专利摘要】本发明涉及一种颗粒材料表面等离子体处理装置，包括外壳、电源、电极组件、震动盘和与所述震动盘连接的震动机构，所述外壳上方可拆卸设置有盖体，所述外壳壁体上设置有用于反应气体进入外壳内的气体入口和用于抽真空的抽气口，所述外壳内设置有反应腔室，所述电极组件设置于所述反应腔室内并与所述电源连接，所述震动盘设置于所述反应腔室内。本发明中电极组件通电形成高频电场将反应气体电离，颗粒材料在高频电场中进行表面处理，并且结合震动盘震动，颗粒材料在震动下翻转，可实现均匀处理，处理效果好。
【专利说明】一种颗粒材料表面等离子体处理装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及等离子体处理装置，尤其涉及一种颗粒材料表面等离子体处理装置。【背景技术】
[0002]低温等离子体技术作为一种新的表面改性手段，能快速、高效、无污染地改善材料的表面性能，赋予新的特征，同时又不改变材料的本体特点，已经越来越被世界各国的研究人员所重视，等离子体表面处理是利用气体放电产生的等离子体对材料表面进行物理和化学反应。参与反应的有激发态粒子、自由基和离子，也包括等离子体辐射紫外线的作用。通过表面反应有可能在表面引入特定官能团，产生表面活化和刻蚀，形成交联结构或生成表面自由基。这些作用一般不是单一的，往往某种作用为主，几种作用并存。正是这些作用决定了等离子体表面处理的有效性。
[0003]现有技术中，通常采用平板电极作为电极组件，材料在电极组件之间进行表面处理，待处理材料处于静止状态，在针对颗粒材料，由于颗粒材料的堆积特性，容易造成材料堆积，导致材料处理不均匀，处理效果不理想。
[0004]因此，亟需一种颗粒材料表面等离子体处理装置。
【发明内容】
[0005]本发明的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种颗粒材料表面等离子体处理
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[0006]实现本发明目的的`技术方案是:一种颗粒材料表面等离子体处理装置，包括外壳、电源、电极组件、震动盘和与所述震动盘连接的震动机构，所述外壳上方可拆卸设置有盖体，所述外壳壁体上设置有用于反应气体进入外壳内的气体入口和用于抽真空的抽气口，所述外壳内设置有反应腔室，所述电极组件设置于所述反应腔室内并与所述电源连接，所述震动盘设置于所述反应腔室内。
[0007]进一步的，所述盖体为玻璃盖体。
[0008]进一步的，所述电极组件为一对竖直设置于所述反应腔室内的平板电极，所述震动盘设置于两个平板电极之间。
[0009]本发明具有积极的效果:本发明中电极组件通电形成高频电场将反应气体电离，颗粒材料在高频电场中进行表面处理,并且结合震动盘震动,颗粒材料在震动下翻转,可实现均匀处理，处理效果好。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]为了使本发明的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明，其中:
图1为本发明结构示意图。
[0011]其中:1、震动机构，2、震动盘，3、反应腔室，4、盖体，5、电极组件，6、外壳。【具体实施方式】
[0012]实施例1
如图1所示，本发明第一实施例提供一种颗粒材料表面等离子体处理装置，包括外壳
6、电源(图中未示出)、电极组件5、震动盘2和与震动盘2连接的震动机构1，外壳6上方可拆卸设置有盖体4，外壳6壁体上设置有用于反应气体进入外壳内的气体入口和用于抽真空的抽气口，外壳6内设置有反应腔室3，电极组件5为一对竖直设置于反应腔室3内的平板电极，该对平板电极分别与电源连接，震动盘2设置于反应腔室3内并设置于两个平板电极之间。
[0013]本实施例中平板电极通电形成高频电场将反应气体电离，颗粒材料在高频电场中进行表面处理，并且结合震动盘2震动，颗粒材料在震动下翻转，可实现均匀处理，处理效果好。
[0014]实施例2
作为优选实施例，其余与实施例1相同，不同之处在于，本实施例提供的盖体4为玻璃盖体，可方便查看颗粒材料在处理过程中的工作情况。
[0015]以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种颗粒材料表面等离子体处理装置，其特征在于，包括外壳、电源、电极组件、震动盘和与所述震动盘连接的震动机构，所述外壳上方可拆卸设置有盖体，所述外壳壁体上设置有用于反应气体进入外壳内的气体入口和用于抽真空的抽气口，所述外壳内设置有反应腔室，所述电极组件设置于所述反应腔室内并与所述电源连接，所述震动盘设置于所述反应腔室内。
2.根据权利要求1所述的颗粒材料表面等离子体处理装置，其特征在于，所述盖体为玻璃盖体。
3.根据权利要求1或2所述的颗粒材料表面等离子体处理装置，其特征在于，所述电极组件为一对竖直设置于所述反应腔室内的平板电极，所述震动盘设置于两个平板电极之间。`
【文档编号】H01J37/32GK103606508SQ201310607410
【公开日】2014年2月26日 申请日期:2013年11月27日 优先权日:2013年11月27日
【发明者】沈文凯, 王红卫 申请人:苏州市奥普斯等离子体科技有限公司