一种紫外激光打孔的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种紫外激光打孔机，包括机箱和操作机构，机箱内设有电箱，机箱上端面设有Y轴导轨，该Y轴导轨上设有工作台，所述机箱上端面装有激光器、扩束镜、反射镜组和支架，扩束镜位于激光器的输出端轴线上，支架上设有X轴导轨，X轴导轨上装有滑动块，该滑动块上装接有Z轴升降机构，该Z轴升降机构上装接有扫描振镜、聚焦透镜及成像装置。本实用新型稳定性好，精度高。
【专利说明】一种紫外激光打孔机
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种紫外激光打孔机，具体地说是一种主要用于铜箔钻孔的紫外激光打孔机。
【背景技术】
[0002]激光打孔机一般包括固体激光器、电气系统、光学系统和坐标移动工作台四大部分。打孔的时候，由四大部分相互配合，首先将材料移动到光学系统区域，光学系统中的摄像头扫描到图像之后进行处理并给控制部分信号，然后通过坐标移动工作台的动作，并由激光器进行打印刷定位孔。
[0003]紫外激光打孔机:紫外激光打孔从本质上来说不是热处理，而是高能量的紫外光子直接破坏金属或非金属材料表面的分子键，使分子脱离物体，用这种〃冷〃光蚀处理技术加工出来的部件具有光滑的边缘和最低限度的炭化，这种方式不会产生高的热量，故被称为冷加工，主要采用紫外激光(波长为355nm).它可以被聚焦到亚微米数量级的点上，因此可以进行细微部件的加工，即使在不高的脉冲能量水平下，也能得到很高的能量密度，有效地进行材料加工。
【发明内容】
[0004]本实用新型要解决的技术问题是提供一种紫外激光打孔机，性能稳定，能够高精度的运行。
[0005]为了解决上述技术问题，本实用新型采取以下技术方案:
[0006]—种紫外激光打孔机,包括机箱和操作机构，机箱内设有电箱，机箱上端面设有Y轴导轨，该Y轴导轨上设有工作台，所述机箱上端面装有激光器、扩束镜、反射镜组和支架，扩束镜位于激光器的输出端轴线上，支架上设有X轴导轨，X轴导轨上装有滑动块，该滑动块上装接有Z轴升降机构，该Z轴升降机构上装接有扫描振镜、聚焦透镜及成像装置。
[0007]所述反射镜组包括第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜和第四反射镜，第一反射镜与扩束镜位于同一水平轴线上，第二反射镜装在支架上，第三反射镜和第四反射镜均装在滑动块上。
[0008]所述滑动块上装设的Z轴升降机构上还安装有激光位移传感器，该激光位移器位于聚焦透镜的侧边。
[0009]所述工作台为真空吸附式工作台。
[0010]所述滑动块上还装设有烟尘抽气器。
[0011]所述机箱下底面设有调平脚垫。
[0012]本实用新型通过对现有技术的改进，通过设置多个反射镜及X轴和Y轴机构的分尚设计，提闻整机的稳定性，运动控制更加精确，
[0013]定位精度及重复定位精度高。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]附图1为本实用新型立体结构示意图；
[0015]附图2为附图1中A处放大结构示意图；
[0016]附图3为本实用新型俯视结构示意图；
[0017]附图4为本实用新型主视结构示意图。
【具体实施方式】
[0018]为了便于本领域技术人员的理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的描述。
[0019]如附图1?4所示，本实用新型揭示了一种紫外激光打孔机，包括机箱I和操作机构2，机箱I内设有电箱，机箱I上端面设有Y轴导轨3，该Y轴导轨3上设有工作台5，所述机箱I上端面装有激光器13、扩束镜14、反射镜组和支架7，扩束镜14位于激光器13的输出端轴线上，支架7上设有X轴导轨6，X轴导轨6上装有滑动块4，该滑动块4上设有Z轴升降机构9，该Z轴升降机构上装接有扫描振镜20、聚焦透镜10及成像装置15。激光器可选择为紫外激光器。电箱内设有供电模块及各类电路器件，此为公知手段，不再赘述。工作台5通过驱动机构(如电机)可以在Y轴导轨上移动，滑动块4通过相应的电机或者气缸在X轴导轨6上移动，此为常规手段，在此不再细述。操作机构2通常包括显示面板和操作面板，操作面板上一般都会设置各种操作按键，如开关机按键、吸附按键等等，显示面板将工作情况实时的显示出来，便于操作人员进行观察。Z轴升降机构可采用螺杆及相应的电机或者气缸来驱动，Z轴升降机构带动成像装置可上下移动，便于对产品进行成像。此种Z轴升降机构还可以采取其他结构形式，如使用伺服电机+同步轮+同步带+传动轴带动上下升降。或者采用其他形式的能够实现上下传动的结构，在此不一一列举。
[0020]反射镜组包括第一反射镜81、第二反射镜82、第三反射镜83和第四反射镜84，第一反射镜与扩束镜位于同一水平轴线上，第二反射镜装在支架上，第三反射镜和第四反射镜均装在滑动块上。激光器发出的激光经过扩束镜、第一反射镜后进行90度的反射角进入到第二反射镜中，然后再经第三反射镜和第四反射镜。
[0021]在滑动块4上装设的Z轴升降机构9上还安装有激光位移传感器12，该激光位移传感器12位于聚焦透镜的侧边，可以有效侦测铜箔的厚度，保证激光焦点能准确落到铜箔上。
[0022]此外，在滑动块4上还装设有烟尘抽气器11，可以有效抽走生产过程中的烟尘气体，保证工作环境的清洁卫生。在机箱I底面上还设有调平脚垫16，通过调节调平脚垫，可以调整整机的水平度，保证水平放置。
[0023]机箱上还可以先设置一龙岗岩或其他大理石材料制成的机身，然后工作台、Y轴导轨等也都设置在该机身上，支架也可以采用龙岗岩或其他大理石材料制成。
[0024]工作时，将产品放置在工作台上，工作台可以在Y轴导轨上前后移动，移动到支架下方，激光器发出激光，经过扩束镜后扩展光束的直径及减少光束的发散角，再进入第一反射镜，经过反射后进入第二反射镜，经过第二反射镜的反射后再改变方向进入第三反射镜，经过第三反射镜的反射后进入第四反射镜，最终经过第四反射镜的反射后被成停留成像装置进行成像并显示到显示屏上。然后进入扫描振镜，经过扫描振镜的扫描后激光束进入到聚焦透镜中进行聚焦，滑动块可沿着X轴导轨左右移动，保证准确的移动到工作台产品的上方，然后射出作用在放置在工作台上的产品上，实现对产品的加工。加工完成后，工作台沿Y轴导轨返回并可取走加工好的产品。
【权利要求】
1.一种紫外激光打孔机，包括机箱(I)和操作机构(2)，机箱内设有电箱，机箱上端面设有Y轴导轨(3)，该Y轴导轨上设有工作台(5)，其特征在于，所述机箱上端面装有激光器(13),扩束镜(14)、反射镜组和支架(7)，扩束镜位于激光器的输出端轴线上，支架上设有X轴导轨(6)，X轴导轨上装有滑动块(4)，该滑动块(4)上设有Z轴升降机构(9)，该Z轴升降机构上装接有扫描振镜(20)、聚焦透镜(10)及成像装置(15)。
2.根据权利要求1所述的紫外激光打孔机，其特征在于，所述反射镜组包括第一反射镜(81)、第二反射镜(82)、第三反射镜(83)和第四反射镜(84)，第一反射镜与扩束镜位于同一水平轴线上，第二反射镜装在支架上，第三反射镜和第四反射镜均装在滑动块上。
3.根据权利要求2所述的紫外激光打孔机，其特征在于，所述滑动块上装设的Z轴升降机构(9 )上还安装有激光位移传感器(12)，该激光位移器位于聚焦透镜的侧边。
4.根据权利要求3所述的紫外激光打孔机，其特征在于，所述工作台为真空吸附式工作台。
5.根据权利要求4所述的紫外激光打孔机，其特征在于，所述滑动块上还装设有烟尘抽气器(11)。
6.根据权利要求5所述的紫外激光打孔机，其特征在于，所述机箱下底面设有调平脚垫(16)。
【文档编号】B23K26/064GK203853681SQ201320857732
【公开日】2014年10月1日 申请日期:2013年12月24日 优先权日:2013年12月24日
【发明者】徐地华, 王天辉, 陈金祥, 余廷勋, 郭萌祖 申请人:昆山市正业电子有限公司