利用多位置控制的连续激光加工方法及使用该方法的系统与流程

技术特征：
1.一种激光加工方法，包括：第一步骤：获得复数个加工对象图案中位于搜索区域内的相邻的多个图案的中间位置；第二步骤：使低速驱动器移动至所述中间位置；以及第三步骤：在所述中间位置中驱动高速驱动器，从而加工所述多个图案，其中，重复所述第一步骤至所述第三步骤，从而对所述复数个加工对象图案进行激光加工，其中，所述低速驱动器是工作台系统，且所述高速驱动器是扫描器系统。2.根据权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于，在所述第三步骤中，考虑新的下一个被加工对象图案的位置，获得新的下一个中间位置，从而使所述低速驱动器移动至所述新的下一个中间位置。3.根据权利要求2所述的激光加工方法，其特征在于，所述多个图案位于以所述低速驱动器的位置为中心的、所述高速驱动器能够加工的加工区域中。4.根据权利要求2所述的激光加工方法，其特征在于，所述中间位置定义在所述多个图案所在的搜索区域内。5.根据权利要求4所述的激光加工方法，其特征在于，所述多个图案通过按照连续的一个线性图案的区间划分而定义。6.根据权利要求5所述的激光加工方法，其特征在于，在所述线性图案的加工方向上，所述低速驱动器的位置相比所述高速驱动器的位置超前。7.根据权利要求5或6所述的激光加工方法，其特征在于，所述低速驱动器通过非加工区域朝向所述线性图案移动时，所述高速驱动器朝向所述线性图案的前端，所述低速驱动器从所述前端朝向在加工方向上超前的位置。8.一种激光加工系统，所述激光加工系统执行根据权利要求1至6中任一项所述的激光加工方法，所述系统包括：生成激光的激光器系统；装载工件的低速驱动器；高速驱动器，所述高速驱动器使来自所述激光器系统的激光集中在所述工件上，从而针对所述工件进行预定图案的激光加工；以及控制主机，所述控制主机控制所述低速驱动器和所述高速驱动器，其中，所述低速驱动器是工作台系统，且所述高速驱动器是扫描器系统。9.根据权利要求8所述的激光加工系统，其特征在于，所述低速驱动器为XY台。10.根据权利要求8所述的激光加工系统，其特征在于，所述低速驱动器为混合工作台。11.根据权利要求8所述的激光加工系统，其特征在于，所述低速驱动器为门式工作台。12.根据权利要求9至11中任一项所述的激光加工系统，其特征在于，所述多个图案通过按照连续的一个线性图案的区间划分而定义，控制所述低速驱动器和所述高速驱动器，从而执行具有下列特征的激光加工：所述低速驱动器通过非加工区域朝向所述线性图案移动时，所述高速驱动器朝向所述线性图案的前端，所述低速驱动器从所述前端朝向在加工方向上超前的位置。13.根据权利要求8所述的激光加工系统，其特征在于，所述多个图案通过按照连续的一个线性图案的区间划分而定义，控制所述低速驱动器和所述高速驱动器，从而执行具有下列特征的激光加工：所述低速驱动器通过非加工区域朝向所述线性图案移动时，所述高速驱动器朝向所述线性图案的前端，所述低速驱动器从所述前端朝向在加工方向上超前的位置。