技术总结
本发明公开了激光加工方法和使用其的激光加工系统。激光加工方法包括：第一步骤，获得复数个加工对象图案中相邻的多个图案的中间位置；第二步骤，使低速驱动器移动至所述中间位置；以及第三步骤，在所述中间位置中驱动高速驱动器，从而加工所述多个加工图案，其中，重复所述第一步骤至所述第三步骤，从而对所述复数个加工对象图案进行激光加工。
技术研发人员：李泰京;朴贤珠;金锡圭;李慧真
受保护的技术使用者：EO科技股份有限公司
文档号码：201480054087
技术研发日：2014.09.25
技术公布日：2017.08.04