1.一种激光加工装置，其对被加工物进行开孔，其中，
该激光加工装置具有：
卡盘工作台，其对被加工物进行保持；
激光光线照射构件，其照射激光光线；以及
控制部，其对该激光加工装置进行控制，
该激光光线照射构件包含：
激光光线振荡构件，其振荡出激光光线；
聚光透镜，其对从该激光光线振荡构件振荡出的激光光线进行会聚而对保持在该卡盘工作台上的被加工物进行照射；
第1光路变更构件，其配设于从该激光光线振荡构件振荡出的激光光线的行进方向下游，具有使激光光线的光路相对于该聚光透镜的光轴变更的一对第1轴共振扫描器；以及
第2光路变更构件，其配设在该第1光路变更构件与该聚光透镜之间，具有使激光光线的光路相对于该聚光透镜的光轴变更的一对第2轴共振扫描器。
2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，
该一对第1轴共振扫描器和一对第2轴共振扫描器在分别成对形成的共振扫描器中以相同相位进行激振。
3.一种通孔的形成方法，利用激光加工装置对被加工物照射激光光线而形成通孔，其中，该通孔的形成方法包含如下的工序：
从激光光线振荡构件振荡出激光光线；
将振荡出的激光光线引导到一对第1轴共振扫描器，使激光光线的光路相对于聚光透镜的光轴在第1轴方向上变更；
将通过了该一对第1轴共振扫描器的激光光线引导到一对第2轴共振扫描器，使激光光线的光路在与该第1轴垂直的第2轴方向上变更；以及
对由卡盘工作台保持的被加工物照射光路在第1轴方向和第2轴方向上变更的激光光线。
4.根据权利要求3所述的通孔的形成方法，其中，
将该第1轴共振扫描器与该第2轴共振扫描器固定为90°的相位差而进行激振，形成通孔。
5.根据权利要求3或4所述的通孔的形成方法，其中，
该一对第1轴共振扫描器和一对第2轴共振扫描器在分别成对形成的共振扫描器中以相同相位进行激振。