一种球面靶材模压微调装置的制作方法

本实用新型属于金属材料加工和微电子材料制造领域，具体涉及一种球面靶材模压微调装置。

背景技术：

目前溅射靶材在电子、信息、耐磨、耐蚀及装饰等领域的应用十分广泛。以镍铂合金靶材为代表的金属靶材的特点为材料硬度低、延展性强、厚度薄，形状尺寸变化大。一般采用模压成形的方法制备表面为球形弧度的镍铂合金靶材，模压加工后靶材表面弧度不允许存在任何偏差，但是需要数次模压的靶材一旦出现第一次模压未成形，后续需多次修改模具方能成形，影响工作效率同时大大降低了模具寿命。为解决上述问题，急需开发一种装置，对模压未成形的球面靶材进行弧度微调，使靶材形状尺寸达到设定的要求，减少模压次数和模具修改次数，提高效率节约成本。

技术实现要素：

本实用新型的目的是针对模压未成形的球面靶材需要多次模压的技术问题，提供一种球面靶材模压微调装置，

其特征在于，所述球面靶材模压微调装置，由上压块、下压块、固定工装和横梁组成，其特征在于，上压块背面装有螺纹杆，螺纹杆通过横梁上的螺孔与横梁相连，上压块和下压块均为弧面。

所述上压块与下压块的弧度相同。

用于微调球模压过量的球面靶材时，所述的上压块正面是凹形弧面，下压块正面是凸形弧面。

用于微调模压不足的球面靶材时，所述的上压块正面是凸形弧面，下压块正面是凹形弧面。

本实用新型的优点在于：

1、减少了模具修改次数，模具被车除的量少，模具几乎可无限期使用，成本大为降低；

2、避免了靶材多次重复模压，直接采用本装置一次性调整至最终尺寸，生产效率大幅提高，操作简单；

3、上压块通过螺杆的旋转向固定工装上的靶材施加压力，可以设置任意压下量，能够微调球面半径偏差小于2mm的球面靶材。

附图说明

图1为微调球模压过量的球面靶材的模压微调装置剖面示意图；

图2为微调球模压不足的球面靶材的模压微调装置剖面示意图；

图3为球面靶材模压微调装置微调模压不足的球面靶材的原理示意图；

图4为球面靶材模压微调装置微调模压过量的球面靶材的原理示意图。

具体实施方式

本实用新型提供了一种球面靶材模压微调装置，下面通过附图和具体实施方式对本实用新型做进一步说明。

图1所示为本实用新型用于微调球模压过量的球面靶材模压微调装置，由横梁1、上压块2、下压块3和固定工装4组成，上压块2背面装有螺纹杆，螺纹杆通过横梁上的螺孔与横梁1相连，其中，上压块2的正面是凸形弧面，下压块3正面是凹形弧面。

图2所示为本实用新型用于微调球模压不足的球面靶材模压微调装置，由横梁1、上压块2、下压块3和固定工装4组成，上压块)背面装有螺纹杆，螺纹杆通过横梁上的螺孔与横梁1相连，其中，上压块2的正面是凹形弧面，下压块3正面是凸形弧面。

实施例1

微调RMX12型8寸镍钒靶，该靶标准直径为290～300mm，球面半径为2250～2280mm，模压未成形的靶材未采取弧面微调时，靶面弧度大于标尺，弧面半径比标准半径小0.1～0.2mm。使用常规工艺调整，需要对模具表面进行车削，并在420℃对靶材保温15-20min，后进行热压调整，增加模具球面半径，以上步骤重复7-8次直至弧面尺寸满足要求，加工流程耗时约5小时；使用本实用新型的球面靶材模压微调装置(图1)微调靶材5弧面，耗时30分钟就能获得达到使用要求的靶材球面，图3为该实施例的原理示意图。

实施例2

微调RMX10型镍铂靶，该靶标准直径为250～260mm，球面半径为1650～1700mm。模压未成形的靶材未采取弧面微调时，靶面弧度大于标尺，弧面半径比标准半径小0.8～1.0mm。使用原工艺需要对模具表面进行车削，增大模具球面半径，然后重新压制和热处理，耗时约4小时；使用本新型的球面靶材模压微调装置(图1)微调靶材弧面，约20分钟就能获得达到使用要求的靶材球面。

实施例3

微调RMA12型8寸镍铂靶，该靶标准直径为290～300mm，球面半径为2270～2300mm，模压未成形的靶材未采取弧面微调时，靶面弧度小于标尺，弧面半径比标准半径大0.8～1.0mm。使用原工艺需要对模具表面进行车削，降低模具球面半径，然后重新压制和热处理，耗时约7小时；使用本新型球面靶材模压微调装置(图2)微调靶材5弧面，约40分钟就能获得达到使用要求的靶材球面，图4为该实施例的原理示意图。