技术总结
本发明是一种结构合理，简便易行的混合式激光束扫描装置及控制方法。本发明中设有XY轴振镜扫描系统，XY轴振镜扫描系统中设有角度驱动机构，角度驱动机构在扫描控制器的控制指令下驱动X轴振镜反射镜与Y轴振镜反射镜，工作平台侧边设有压电驱动组件，工作平台在压电驱动组件的驱动下高频振动，激光束在被加工零件表面的实际扫描轨迹由XY轴振镜扫描系统的扫描运动与工作平台的高频振动叠加而成。通过改变XY轴振镜扫描系统的运动速度与工作平台的高频振动速度的比值，可调整高频振动轨迹在被加工零件表面所形成微结构阵列的密集程度，比值越大微结构排列越稀疏，反之则越密集。
技术研发人员：俞红祥
受保护的技术使用者：浙江师范大学
文档号码：201710146821
技术研发日：2017.03.13
技术公布日：2017.06.13