技术总结
本实用新型实施例公开了一种数控超精密加工机床并联平动三维快速刀具伺服装置，用于解决传统的FTS装置加工成本高，加工效率低，不能实现多自由度的位移误差补偿，难以保证其他方向上的绝对刚度的技术问题。本实用新型实施例方法包括：X向驱动平台、Y向驱动平台、Z向驱动平台、主柔性铰链、副柔性铰链、刀具；X向驱动平台和Y向驱动平台分别通过主柔性铰链与刀具连接，Z向驱动平台通过副柔性铰链与刀具连接。
技术研发人员：黄力雄;汤晖;梁浩;张祖铖;吴异;吕树忠;韩承毅;李宏城;吴泽龙;高健;陈新;李杨民;杜雪
受保护的技术使用者：广东工业大学
文档号码：201720226337
技术研发日：2017.03.09
技术公布日：2017.10.27