用于液体引导激光切割工具的保护屏蔽件的制作方法

文档序号:33561121发布日期:2023-03-22 14:23阅读:51来源:国知局
用于液体引导激光切割工具的保护屏蔽件
1.本技术是申请号为201710124261.8,发明名称为“用于液体引导激光切割工具的保护屏蔽件”的专利申请的分案申请。
技术领域
2.本公开大体上涉及液体引导激光切割工具,且更具体而言,涉及用于液体引导激光切割工具的排放喷嘴的保护屏蔽件。


背景技术:

3.将高能激光射束与透明液体(诸如水)的聚焦射流结合的工业切割工具已应用多年。这些系统大体上包括提供激光射束的激光器和射束引导件、用于可控制地聚焦激光的光学模块、用于将激光与高压液体射流联接的联接组件、以及排放喷嘴。
4.对液体引导激光切割工具添加额外的保护特征,以保护液体射流和射束路径的完整性,以及防止对系统中的喷嘴和/或上游构件的磨损或其他损伤。这些风险是因若干因素而形成的,诸如由表面波动或振动形成的来自工件的反馈、与工件或与其相关的伸出部的意外接触、从工件吸入消融材料的颗粒、反射的激光和等离子体光、和/或偏转的液体。某些应用可启示对保护性特征的增大的需要。
5.一些系统采用喷嘴盖或帽,该喷嘴盖或帽在喷嘴附近形成空间且用作用于薄的、可替换的屏蔽件的安装件。然而,提高水射流流动的可靠性、延伸工件与排放喷嘴之间的距离(同时维持有效的切割),持续更长,容易使用,并且/或者更好地保护系统的额外改进是合乎需要的。


技术实现要素:

6.本公开的第一方面提供一种用于在液体引导激光系统中使用的屏蔽件。屏蔽件包括刚性主体,该刚性主体具有面朝目标表面。该刚性主体限定通孔,该通孔具有适应液体引导激光路径的直径。该刚性主体具有厚度,该厚度限定液体引导激光路径的穿过刚性主体的长度。刚性主体的厚度是通孔的直径的至少两倍。刚性主体在液体引导激光系统的排放喷嘴与目标之间定位在液体引导激光系统的液体引导激光路径中。
7.本公开的第二方面提供一种在液体引导激光系统中使用屏蔽件的方法。该方法包括将屏蔽件(其包括具有面朝目标表面的刚性主体)在液体引导激光系统的排放喷嘴与目标之间定位在液体引导激光系统的液体引导激光路径中。该刚性主体限定通孔,该通孔具有适应液体引导激光路径的直径。该刚性主体具有厚度,该厚度限定液体引导激光路径的穿过刚性主体的长度。刚性主体的厚度是通孔的直径的至少两倍。屏蔽件在液体引导激光系统的操作期间保护液体引导激光路径,且使来自面朝目标表面的材料偏转。
8.本公开的第三方面提供一种使用该屏蔽件的系统。该系统包括液体引导激光系统,该液体引导激光系统具有排放喷嘴,限定液体引导激光路径且能够沿所述液体引导激光路径生成液体引导激光射束。它还包括屏蔽件,该屏蔽件包括刚性主体,该刚性主体具有
面朝目标表面。该刚性主体限定通孔,该通孔具有适应液体引导激光路径的直径。该刚性主体具有厚度,该厚度限定液体引导激光路径的穿过刚性主体的长度。刚性主体的厚度是通孔的直径的至少两倍。刚性主体在液体引导激光系统的排放喷嘴与目标之间定位在液体引导激光系统的液体引导激光路径中。
9.实施方案1. 一种屏蔽件,其包括:刚性主体,其具有面朝目标表面;其中,所述刚性主体限定通孔,所述通孔具有适应液体引导激光路径的直径,且所述刚性主体具有厚度,所述厚度限定所述液体引导激光路径的穿过所述刚性主体的长度;其中,所述刚性主体的所述厚度是所述通孔的所述直径的至少两倍;且,由此,所述刚性主体在液体引导激光系统的排放喷嘴与目标之间定位在所述液体引导激光系统的所述液体引导激光路径中。
10.实施方案2. 根据实施方案1所述的屏蔽件,其特征在于,所述刚性主体由具有大于200 gpa的杨氏模量的材料组成。
11.实施方案3. 根据实施方案2所述的屏蔽件,其特征在于,所述刚性主体由从碳化钨、氮化硼、和陶瓷基质复合物中选择的材料组成。
12.实施方案4. 根据实施方案1所述的屏蔽件,其特征在于,所述刚性主体在所述液体引导激光路径附近是基本上非反射性的。
13.实施方案5. 根据实施方案4所述的屏蔽件,其特征在于,所述刚性主体在所有的表面上是基本上非反射性的。
14.实施方案6. 根据实施方案1所述的屏蔽件,其特征在于,所述刚性主体的所述厚度与所述通孔的所述直径之间的比率在2:1到10:1的范围内。
15.实施方案7. 根据实施方案1所述的屏蔽件,其特征在于,所述刚性主体是圆柱体,所述刚性主体的所述厚度是所述圆柱体的高度,且所述圆柱体的直径是所述通孔的所述直径的至少三倍。
16.实施方案8. 根据实施方案1所述的屏蔽件,其特征在于,所述屏蔽件可移除地连接于喷嘴帽,所述喷嘴帽将所述屏蔽件与所述液体引导激光系统的所述排放喷嘴分离,同时维持所述屏蔽件的相对于所述液体引导激光路径的位置。
17.实施方案9. 根据实施方案8所述的屏蔽件,其特征在于,所述屏蔽件配置在屏蔽件壳体中,且所述屏蔽件壳体连接于所述喷嘴帽。
18.实施方案10. 根据实施方案1所述的屏蔽件,其特征在于,所述通孔的所述直径大于所述液体引导激光路径中的液体引导激光射束的直径,且适应通过所述通孔在所述液体引导激光射束附近的保护气体层的通路。
19.实施方案11. 根据实施方案1所述的屏蔽件,其特征在于,所述刚性主体还限定至少一个排泄特征,所述至少一个排泄特征不是用于所述液体引导激光路径的所述通孔。
20.实施方案12. 根据实施方案1所述的屏蔽件,其特征在于,所述屏蔽件最初作为没有所述通孔的坯料定位于液体引导激光系统的所述液体引导激光路径中,且所述液体引导激光系统使用液体引导激光射束来形成所述液体引导激光路径中的所述通孔。
21.实施方案13. 一种在液体引导激光系统中使用屏蔽件的方法,所述方法包括:将包括具有面朝目标表面的刚性主体的所述屏蔽件在所述液体引导激光系统的
排放喷嘴与目标之间定位在所述液体引导激光系统的液体引导激光路径中;其中,所述刚性主体限定通孔,所述通孔具有适应液体引导激光路径的直径,且所述刚性主体具有厚度,所述厚度限定所述液体引导激光路径的穿过所述刚性主体的长度;其中,所述刚性主体的所述厚度是所述通孔的所述直径的至少两倍;且,在所述液体引导激光系统的操作期间保护所述液体引导激光路径,且使来自所述面朝目标表面的材料偏转。
22.实施方案14. 根据实施方案13所述的方法,其特征在于,定位所述刚性主体包括将所述刚性主体可移除地连接于喷嘴帽,所述喷嘴帽将所述屏蔽件与所述液体引导激光系统的所述排放喷嘴分离,同时维持所述屏蔽件的相对于所述液体引导激光路径的位置。
23.实施方案15. 根据实施方案14所述的方法,其特征在于,定位所述刚性主体还包括将所述刚性主体插入屏蔽件壳体中,其中,所述屏蔽件壳体连接于所述喷嘴帽。
24.实施方案16. 根据实施方案13所述的方法,其特征在于,所述刚性主体最初作为没有所述通孔的坯料定位在液体引导激光系统的所述液体引导激光路径中,且还包括:使用所述液体引导激光系统来生成液体引导激光射束,所述液体引导激光射束形成在所述液体引导激光路径中穿过所述刚性主体的所述通孔。
25.实施方案17. 根据实施方案16所述的方法,其特征在于,使用所述液体引导激光系统形成所述通孔包括从所述刚性主体与所述液体引导激光系统的所述排放喷嘴之间通过由所述刚性主体限定的至少一个排泄特征排泄过量流体,所述至少一个排泄特征不是用于所述液体引导激光路径的所述通孔。
26.实施方案18. 根据实施方案13所述的方法,其特征在于,所述屏蔽件是所述液体引导激光系统的磨损部分,且还包括通过从所述液体引导激光系统移除磨损的屏蔽件和利用替换屏蔽件替换所述磨损的屏蔽件的所述屏蔽件的周期性替换,其中,第一屏蔽件和第二屏蔽件定位为使得它们维持相同的液体引导激光路径。
27.实施方案19. 一种系统,其包括:液体引导激光系统,其具有排放喷嘴,限定液体引导激光路径且能够沿所述液体引导激光路径生成液体引导激光射束;以及屏蔽件,其包括具有面朝目标表面的刚性主体,其中,所述刚性主体限定通孔,所述通孔具有适应所述液体引导激光路径的直径,且所述刚性主体具有厚度,所述厚度限定所述液体引导激光路径的穿过所述刚性主体的长度,其中,所述刚性主体的所述厚度是所述通孔的所述直径的至少两倍,且由此,所述刚性主体在所述液体引导激光系统的所述排放喷嘴与目标之间定位在所述液体引导激光系统的所述液体引导激光路径中。
28.实施方案20. 根据实施方案19所述的系统,其特征在于,还包括定位在所述液体引导激光系统的所述排放喷嘴与所述屏蔽件之间的喷嘴帽,且其中,所述屏蔽件附接于所述喷嘴帽。
29.本公开的所例示的方面布置成解决本文中描述的问题和/或未论述的其他问题。
附图说明
30.本公开的这些和其他特征将从结合附图而进行的本公开的各方面的下列更详细的描述中而变得容易明白,该附图绘出本公开的各种实施例,在附图中:
图1示出带有使用屏蔽件的示例系统的截面图的示意图;图2示出了附接于系统的示例屏蔽件和壳体的特写截面图;图3示出了附接于系统的另一示例屏蔽件的特写截面图;图4示出了示例屏蔽件的透视图;图5示出了图1的示例屏蔽件的仰视图;图6示出了示例屏蔽件坯料的透视图;图7示出了图3的示例屏蔽件坯料的仰视图;图8示出了另一示例屏蔽件的透视图;图9示出了图5的示例屏蔽件的仰视图;以及图10示出了使用屏蔽件的示例方法。
31.应当注意的是,本公开的附图不按照比例绘制。附图意图仅绘出本公开的典型方面,并因此不应被认为限制本公开的范畴。在附图中,附图之间类似的标号代表类似的元件。
32.零件列表100 系统110 激光源112 激光光学模块114 侧向定位组件120 联接组件122 液体源124 排放喷嘴126 气体源130 激光射束132 激光路径140 保护气体150 喷嘴帽152 末梢表面154 射束开口160 屏蔽件162 通孔164 屏蔽件壳体166 附接组件170 目标200 部分210 激光射束212 激光路径214 射束开口216 构件218 保护气体
220 屏蔽件222 通孔224 内部表面226 面朝构件表面228 面朝目标表面230 侧向表面240 屏蔽件壳体242 侧壁244 架246 连接器270 目标300 部分310 激光射束312 激光路径314 射束开口316 构件318 附接表面320 屏蔽件322 通孔324 内部表面326 面朝构件表面328 面朝目标表面330 侧向表面340 连接器370 目标400 屏蔽件410 面朝喷嘴表面412 面朝目标表面414 侧壁表面416 直径418 高度420 通孔422 直径430 排泄特征432 排泄特征434 排泄特征600 屏蔽件坯料600 示例屏蔽件坯料610 顶表面
612 底表面614 侧向表面630 排泄特征632 排泄特征634 排泄特征800 屏蔽件810 顶表面812 底表面814 侧向表面820 通孔1000 示例方法1010 步骤1020 步骤1030 步骤1040 步骤1050 步骤1060 步骤。
具体实施方式
33.如在上面指示的,本公开提供了用于在液体引导激光切割工具中使用的保护屏蔽件(以及相关的系统和方法)。改进的保护屏蔽件可延伸在联接装置的排放喷嘴与目标工件之间的距离,从而沿液体引导激光路径放置刚性保护屏障,该屏障既保护联接装置也保护其他上游构件,且在排放喷嘴与工件之间的更长距离上保持液体引导激光射束的完整性。屏蔽件在排放喷嘴与工件之间定位在液体引导激光路径中。屏蔽件包括用于液体引导激光路径的通孔,且屏蔽件材料可为非反射性的,以使得与激光射束的干涉最小化。刚性保护屏蔽件的厚度可保护液体引导激光路径免受中断,包括反射的激光和等离子体光,且增大用于保护上游构件免受释放的材料(诸如来自工件的消融材料的颗粒和/或偏转的液体)的屏蔽件的耐久性和使用寿命。
34.图1示出示例液体引导激光切割工具系统100。激光源110联接于激光光学模块112,激光光学模块112使用光学构件以将激光聚焦成射束。激光光学模块112将激光射束引导到联接组件120中。侧向定位组件114可设在激光光学模块112与联接组件120之间,以辅助激光射束的侧向定位。联接组件120接收来自液体源122的液体(诸如水),且迫使液体进入液体射流中,可通过该液体射流引导激光射束,从而形成液体引导激光射束130。液体引导激光射束130出现在联接组件120的底部的面对目标170的排放喷嘴124,且跟随液体引导激光路径132从排放喷嘴124到目标170。联接组件120还可接收来自气体源126的保护气体140,且在液体引导激光路径132附近排放保护气体140。在一些实施例中,保护气体140的保护层沿液体引导激光路径132的主要部分包围液体引导激光射束130。
35.系统100还可包括喷嘴帽150。喷嘴帽150包围且保护液体引导激光射束130且延伸从联接组件120的排放喷嘴124到目标170的距离。喷嘴帽150还可用于在液体引导激光路径
132附近引导保护气体140。喷嘴帽150可包括末梢表面152和射束开口154,射束开口154用于允许液体引导激光射束130朝目标170行进离开喷嘴帽150。喷嘴帽150还可包括一个或更多个气体端口(未示出),以用于允许保护气体140从喷嘴帽150流动且包围液体引导激光射束130。
36.系统100还包括屏蔽件160,屏蔽件160在液体引导激光射束130接近目标170保护液体引导激光射束130,且防止射束中断和回到系统100其他构件的碎片。屏蔽件160位于液体引导激光路径132中,使得液体引导激光射束130行进穿过由屏蔽件160限定的通孔162。在示出的示例中,通孔162具有足够的大小,使得液体引导激光射束130和保护气体140的周围屏障可行进穿过屏蔽件130。在示出的示例中,屏蔽件160的位置由屏蔽件壳体164维持,屏蔽件壳体164通过附接组件166可移除地附接于喷嘴帽150的末梢表面152。在下面参照图2-9更详细地描述示例屏蔽件和用于维持相对于液体引导激光射束的屏蔽件位置的构造。
37.图2示出了液体引导激光系统(诸如图1的液体引导激光切割工具系统100)的部分200的特写图。液体引导激光射束210跟随液体引导激光路径212通过构件216(诸如喷嘴帽的顶部或联接组件的排放喷嘴)的射束开口214。在所示的示例中,保护气体218也存在于射束开口214的附近且包围液体引导激光射束210。屏蔽件220位于液体引导激光路径212中,且具有通孔222,液体引导激光射束210行进穿过该通孔222。在所示的示例中,通孔222确定大小成允许保护气体218的层在通孔222的内部表面224与液体引导激光射束210之间在液体引导激光射束210周围流动。屏蔽件220具有面朝构件表面226、面朝目标表面228、和侧向表面230。屏蔽件由屏蔽件壳体240相对于液体引导激光路径保持在合适的位置中。屏蔽件壳体240包括侧壁242,侧壁242可移除地接合于屏蔽件220的侧向表面230。侧壁242包括固持架244,固持架244辅助将屏蔽件220固持在屏蔽件壳体240中。屏蔽件壳体240还包括连接器246,连接器246将屏蔽件壳体240可移除地附接于构件216。例如,连接器246可为可移除的粘合剂或机械连接器,其与构件216的连接特征(未示出)接合。屏蔽件壳体240可适应多种屏蔽件厚度,以及提供在屏蔽件220上方用于适应保护气体218贮存器的空间。液体引导激光射束210示为使目标270的表面消融,且屏蔽件220的面朝目标表面228提供对消融的材料和反射的液体的保护屏障。
38.图3示出了利用用于定位屏蔽件320的备选构造的液体引导激光系统的部分300的特写图。液体引导激光射束310跟随液体引导激光路径312通过构件316(诸如喷嘴帽的端部或联接组件的排放喷嘴)的射束开口314。屏蔽件320位于液体引导激光路径312中,且具有由内部表面324限定的通孔322,且液体引导激光射束310行进穿过该通孔322。屏蔽件320具有面朝构件表面326、面朝目标表面328、和侧向表面330。在该构造中,屏蔽件320利用连接器340在附接表面318处直接且可移除地附接于构件316。例如,连接器340可为可移除的粘合剂或机械连接器,其与构件316的附接表面318上的连接特征(未示出)接合。在一个实施例中,连接特征(未示出)并入屏蔽件320的面朝构件表面326中,且相容的连接特征(未示出)并入构件316的附接表面318中,诸如有螺纹的或有座的连接特征。液体引导激光射束310示为消融目标370的表面,且屏蔽件320的面朝目标表面328提供对消融的材料和反射的液体的保护屏障。
39.图4和5示出了示例屏蔽件400的透视图和仰视图。屏蔽件400包括处于具有限定在其中的各种负特征的圆柱体的形状的刚性主体。屏蔽件400包括顶部或面朝喷嘴表面410和
底部或面朝目标表面412。屏蔽件400还包括侧壁表面414。在一些实施例中,侧壁表面414作用为附接表面,诸如当使用壳体来维持屏蔽件400的位置时,其中壳体周向地接合侧壁表面410。在其他实施例中,面朝喷嘴表面410或面朝目标表面412的一部分可单独地或与彼此和/或侧壁表面414结合地提供附接表面。屏蔽件400的圆柱体具有直径416和高度418。屏蔽件400的高度418还可称为屏蔽件400的厚度。在一些实施例中,屏蔽件400的高度418将为至少0.050"。
40.屏蔽件400限定通孔420。通孔420具有直径422。当使用时,通孔420位于液体引导激光系统的液体引导激光路径中。在一些实施例中,屏蔽件400定位为使得通孔420的中心与液体引导激光路径的中心对准。通孔420的直径422大于其被设计成用于的液体引导激光射束(包括激光射束和液体射流柱二者)的直径。在一些实施例中,通孔420的直径422大于液体引导激光射束的直径,使得在液体引导激光射束的所有侧上都存在有足够的空间,以允许合理的保护气体层的流,而不形成如此大的空间而使得难以固持保护气体或者通孔变得如此大以至于其在防止液体引导激光射束中断方面的效力显著降低。在一些实施例中,直径422将为至少0.020"。通过屏蔽件400的通孔420的液体引导激光路径的长度等于屏蔽件400的厚度或高度418。
41.在一些实施例中,屏蔽件400的物理尺寸是关于通孔420的直径422限定的,直径422又由屏蔽件400意图与之一同工作的液体引导激光射束的直径范围限定。屏蔽件400的厚度或高度418大体上是通孔420的直径422的至少两倍,或至少是2:1比率。在所示的示例屏蔽件中,高度418是通孔420的直径422的近似三倍,或3:1比率。在一些实施例中,可采用直到10:1比率的厚度,且甚至更大的厚度与通孔直径比率可为可能的。在一个实施例中,对于5:1比率,屏蔽件400的高度418是近似0.1",且通孔420的直径422近似0.02"。在备选实施例中,对于4:1比率,屏蔽件400的高度418是近似0.160",且通孔420的直径422是近似0.040"。注意,可优选生产具有不同通孔直径同时维持一致厚度的多个屏蔽件,从而形成厚度与通孔比率方面的变化,但它们都保持在合理范围内。
42.在一些实施例中,屏蔽件400的直径416由用于在液体引导激光路径中定位屏蔽件的附接机构限定,附接机构诸如壳体、载体、或意图适应和接合侧壁表面414的其他安装件。屏蔽件400的直径416可仍关于与通孔420的直径422的比率来表达,但其通孔具有不同直径的多个屏蔽件可具有相同屏蔽件直径,以与共同附接机构相容。这可形成通孔直径与屏蔽件直径的比率之内的变化,但它们将大体上落入通常范围内。屏蔽件直径与通孔直径的比率大体上是至少3:1。在示例屏蔽件400中,屏蔽件400的直径416与通孔420的直径422的比率是近似8:1。
43.屏蔽件400还可限定一个或更多个排泄特征430、432、434。排泄特征可大体上用于如下实施例中,在该实施例中,屏蔽件400作为屏蔽件坯料位于液体引导激光系统中,且液体引导激光射束用于产生通孔420。排泄特征的目的可为减少在其他情况下可困在屏蔽件400的顶表面410与液体引导激光系统的最接近构件之间、直到通孔420完成的流体和消融的材料。排泄特征的数量、大小、和形状可变化,而不显著地改变屏蔽件400的功能。取决于屏蔽件400是否配置在壳体中,用于连接的连接器和屏蔽件表面以及特定屏蔽件的厚度和形状可影响排泄特征的布置。
44.用于屏蔽件100的材料选择与其刚性和其他保护特征相关。在一些实施例中,屏蔽
件100的刚性主体由单件整体材料形成。屏蔽件材料可因它们的刚性和对机械磨损的耐性来选择。一些示例材料可包括碳化钨、氮化硼、和陶瓷基质复合物。屏蔽件材料可大体上选择为具有大于200 gpa的杨氏模量。在一些实施例中,具有400或更大的杨氏模量的材料可为优选的。除了材料刚度之外,具有低反射率的材料也可为合乎需要的,以减少反射且减少与液体引导激光射束的干涉。例如,碳化钨、氮化硼、和一些陶瓷基质复合物是基本上非反射性的且看起来是黑色的。反射率在通过屏蔽件400的射束路径附近可为最重要的。因此,通孔和接近通孔的顶表面和底表面附近的材料可优选地为非反射性的,而屏蔽件400的其他表面可不具有同样的要求。
45.图6和7示出示例屏蔽件坯料600,其诸如可用于制作上面的图4和5中的屏蔽件400。在所示的示例中,屏蔽件坯料600具有与屏蔽件400基本上相同的特征,包括顶表面610、底表面612、侧向表面614、和排泄特征630、632、634。然而,屏蔽件坯料600缺乏液体引导激光射束可行进穿过的通孔。通孔利用液体引导激光射束在屏蔽件坯料中制作,而非在安装在液体引导激光系统中之前在屏蔽件坯料600中加工通孔。该过程可简化通孔与液体引导激光路径的对准。
46.图8和9示出另一示例屏蔽件800,其中在安装和定位在液体引导激光系统中之前已加工了通孔820。屏蔽件800可基本上类似于以上屏蔽件400设计,包括顶表面810、底表面812、侧向表面814、和通孔820。预先钻取通孔820的优点可为消除了排泄特征。
47.图10示出了在液体引导激光系统中使用屏蔽件(诸如以上关于图1-9描述的屏蔽件和系统)的示例方法1000。在步骤1010中,屏蔽件相对于液体引导激光系统的液体引导激光路径定位,具有面对系统的其他构件的顶表面和面对目标或工件的底表面。例如,屏蔽件可在有或没有屏蔽件壳体的情况下附接于喷嘴帽或联接组件的排放喷嘴附近。在步骤1020中,评估屏蔽件,以确定其是具有通孔且预备使用,还是需要通孔的屏蔽件坯料。如果它不是屏蔽件坯料且具有预备使用的通孔,则方法前进至步骤1040。如果它是屏蔽件坯料且不具有功能通孔,则方法前进至步骤1030。在步骤1030中,在屏蔽件坯料中形成通孔,以使其为功能屏蔽件。例如,液体引导激光射束可用于沿液体引导激光射束路径消融屏蔽件材料,直到形成通孔。在具有允许液体引导激光射束从排放喷嘴到目标的不被遮断的通路的功能通孔的情况下,方法前进至步骤1040。在步骤1040中,目标按照液体引导激光系统的预期操作由液体引导激光射束消融。目标的消融导致碎片和反射的液体和干扰。在步骤1050中,屏蔽件操作以保护穿过屏蔽件的液体引导激光路径,以及保护路径、射束完整性、和沿射束路径在屏蔽件上方的其他系统构件。非期望的材料由屏蔽件的面对目标表面偏转,且液体引导激光射束、通孔的有限直径、和穿过屏蔽件厚度的相对长的路径长度的组合进一步防止材料渗透到上构件中。在步骤1060中,检查屏蔽件的磨损。如果屏蔽件被磨损超过期望状态,则磨损的屏蔽件可在步骤1070中移除且通过返回至步骤1010来替换。否则,液体引导激光系统的操作可通过返回至步骤1040而继续。
48.以上附图示出了根据本公开的若干实施例的相关操作过程中的一些。应注意到的是,在一些备选实施方式中,所描述的动作可不按所描述的顺序发生,或者实际上可基本上同时地执行或以相反的顺序执行,这取决于所涉及的动作。
49.本文中使用的用语仅用于描述特定实施例,且不意图限制本公开。如在本文中使用的,单数形式“一”、“一个”和“该”意图也包括复数形式,除非在上下文中另外清楚地指
出。还应理解的是,当在本说明书中使用时,用语“包括”和/或“包括

的”规定所叙述的特征、整体、步骤、操作、元件、和/或构件的存在,但不排除一个或更多个其他特征、整体、步骤、操作、元件、构件、和/或它们的组的存在或添加。
50.所附权利要求中的所有方式或步骤加功能元件的相应结构、材料、动作和等同物意图包括如所具体要求保护的用于与其他要求保护的元件结合地执行该功能的任意结构、材料、或动作。已出于例示和描述的目的提出了本公开的描述,但其不意图为详尽的,或是限于处于所公开形式的公开内容。很多更改和变更将对本领域技术人员而言是显而易见的,而不脱离本公开的范围和精神。实施例被选择和描述为以便最好地解释本公开的原理和其实际应用,且因此使其他本领域技术人员能够理解具有适于所构想的特定用途的各种修改的各种实施例的公开内容。
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