专利名称：化学汽相沉积前质体的汽化器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及化学汽相沉积前质体的汽化器，尤其是用于浮法玻璃在线化学汽相沉积工艺中的前质体的汽化器。
背景技术：
在浮法玻璃生产线上利用化学汽相沉积工艺可在玻璃基片上镀多种金属和非金属及其氧化物、氮化物和碳化物薄膜，如a-Si、SiO2、SiC、Ti、TiO2、TiN3Cr2O3、Al2O3、SnO2等。在玻璃上沉积一定厚度的SnO2-F或SnO2-Sb膜可制备红外线反射和吸收的保温隔热玻璃，沉积以TiO2为主体的薄膜可制备具有自洁功能的玻璃。薄膜的性质取决于前质体的成分及环境的气氛。向化学汽相沉积装置提供成分稳定、均一的反应混合汽体是制备高质量功能膜玻璃的前提，因而，反应物前质体的汽化器对于化学汽相沉积工艺显得尤为重要。
现已知道可用于玻璃涂层的前质体在常温下只有少数是气体，大多数是液体和固体。这些液体和固体需通过汽化器在一定的温度和压力下汽化后再输送至化学汽相沉积装置。目前大多数是采用鼓泡器做为化学汽相沉积前质体的汽化器，也有采用热管或热壁式的汽化器的。
鼓泡器是一种将准备汽化的液体置于一定温度(低于沸点)的容器内，通入定量的、一定温度的载气，在气液接触过程中，载气携带出接近饱和的液体蒸汽的一种汽化装置。对于单一组分的液体汽化，这是一种有效的汽化装置。但对于相溶的多组分液体，由于各组分的蒸汽压不同，在同一温度下的汽化率是不同的。因而，多组分混合液体采用鼓泡器汽化会造成液相与汽相成分不一的问题。此外，某些前质体长时间在较高的温度下接触含氧的载气，有缓慢分解的倾向，使前质体变质。并且，鼓泡器的汽化效率较低，不适于大流量前质体的汽化。热管式和热壁式汽化器同样存在上述问题。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种高效、大流量，适于单组分和多组分混合液体汽化的化学汽相沉积前质体的汽化器。
本实用新型的化学汽相沉积前质体的汽化器包括上部为圆筒型，下部为倒圆锥型的壳体、前质体储槽、加热器、载气瓶、流量计、载气加热器、壳体的外壁有分区控制的加热保温层，壳体上部设有液体输入口和载气输入口，壳体内自上而下依次有雾化区、汽化区、缓冲区，雾化区内安装有雾化器，汽化区具有垂直于壳体纵轴安装的若干交叉隔板，形成S型通道，前质体储槽经加热器与雾化器连通，载气瓶的载气经流量计、载气加热器输入壳体，壳体底部有汽体出口，它与化学汽相沉积装置相连通，在汽化区和靠近汽体出口处分别设有控温热电偶。
工作时，前质体储槽内的混合液体经计量后通过加热器加热至设定温度后注入雾化器，经雾化器将液体雾化成5～30μm的液滴。载气瓶中的载气经流量计计量和载气加热器加热至设定温度后注入汽化器内并在雾化区形成气旋。设在汽化器外壁的分区控制的加热保温层，向雾化区提供热能，以加速雾滴的汽化。流体经雾化区、汽化区、缓冲区至出口，送入化学汽相沉积装置，出口区的温度高于汽化区10～15℃。汽化区隔板一方面延长流体的路径，另一方面它又是散热器，使残留的雾滴完全汽化。
本实用新型的化学汽相沉积前质体的汽化器对经加热的混合液体，利用雾化器高速雾化，具有强制汽化的作用和特点，避免了多组分混合液体中各组分不能同步汽化的问题。液体经加热器短时间加热并一次通过，避免了鼓泡器长时间重复加热使前质体变质的弊病。液体经加热至设定温度后再注入汽化器也减轻了汽化器的热负荷，因此大大提高了汽化器的工作效率。能用于大流量(≥1000g/min)前质体的汽化。
附图是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
参照附图，发明的化学汽相沉积前质体的汽化器包括上部为圆筒型，下部为倒圆锥型的壳体11、前质体储槽7、加热器6、载气瓶1、流量计2、载气加热器3、壳体11的外壁有分区控制的加热保温层12，可采用电或油加热，壳体上部设有液体输入口和载气输入口，一般设2～4个载气输入口，分别供氮气、氩气、空气等不同气体输入，为使输入气体形成气旋，通常，使载气输入口与壳体内壁成切线方向。壳体内自上而下依次有雾化区8、汽化区9、缓冲区13，雾化区内安装有雾化器5，汽化区9具有垂直于壳体纵轴安装的若干交叉隔板10，形成S型通道，前质体储槽7的输出管道经加热器6从液体输入口进入壳体，与雾化器5连通，载气瓶的载气经流量计2、载气加热器3输入壳体11，壳体底部有汽体出口15，它与化学汽相沉积装置16相连通，在汽化区和靠近汽体出口处分别设有控温热电偶4、14。
权利要求1.化学汽相沉积前质体的汽化器，其特征是它包括上部为圆筒型，下部为倒圆锥型的壳体[11]、前质体储槽[7]、加热器[6]、载气瓶[1]、流量计[2]、载气加热器[3]、壳体[11]的外壁有分区控制的加热保温层[12]，壳体上部设有液体输入口和载气输入口，壳体内自上而下依次有雾化区[8]、汽化区[9]、缓冲区[13]，雾化区内安装有雾化器[5]，汽化区[9]具有垂直于壳体纵轴安装的若干交叉隔板[10]，形成S型通道，前质体储槽[7]经加热器[6]与雾化器[5]连通，载气瓶的载气经流量计[2]、载气加热器[3]输入壳体[11]，壳体底部有汽体出口[15]，它与化学汽相沉积装置[16]相连通，在汽化区和靠近汽体出口处分别设有控温热电偶[4]、[14]。
2.按权利要求1所述的汽化器，其特征是载气输入口与壳体[11]内壁成切线方向。
3.按权利要求1所述的汽化器，其特征是所说的加热保温层[12]采用电或油加热。
专利摘要本实用新型的化学汽相沉积前质体的汽化器包括上部为圆筒型，下部为倒圆锥型的壳体、前质体储槽、加热器、载气瓶、流量计、载气加热器、壳体的外壁有分区控制的加热保温层，壳体上部设有液体输入口和载气输入口，壳体内自上而下依次有雾化区、汽化区、缓冲区，雾化区内安装有雾化器，汽化区具有垂直于壳体纵轴安装的若干交叉隔板，形成S型通道，前质体储槽经加热器与雾化器连通，载气瓶的载气经流量计、载气加热器输入壳体，壳体底部有汽体出口，它与化学汽相沉积装置相连通，在汽化区和靠近汽体出口处分别设有控温热电偶。该汽化器具有效率高、保护液体品质，汽液成分一致的特点，适于浮法玻璃生产线上玻璃涂层的大流量、单组分和多组分前质体的汽化。
文档编号C23C16/448GK2539749SQ0221555
公开日2003年3月12日 申请日期2002年2月1日 优先权日2002年2月1日
发明者陈华, 韩高荣, 翁文剑, 杜丕一, 赵年伟 申请人:浙江大学蓝星新材料技术有限公司