专利名称：镀膜修正板的制作方法
技术领域：
本发明涉及镀膜装置，尤其涉及一种镀膜修正板。
背景技术：
由于利用薄膜制程技术所生产的半导体产品和精密机械产品具有较高的品质及较好的性能，因此，薄膜制程技术被广泛应用于半导体工业及精密机械，并获得了迅速的发展。
一般地，镀膜方法主要包括离子镀膜法、射频磁控溅镀、真空蒸发法、化学气相沉积法等。Ichiki， M.等人在2003年5月发表于2003 Symposium on Design, Test, Integrationand Packaging of MEMS/MOEMS的论文Thin film formation-a fabrication on non-planarsurface by spray coating method中介绍了通过喷涂在非平面形成薄膜的方法。
对待镀膜产品的镀膜过程可通过镀膜机实现。镀膜仓是镀膜机中对待镀膜产品进行镀膜的最重要机构。镀膜仓包括支撑架、电子枪及修正板。所述支撑架用于承载多个待镀膜产品。所述电子枪用于发射电子束。所述修正板安装于支撑架，用于调整待镀膜产品的镀膜厚度以及镀膜区域，其对于不同的待镀膜产品和镀膜条件具有不同的形状和结构。现有技术中，由于修正板具有固定的形状和结构，因此， 一旦改变了镀膜仓中的待镀膜产品，就需要另行制造、安装修正板，如此不但提高了生产成本，而且降低了生产效率，不利于工业生产的进行。
因此，有必要提供一种可根据待镀膜产品及镀膜条件调整形状的镀膜修正板。
发明内容
以下将以实施例说明 一种可调整形状的镀膜修正板。
一种镀膜修正板，包括至少一个修正片，所述修正片至少包括第一挡片及第二挡片，所述第一挡片和第二挡片的形状、尺寸相配合，所述第一挡片具有滑槽，用于使第二挡片设于滑槽中相对于第一挡片滑动，从而改变镀膜修正板的形状。
本技术方案的镀膜修正板包括可以相互滑动的第一挡片和第二挡片，可以根据待镀物品的镀膜要求使得第一挡片和第二挡片相互滑动从而调整、改变镀膜修正板的形状和对待镀物品的遮挡面积，因此，本技术方案的镀膜修正板可在不同待镀物品的不同镀膜要求下使用。
图l是本技术方案第一实施例提供的镀膜修正板的分解图。
4图2是本技术方案第一实施例提供的镀膜修正板具有较小遮蔽面积时的示意图。图3是本技术方案第一实施例提供的镀膜修正板具有较大遮蔽面积时的示意图。图4是本技术方案第一实施例提供的镀膜修正板设置了止滑件的示意图。图5是本技术方案第二实施例提供的镀膜修正板的分解图。
图6是本技术方案第二实施例提供的镀膜修正板具有较小遮蔽面积时的示意图。图7是本技术方案第二实施例提供的镀膜修正板具有较大遮蔽面积时的示意图。图8是本技术方案第二实施例提供的修正片与固定件之间具有一定安装角度的示意图。
具体实施例方式
下面将结合附图及实施例，对本技术方案提供的镀膜修正板作进一步的详细说明。请参阅图l，本技术方案第一实施例提供的镀膜修正板10包括一个修正片100，所述修正片100包括第一挡片110及第二挡片120。所述第一挡片110和第二挡片120可相互滑动，从而改变镀膜修正板10的形状。
所述第一挡片110及第二挡片120的形状、尺寸相互配合。第一挡片110和第二挡片120可以为方形、椭圆形、扇叶形或其他不规则形状。本实施例中，第一挡片110为沿轴线AA'左右对称的扇叶形片体，其具有第一侧边1101、第二侧边1102、第三侧边1103及第四侧边1104。第一侧边1101和第二侧边1102平行相对，均为直线形边。第三侧边1103和第四侧边1104相对，均为向外凸出的曲线形边。所述第二挡片120的形状与第一挡片110沿轴线AA'分割而成的一半的形状相近。第二挡片120包括与第一侧边1101对应的第五侧边1201、与第二侧边1102对应的第六侧边1202、与中心轴AA'平行的第七侧边1203以及与第四侧边1104对应的第八侧边1204。并且，第五侧边1201的长度小于第一侧边1101的长度，第六侧边1202的长度小于第二侧边1102的长度，第七侧边1203的长度应当与第一侧边1101和第二侧边1102之间的距离相近。
所述第一挡片110和第二挡片120通过设置于第一挡片110的两个滑槽1110实现相互滑动。具体地，第一侧边1101、第二侧边1102分别在第一挡片110的同一侧向外延伸有与第一挡片lIO垂直的第一挡板I 11 ，第一挡板l 11向靠近第一挡片lIO—侧延伸有与第一挡板I 1 l垂直的第二挡板112。从而，第一挡板lll、第二挡板112与第一挡片110构成了U形滑槽1110。 U形滑槽1110的宽度即第二挡板112与第一挡片110之间的距离大于第二挡片120的厚度，以使得第二挡片120可滑入滑槽1110。
由于第二挡片120的形状、尺寸均与第一挡片110相配合，从而，第二挡片120的第五侧边1201和第六侧边1202可分别收容于两个滑槽1110内，并相对于第一挡片110滑动。当第二挡片120滑动至靠近轴线AA'时，第二挡片120与第一挡片110的部分重叠，修正片100的形状 与第一挡片110的形状大致相同，镀膜修正板10的面积较小，从而对待镀物品具有较小的遮 蔽面积，如图2所示；当第二挡片120滑动至远离轴线AA'时，第二挡片120与第一挡片110的 重叠面积较小，从而使得修正片100具有较大面积，对待镀物品也具有较大的遮蔽面积，如 图3所示。
所述第一挡片IIO、第二挡片120之间的滑动配合可以为过盈配合、过渡配合或间隙配合 。当第一挡片IIO、第二挡片120之间的滑动配合为过盈配合或过渡配合，第一挡片110和第 二挡片120之间具有较大的阻力，不能自由滑动而需要在较大外力作用下才能滑动；当第一 挡片IIO、第二挡片120之间的滑动配合为间隙配合时，第一挡片110和第二挡片120之间可以 自由滑动，为避免第一挡片110和第二挡片120之间的过度滑动，可于第一挡片110或第二挡 片120上设置止滑件，如图4所示。
本实施例中，所述止滑件可以为设置于第八侧边1204的第三挡板121，所述第三挡板 121与第二挡片120垂直，并沿远离第二挡片120的至少一个表面的方向延伸。从而，当第二 挡片120相对于第一挡片110向靠近轴线AA'方向滑动时，第三挡板121可阻止第二挡片120过 度滑入滑槽1110内。优选的，为具有更好的止滑性能，所述第三挡板121在垂直于第二挡片 120方向上的宽度与第二挡片120厚度的加和大于滑槽1110的宽度，g卩，大于第二挡板112与 第一挡片110之间的距离。当然，所述第三挡板121也可以仅设置于部分的第八侧边1204，例 如仅设置于第八侧边1204与第二挡片112相对的位置，所述第三挡板121还可以设置于第二挡 片120的其他部位。
所述止滑件还可以为设置于第二挡片120的两个第一突起122和设置于第一挡片110的两 个第二突起113。所述第一突起122可分别设置于第五侧边1201与第七侧边1203相交的端点区 域以及第六侧边1202与第七侧边1203相交的端点区域。所述第一突起122向第二挡板112方向 延伸。所述第二突起113可分别设置于两个第二挡板112靠近第四侧边1104的区域，其向第一 挡片110方向延伸。所述第一突起122、第二突起113的高度的加和应当大于滑槽1110的宽度 与第二挡片120的厚度的减值，从而，当第二挡片120相对于第一挡片110向远离轴线AA'方 向滑动时，第一突起122和第二突起113卡合而阻止第二挡片120自滑槽1110滑脱。当然，所 述第一突起122、第二突起113完全可以为其它形状，设置于其它位置，仅需其可阻止第二挡 片120自第一挡片110的滑槽1110滑出即可。
当然，所述止滑件还可以为其它形状、结构，设置于其它位置，仅需其可阻止第一挡片 11 O和第二挡片120之间的过度滑动即可。安装所述修正片100时，可先将第一突起122、第二突起113分别设置于第一挡片110和第 二挡片120，再将第二挡片120的第八侧边1204靠近第一挡片110的第三侧边1103，并将第二 挡片120的第五侧边1201、第六侧边1202分别收容入两个滑槽1110，直至第二挡片120的第八 侧边1204滑出滑槽1110后，再将第三挡板121设置于第八侧边1204。当然，也可以先设置第 三挡板121和第二突起113，再设置第一突起122;另外也可以为其它方法。
另外，所述镀膜修正板10还可以包括另一第二挡片120， g卩，镀膜修正板10由一个具有 滑槽1110的第一挡片110以及两个相对设于滑槽1110中的第二挡片120构成，两个第二挡片 120的相对滑动可以使得镀膜修正板l O具有更大的形状变化范围。
所述镀膜修正板10可通过螺栓、螺钉、焊接、粘胶或其他方式固定于镀膜机的支撑架上 ，从而调整待镀膜产品的镀膜厚度和镀膜区域。
本技术方案的镀膜修正板10可以根据待镀物品的镀膜要求使得第一挡片110和第二挡片 120相互滑动从而改变镀膜修正板10的形状和对待镀物品的遮挡面积，从而可在多种待镀物 品的不同镀膜要求下使用。并且，由于镀膜修正板10设置了止滑件可避免第二挡片120过度 滑入滑槽1110或从滑槽1110滑出，因此，本技术方案的镀膜修正板10具有较好的滑动性能。
请参阅图5，本技术方案第二实施例提供的镀膜修正板20包括一个杆状的固定件21以及 四个固定于固定件21的修正片200。其中，两个修正片200固定于固定件21的一侧，且相对于 与固定件21长度方向垂直的中线BB'对称分布。另两个修正片200固定于固定件21的另一侧 ，也相对于中线BB'对称分布。
每一修正片200均包括第一挡片210、第二挡片220及第三挡片230。所述第一挡片210、 第二挡片220及第三挡片230可相互滑动，从而改变每一修正片200的形状。四个修正片200相 互配合，即可进一步改变镀膜修正板20的形状和对待镀物品的遮蔽面积。
本实施例中，所述第一挡片210为一中空片体，其具有一内部空腔以作为第一滑槽2100 。所述第一滑槽2100的尺寸与第二挡片220的尺寸相配合，以使第二挡片220可恰好滑入第一 滑槽2100。所述第二挡片220也为一中空片体，也具有一内部空腔以作为第二滑槽2200，所 述第二滑槽2200的尺寸与第三挡片230的尺寸相配合，以使得第三挡片230可恰好滑入第二滑 槽2200内。
从而，当第三挡片230滑入第二滑槽2200、第二挡片220滑入第一滑槽2100时，修正片 200的形状与第一挡片210的形状大致相同，镀膜修正板20的面积较小，对待镀物品也具有较 小的遮蔽面积，如图6所示。当第三挡片230大部分从第二滑槽2200滑出、第二挡片220大部 分从第一滑槽2100滑出时，镀膜修正板20的面积较大，对待镀物品也具有较大的遮蔽面积，如图7所示。
当然，所述第一挡片210、第二挡片220及第三挡片230上可以设置一个或多个止滑件， 以阻止第一挡片210、第二挡片220及第三挡片230之间的过度滑动。
优选的，所述第一挡片210在靠近固定件21—侧向外延伸出一垂直于第一挡片210的固定 板211，用于将第一挡片210固定安装于固定件21。所述固定板211可以螺栓、螺钉、粘胶、 焊接或其他方式固定安装于固定件21。优选的，所述固定板211可通过螺栓212安装于固定件 21，不但便于安装拆卸，而且可以方便调整镀膜修正板200与固定件21长度方向之间的安装 角度，以进一步改变镀膜修正板20的形状，如图8所示。
另外，每一修正片200除可包括第一挡板210、第二挡板220及第三挡板230外，还可包括 更多个挡板，仅需多个挡板之间可相互滑动从而改变修正板200的形状即可。并且，镀膜修 正板20的固定件21上除可固定如本实施例所示的四个修正片200外，还可固定二个、六个或 更多个修正片，仅需使得多个修正片组合而成的形状符合待镀膜产品的镀膜要求即可。
本技术方案的镀膜修正板包括可以相互滑动的第一挡片和第二挡片，可以根据待镀物品 的镀膜要求使得第一挡片和第二挡片相互滑动从而改变镀膜修正板的形状和对待镀物品的遮 挡面积，因此，本技术方案的镀膜修正板可在多种待镀物品的不同镀膜要求下使用。
可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做出其它 各种相应的改变与变形，而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
权利要求
权利要求1一种镀膜修正板，其特征在于，其包括至少一个修正片，所述修正片至少包括第一挡片及第二挡片，所述第一挡片和第二挡片的形状、尺寸相配合，所述第一挡片具有滑槽，用于使第二挡片设于所述滑槽中相对于第一挡片滑动，从而改变镀膜修正板的形状。
2.如权利要求l所述的镀膜修正板，其特征在于，所述第一挡片为中空片体，具有一内部空腔以作为滑槽。
3.如权利要求l所述的镀膜修正板，其特征在于，所述第一挡片具有相对的第一侧边和第二侧边，所述第一侧边和第二侧边在第一挡片的同一侧向外延伸有与第一挡片垂直的第一挡板，所述第一挡板向靠近第一挡片的一侧延伸有与第一挡板垂直的第二挡板，所述第一挡板、第二挡板与第一挡片构成U形滑槽。
4.如权利要求l所述的镀膜修正板，其特征在于，所述第一挡片和第二挡片之间的滑动配合为过盈配合或过渡配合。
5.如权利要求l所述的镀膜修正板，第二挡片之间的滑动配合为间隙配合，所述第一挡片或第二挡片和第二挡片之间的过度滑动。
6.如权利要求5所述的镀膜修正板，置于第二挡片的第三挡板，所述第三挡板与第二挡片垂直，面向外延伸。
7.如权利要求5所述的镀膜修正板，其特征在于，所述止滑件为设置于第二挡板的第一突起以及设置于滑槽的第二突起，所述第一突起和第二突起卡合从而阻止第一挡片和第二挡片之间的过度滑动。
8.如权利要求l所述的镀膜修正板，其特征在于，所述镀膜修正板包括一个第一挡片和两个第二挡片，所述两个第二挡片相对设置，并在第一挡片的滑槽中相对滑动。其特征在于，所述第一挡片和:挡片设置有止滑件，以避免第-其特征在于，所述止滑件为设并沿远离第二挡片的至少一个，
9.如权利要求l所述的镀膜修正板，其特征在于，所述镀膜修正板还包括一个固定件，所述固定件用于固定修正片。
10.如权利要求8所述的镀膜修正板，其特征在于，所述镀膜修正板包括多个修正片，所述多个修正片对称分布于固定件两侧。
全文摘要
本发明提供一种镀膜修正板，其包括至少一个修正片，所述修正片至少包括第一挡片及第二挡片，所述第一挡片和第二挡片的形状、尺寸相配合，所述第一挡片具有滑槽，用于使第二挡片在滑槽中相对于第一挡片滑动，从而调整镀膜修正板的形状。
文档编号C23C14/50GK101457349SQ20071020294
公开日2009年6月17日 申请日期2007年12月10日 优先权日2007年12月10日
发明者王仲培 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司