专利名称：用于磨抛机的磨抛液自动输送装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体制造设备，具体是指半导体材料表面磨抛机用磨抛液自 动输送装置。
背景技术：
近几年来，随着红外热成像技术的蓬勃发展，对红外探测器的需求也与日俱 增，对红外探测器组件芯片材料碲镉荥和碲锌镉的加工要求也越来越高。因此， 为磨抛特殊红外半导体材料碲镉汞和碲锌镉表面而研制的专用磨抛处理设备一 一精密磨抛机的需求也水涨船高。现有的专用磨抛机大部分还采用手动进料的 方式供给磨抛液，即费工又费时，还容易带入杂质污染物；虽然有少部分拥有 自动进料装置，但其效果不是特别好，不能对磨抛液进行均匀的搅拌，使颗粒 度不大于3微米的磨抛液非常容易产生沉淀；同时，由于采用类似吊瓶"滴液" 的方式输出，使得磨抛液输出不均匀。
发明内容
本发明解决的技术问题是，针对现有技术存在的不足，提供一种用于磨抛 机的磨抛液自动输送装置，它应用于加工特殊红外半导体材料表面的专用磨抛 处理设备——精密磨抛机上，可以配装3微米以下磨料的研磨液与各类弱酸及 弱碱性抛光液，以满足实际使用的需要；该装置还可用于其他各类专用磨抛设 备。
本发明的技术方案是，所述用于磨抛机的磨抛液自动输送装置有置于滚轮 架的滚轮上的料桶，该料桶一端的端面一侧设有带密封盖的加料口，其结构特 点是，阀座固定安装在料桶的所述端面上，该阀座位于料桶内的一端同取液管 的一端连接而该取液管的另一端为靠近料桶柱面内壁的进料口，所述取液管经阀座内的通道与该阀座中的锥形腔连通，阀体的一端同阀座位于料桶外的一端 固定连接且该阀体上的出料口经阀体内腔同阀座的所述锥形腔连通；所述阀体 的另一端同阀门调节螺母的一端用螺纹连接；阀轴装在贯通阀门调节螺母、阀 体、阀座的阀轴安装孔中，该阀轴位于料桶中的一端与阀座的相应端之间设有 密封垫圈，且所述阀轴的该端端口经该阀轴中的通道及进气口同所述锥形腔连 通；可在所述阀轴安装孔中作轴向移动的所述阀轴的锥形段位于所述阀座的锥 形腔部位而组成阔座通道的开闭结构,所述阀门调节螺母的阀轴安装孔管底端 位于所述阀轴的台阶上；阀体的所述另一端端面上固定安装有三个在同一圆周 平面上均匀分布的销柱，各销柱上分别套装有位于阀体的该端面与锁紧螺母之 间的弹簧，所述锁紧螺母装在阀门调节螺母另一端内底面；所述阀轴位于阀门 调节螺母外的一端固定装有止动杆安装块，且压紧弹簧装在该止动杆安装块与 阀门调节螺母之间，止动杆安装块上装有止动杆。 以下对本发明做出进一步说明。
参见图1和图2，本发明有置于滚轮架的滚轮28上的料桶16，该料桶16 一端的端面一侧设有带密封盖11的加料口，其结构特点是，阀座9固定安装在 料桶16的所述端面上，该阀座9位于料桶16内的一端同取液管13的一端连接 而该取液管13的另一端为靠近料桶16柱面内壁的进料口，所述取液管13经阀 座9内的通道与该阀座9中的锥形腔20连通，阀体8的一端同阀座9位于料桶 16外的一端固定连接且该阀体8上的出料口 21经阀体8内腔同阀座9的所述 锥形腔20连通；所述阀体8的另一端同阀门调节螺母7的一端用螺纹连接；阀 轴15装在贯通阀门调节螺母7、阀体8、阀座9的阀轴安装孔中，该阀轴15 位于料桶16中的一端与阀座9的相应端之间设有密封垫圈14，且所述阀轴15 的该端端口经该阀轴中的通道及进气口 24同所述锥形腔20连通；可在所述阀轴安装孔中作轴向移动的所述阀轴15的锥形段19位于所述阀座9的锥形腔20
部位而组成阀座通道的开闭结构，所述阀门调节螺母7的阀轴安装孔管23底端 为于所述阀轴15上的台阶22上；阀体8的所述另一端端面上固定安装有三个 在同一圆周平面上均匀分布的销柱5，各销柱5上分别套装有位于阀体8的该 端面与锁紧螺母4之间的弹簧6，所述锁紧螺母4装在阀门调节螺母7另一端 内底面；所述阀轴15位于阀门调节螺母7外的一端固定装有止动杆安装块1， 且压紧弹簧3装在该止动杆安装块1与阀门调节螺母7之间，止动杆安装块1 上装有止动杆2。
本发明的技术原理是(参见图1和图2)，装置工作时，料桶16水平放置 在滚轮28的上，由旋转的滚轮28摩擦带动料桶16绕轴线以恒定的速度旋转， 使桶内磨抛液中的磨料悬浮；随着料桶16 —起旋转的料桶内取液管13的进料 口向下经过料液的底部，而随着料桶16的继续旋转，取液管13将会带起一些 料液；旋转中随着取液管13进料口的上升，料液逐渐向下流入阀座9的通道内， 即进入阀轴15与阀座9的阀轴安装孔之间的环隙中；控制磨抛液由该环隙进入 到锥形腔20中，是通过控制阀轴15相对于阀座9的轴向移动量，即调节阀轴 15的锥形段19相对于阀座9的锥形腔20腔壁之间的间隙大小来实现的，可以 控制磨抛液流量的大小和通、断。阀轴15的轴向位置由旋转阀门调节螺母7 来控制，它可打开或关闭阀门、调接阀门的开度。
本发明中，磨抛液流过阀座9的通道，再流经阀体8的边缘，最后从出料 口21滴入引料槽27，并顺着导流线29滴入到精密磨抛机的磨盘中。同时，空 气从阀轴15的进气口 24进入，再经过阀轴15中的通道进入料桶16，使桶内 压力保持平衡，抛磨液能顺畅流出。
在本发明装置工作时，要求不要改变料桶16的预定装配设置，这就要求阀门调节螺母7和阀体8之间的螺纹配合要紧一点，而且可以调节；因此，本发 明将锁紧螺母4旋进阀门调节螺母7内螺纹中，并将三个弹簧6套到相应的销
柱5上去，并在装配时使所述弹簧6处于被压縮状态，则弹簧的复位张力能使 阀门调节螺母7与阀体8为张紧连接。
在本发明装置在运动时，所述阀门组件是随料桶16—同旋转的。为了防止 磨抛液中的磨料阻塞阀门，从而导致通道堵死，必须用止动杆2来阻止阀轴15 的旋转，即相对地面使止动杆2为静止，则阀轴15不能随料桶16转动；为此， 本发明在止动杆安装块1和阀门调节螺母7的对应端面之间设置一压紧弹簧3， 且该压紧弹簧3在装配时亦为压縮状态，该弹簧的复位张力使所述止动杆安装 块1脱离阀门调节螺母7的对应端面，这样就使阀门台阶22在旋转时可以承受 阀门调节螺母7的作用力，该作用力经所述阀轴安装孔管23底端传递；从而保 证了阀门调节螺母在工作时处于正确的位置，也保证了阀门打开程度的准确。
所述垫圈14支撑阀轴15的末端，而且从阀座9内密封住料桶。
所述料桶16端面上带有密封衬垫IO和带密封盖11的加料口用于加装料液 (抛磨液)。装配时，应使所述取液管13不挡住料桶16上的加料口 11。
由以上可知，本发明为一种用于磨抛机的磨抛液自动输送装置，它具有如 下优点
a. 结构简单，体积小，便于加工装配。
b. 磨抛液输出的流量可调，可分为3种输出流量，输出的流量均匀稳定。
c. 适用于金相组织、陶瓷、晶体、玻璃等多种专用磨抛设备。
d. 适用于各种不同的研磨抛光液，并能够均匀搅拌。
图l为本发明装置一种实施例的外形图2为图l所示装置带局部剖视的结构图(未画出滚轮24)。
在图中
1—-止动杆安装块，2—-止动杆，3—-压紧弹簧，
4—-锁紧螺母，5—-销柱，6—-弹簧，
7—-阀门调节螺母，8—-阀体，9—-阀座，
10-一密封衬垫，ll--料筒密封螺钉，12-一密封圈，
13-一取液管，14-一垫圈，15-_阀轴，
16-一料桶，17-_平垫圈，18-一紧固螺钉，
23-一填充线，24-一参考线，25-一料液线，
26-一料桶旋转轴，27-一引料槽，28-_滚轮，
29-一导流线。
具体实施例方式
如图1和图2所示，本发明所述用于磨抛机的磨抛液自动输送装置有置于 滚轮架的滚轮28上的料桶16，该料桶16 —端的端面一侧设有带密封盖11的 加料口，其结构特点是，阀座9固定安装在料桶16的所述端面上，该阀座9 位于料桶16内的一端同取液管13的一端连接而该取液管13的另一端为靠近料 桶16柱面内壁的进料口，所述取液管13经阀座9内的通道与该阀座9中的锥 形腔20连通，阀体8的一端同阀座9位于料桶16外的一端固定连接且该阀体 8上的出料口 21经阀体8内腔同阀座9的所述锥形腔20连通；所述阀体8的 另一端同阀门调节螺母7的一端用螺纹连接；阀轴15装在贯通阀门调节螺母7、 阀体8、阀座9的阀轴安装孔中，该阀轴15位于料桶16中的一端与阔座9的相应端之间设有密封垫圈14，且所述阀轴15的该端端口经该阀轴中的通道及 进气口 24同所述锥形腔20连通；可在所述阀轴安装孔中作轴向移动的所述阀
轴15的锥形段19位于所述阀座9的锥形腔20部位而组成阀座通道的开闭结构， 所述阀门调节螺母7的阀轴安装孔管23底端为于所述阔轴15上的台阶22上； 阀体8的所述另一端端面上固定安装有三个在同一圆周平面上均匀分布的销柱 5，各销柱5上分别套装有位于阀体8的该端面与锁紧螺母4之间的弹簧6，所 述锁紧螺母4装在阀门调节螺母7另一端内底面；所述阀轴15位于阀门调节螺 母7外的一端固定装有止动杆安装块1，且压紧弹簧3装在该止动杆安装块1 与阀门调节螺母7之间，止动杆安装块1上装有止动杆2。
本发明中，可以按图1所示在阀门和料桶上标记填充线23、参考线24、料 液线25等，以便于掌握阀门的开度和开、闭状态。使用时，可首先将阀门调节 螺母7向右旋转直至拧不动，感到阀门已锁死。这时零位置线和阀门上的参考 线24—致。拧开阀门调节螺母7—周(可能在阀门脱开时会听到一声"卡踏" 声)，这时零位置线和参考线24再次重合。还应确保引料槽27和导流线29已 到位。打开自动喂料系统开关，并转动磨(抛)盘。检査料桶是否象正常工作， 在机器运转几分钟后，检查料液的流速。然后，关掉自动喂料开关。用一只手 支撑自动喂料料桶，调节阀门到一个合适的流速。如果需要的话，调节引料槽 的位置，以接住滴下的料液。重新启动自动喂料系统，查看料液的流速。在重 新添料时，料桶的工作时间随设定而改变，对于粗的磨抛料液， 一般为2-3小 时。
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权利要求
1、一种用于磨抛机的磨抛液自动输送装置，有置于滚轮架的滚轮(28)上的料桶(16)，该料桶(16)一端的端面一侧设有带密封盖(11)的加料口，其特征是，阀座(9)固定安装在料桶(16)的所述端面上，该阀座(9)位于料桶(16)内的一端同取液管(13)的一端连接而该取液管(13)的另一端为靠近料桶(16)柱面内壁的进料口，所述取液管(13)经阀座(9)内的通道与该阀座(9)中的锥形腔(20)连通，阀体8的一端同阀座(9)位于料桶(16)外的一端固定连接且该阀体(8)上的出料口(21)经阀体(8)内腔同阀座(9)的所述锥形腔(20)连通；所述阀体(8)的另一端同阀门调节螺母(7)的一端用螺纹连接；阀轴(15)装在贯通阀门调节螺母(7)、阀体(8)、阀座(9)的阀轴安装孔中，该阀轴(15)位于料桶(16)中的一端与阀座(9)的相应端之间设有密封垫圈(14)，且所述阀轴(15)的该端端口经该阀轴中的通道及进气口(24)同所述锥形腔(20)连通；可在所述阀轴安装孔中作轴向移动的所述阀轴(15)的锥形段(19)位于所述阀座9的锥形腔(20)部位而组成阀座通道的开闭结构，所述阀门调节螺母(7)的阀轴安装孔管(23)底端为于所述阀轴(15)上的台阶(22)上；阀体(8)的所述另一端端面上固定安装有三个在同一圆周平面上均匀分布的销柱(5)，各销柱(5)上分别套装有位于阀体(8)的该端面与锁紧螺母(4)之间的弹簧(6)，所述锁紧螺母4装在阀门调节螺母(7)另一端内底面；所述阀轴(15)位于阀门调节螺母(7)外的一端固定装有止动杆安装块(1)，且压紧弹簧(3)装在该止动杆安装块(1)与阀门调节螺母(7)之间，止动杆安装块(1)上装有止动杆(2)。
全文摘要
一种用于磨抛机的磨抛液自动输送装置，由置于滚轮架上的料桶和安装在料桶一端的调节阀门组成，所述调节阀门由锁紧螺母、销柱、弹簧、阀门调节螺母、阀体、阀座、取液管、阀轴组装而成。它结构简单、体积小、便于加工装配，且磨抛液输出的流量可调、输出的流量均匀稳定，适用于金相组织、陶瓷、晶体、玻璃等多种专用磨抛设备，可使用各种不同的研磨抛光液，并能够均匀搅拌。
文档编号B24B57/02GK101468450SQ200710303419
公开日2009年7月1日 申请日期2007年12月25日 优先权日2007年12月25日
发明者周健伊, 易臻希, 程远贵, 超 蒋, 陈延斌 申请人:中国电子科技集团公司第四十八研究所