专利名称：用于在真空室内移动托架的结构的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于在室内(具体而言真空室内)移动托架的结构，其中 此托架形成为板形并借助于驱动辊可直线移动。
背景技术：
在根据PECVD (PECVD二等离子体增强化学汽相沉积)原理进行操 作的真空涂覆设备中，经由引入到设备中并被源离子化的气体来直接进行 涂覆。等离子体在源与衬底或布置在衬底后方的电极之间燃烧。衬底通常紧固在托架上，托架在辊子上移动通过涂覆设备。这些辊子 优选地由位于真空涂覆设备外的驱动系统来驱动，使得不会在真空设备中 产生污染。用于位于室内的轴的驱动结构是公知的(US 2005/0206260 Al)由位 于室外部的电动机通过磁性耦合来驱动该轴。而且，在具有数个传输辊的真空涂覆设备中用于衬底的传输结构是公 知的(DE 103 28 273 Al)。在此结构中，驱动器以及传输辊位于涂覆设 备的抽空区域。包括用于工件的传输系统的处理室也是公知的(GB 2 171 119 A)。 此传输系统包括通过磁性耦合装置驱动的缸体。这里，该磁性耦合装置用 作布置在室内的提升件上的两组传输辊之间进行切换。还公知的是在真空设备中用于移动安装部件的结构，其包括在容器内 的连接元件，所述连接元件部分地由磁性材料构成，其中容器的外侧也布 置有磁性材料，其经由摩擦连接与内磁性材料专有地接触(DE 102 27 365 =EP 1 387 473 A2)在公知的用于处理层叠衬底(例如硅盘片)的方法中，在用于制造微 电结构的竖直定向时，设置驱动辊，其被压到圆形硅盘片的三个位置上(US 6 251 551 Bl)。通过驱动辊可以使这些硅盘片绕其轴旋转。但是， 借助于输送带来进行对这些硅盘片的进一步直线传输。为了板形和圆形托架的旋转运动，公知的提供数个辊，其配合在托架 的边缘上(JP 2002 110763 A)。但是，通过轨道进行托架的直线运动。在US 2002/0060134 Al中公开了具有螺旋磁性耦合装置的磁性托架结 构。但是，该结构没有提供用于辊的提升机构。EP 1 648 079 A2描述了用于在被壁分开的物体之间进行移动的传输的 系统。此系统不适用于传输托架。最后，具有用于传输层叠衬底的传输辊的真空涂覆设备是公知的，其 包括位于真空涂覆设备外部的驱动系统和在驱动器与至少一个传输辊之间 的至少一个磁性耦合装置(未公开的欧洲专利申请EP 1 870487)。发明内容本发明解决了在至少一个方向上在室内自动移动物体的问题。 此问题根据本发明第一方面的特征来解决。因此，本发明涉及一种用于在真空室内移动托架的结构。此托架形成 为板形并被布置为其狭窄侧边缘位于由驱动系统驱动的辊上。优选地利用 磁性耦合装置作为间接驱动器，其部分位于真空室内并部分位于真空室 外，磁性耦合装置的位于真空室外的部件由电动机驱动。在沿着竖直方向 作用的力的帮助下，磁性耦合装置的两个部件可以相对于彼此发生位移。 此外，托架的水平位移也是可能的。本发明获得的一个优点包括，真空涂覆设备内的托架可以与承载托架 的驱动辊分离。本发明的另一个优点包括托架还可以侧向位移。
本发明的示例实施例在附图中示出并将在一下详细描述。在附图中图l是处理室的总体视图，图2是穿过图1的处理室的纵向截面A-A，图3是在第一位置上根据图2的局部放大图，图4是在第二位置上根据图2的局部放大图，图5是穿过图1的处理室的纵向截面B-B的一部分。
具体实施方式
图1以侧视图示出了处理室1。除了该处理室1之外，还可以布置未 示出的多个室。这些室可以是处理室和/或缓冲室。处理室1搁置在支撑脚2、 3上，齿轮机构29位于支撑脚2、 3之间， 并具有齿轮4、 5; 6、 7和中间轴8、 9。图2示出了穿过处理室1的截面A-A。可以看到，处理室被中间壁IO 分为两个半部。托架11位于一个半部中，其可以在图平面中，具体而 言，在导引辊上移动，图2中仅示出了导引辊中的两个导引辊12、 24。在 图2中表示的托架11的下端13刚与辊12解耦并已经通过钩子14、 15和 驱动器(未示出)沿着朝向壁16的方向移动。提升活塞位于支撑脚2、 3 后方，其将在下文描述并且在图1中不清楚。齿轮机构29仅在利用两个 提升缸体时才需要，以使得提升较均匀。17表示承载轴18的运输梁，轴 18延伸穿过导引辊12并与磁性耦合装置的位于处理室1内的一个半部19 连接，并且与该磁性耦合装置的位于处理室1外部的第二半部20相对。 通过带驱动器21来进行对此第二半部20的驱动。磁性耦合装置的彼此相 对布置的半部19、 20优选地具有能够滑动经过对方的光滑表面。在被中间壁IO分开的处理室1的左半部中，示出了托架22，其移动 使得其离开图的平面。此托架22的端部搁置在导引辊24中，轴25穿过导 引辊24，接着导引穿过磁性耦合装置的位于处理室1内的部件26，磁性 耦合装置的位于处理室1外部的部件27由带驱动器28驱动。图3示出了表示图2的部分区域的放大视图。这里再次清楚示出了托 架11及其下端B,现在下端13搁置在导引辊12中。为了使下端13被导 引离开辊12，设置了能够使提升活塞31上下移动的气缸30。在如图3所 示的活塞中，提升活塞31向上移动，由此运输梁17、导引辊12以及轴 19和磁性耦合装置的部件19也向上移动。磁性耦合装置的部件19现在直 接与磁性耦合装置的外部件20相对。支撑在轴承36中并承载外磁体20且由带驱动器21驱动的驱动轴35稳固地与壁16连接。37表示将处理室1 的内部与大气分开的薄隔膜。此隔膜37装配到套筒38中或者装配到此套 筒38的一部分中。在如图3所示的位置中，其中托架ll移动到处理室1内，钩子14位 于托架11的外侧，即，其不延伸到此托架的孔40内以使得其沿着朝向处 理室1的侧壁16的方向移动。钩子14未紧固在接触框架41上，而是紧固 在进行水平移动的导引件上。该导引件在图3中不可见。当由带驱动器21旋转驱动轴35时，位于大气压下的磁性耦合装置的 部件20也旋转。其磁场穿透支撑在套筒38内或该套筒38的一部分内的非 磁性的或不可磁化的隔膜37，并进入磁性耦合装置的位于处理室1内的部 件19。由此，轴18及其导引辊12旋转。因为托架11的下端支撑在此导 引辊12中，所以托架ll在图的平面内移动。图4再次示出了图2中所示的结构的一部分的放大图，并具体而言， 其处于在图2的位置中，其中托架11未移动到图的平面中，而是在朝向 处理室1的壁16的方向上。为了达到此位置，由驱动器45朝向左侧水平 移动的钩子14延伸到托架11的孔40内。现在，提升缸降低，使得托架 11悬挂在钩子14内。现在托架11可以借助于钩子14、未示出的支撑和驱 动器45来水平移动。这里，磁性耦合装置的两个部件19、 20相对于彼此 竖直偏移。41表示接触框架。图5示出了根据截面B-B的部分，仅右边的托架1是清楚可见的。图 5的纵向截面延伸经过提升缸60和与其连接的提升活塞61。 62表示处理 室1的底部所通过的导引件。保持器64形成为在底部63上的凸缘，耦合 部件65位于保持器64中，耦合部件65示出了提升缸60的活塞杆66与提 升活塞61的部分67的连接。提升缸60是其中耦合部件65螺纹配合到活 塞61中的气缸。提升活塞61经由支撑件68与运输梁69连接，导引辊70可以在运输 梁69上转动。在距离托架11的间隔处可以看到紧固在支撑件(未示出) 上的叉71，其与位于壁16的外侧上的未示出的驱动器连接。带驱动器73 驱动磁性耦合装置74，磁性耦合装置74接着旋转导引辊70。为每个运输梁69提供两个提升活塞是可行， 一个在运输梁的前端， 一个在运输梁的后端。但是，还可以仅设者一个提升活塞，其与运输梁69 的中部配合。72表示接触框架，托架11被压到其外以确保等离子体源和 衬底之间界定的平行距离。此外，接触框架用于限定等离子体溶剂和托架 后电极的接地。
权利要求
1.一种用于在处理室内移动托架(11)的结构，所述处理室具体而言是真空室(1)，其中所述托架(11)形成为板形并借助于驱动辊(12)可直线移动，其特征在于，所述驱动辊(12、24)可以借助于提升机构(30、31)朝向所述托架(11)的狭窄侧移动以及远离所述托架(11)的狭窄侧移动。
2. 根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述驱动辊(12、 24) 搁置在运输梁(17)上，并且所述提升机构(30， 31)与所述运输梁(17)连接。
3. 根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述驱动辊(12、 24) 与磁性耦合装置(74)耦合。
4. 根据权利要求3所述的结构，其特征在于，所述磁性耦合装置包括 位于所述室(1)内的第一部件(19)和位于所述室(1)外的第二部件(20)。
5. 根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述托架(11)具有至 少一个开口。
6. 根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述托架(11)包括孔 (40)。
7. 根据权利要求1或6中任一项所述的结构，其特征在于，设置能够 延伸经过所述孔(40)并支撑所述托架(11)的钩子(14)。
8. 根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述托架(11)包括 销，所述钩子(14)配合在所述销上。
9. 根据权利要求7所述的结构，其特征在于，所述钩子(14)可垂直 于所述托架(11)的表面移动。
10. 根据权利要求9所述的结构，其特征在于，设置用于移动所述钩 子(14)的驱动器，所述驱动器位于所述室(1)的外部。
11. 根据权利要求4所述的结构，其特征在于，所述磁性耦合装置的 所述第一部件(19)和所述第二部件(20)在所述托架(11)的第一位置的情况下彼此对称相对地布置，并在所述托架(11)的第二位置的情况下 相对于彼此布置在竖直方向上。
全文摘要
本发明涉及一种用于在真空室内移动托架的结构。此托架形成为板形并被支撑为其狭窄侧边缘位于由驱动系统驱动的辊上。优选地利用磁性耦合作为间接驱动器，其部分位于真空室内并部分位于真空室外。在沿着竖直方向作用的力的帮助下，磁性耦合的两个部件可以相对于彼此发生位移。此外，托架的水平位移也是可能的。
文档编号C23C16/50GK101270473SQ200810006500
公开日2008年9月24日 申请日期2008年2月29日 优先权日2007年3月13日
发明者埃德加·哈勃科恩, 苏珊娜·施拉费尔 申请人:应用材料公司