专利名称：真空溅镀设备的传动装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空溅镀设备的传动装置，特别是关于一种 用于真空溅镀制程中且可耐受溅镀设备的腔体内高温并可传送工件 载盘的传动装置。
背景技术：
真空溅镀技术是真空薄膜制程中应用层面相当广泛的一项重要 技术，近年来已经逐渐取代了喷导电漆或电解电镀等方式，且大量地 应用在光电、通信、半导体等产业，成为相当重要的表面处理技术。
一般使用连续式传输的真空溅镀装置，其是将工件整齐固定排放 在标准化的承载盘上，通过传动元件的带动，将承载盘平顺地输送于 各个腔室之间进行溅镀。目前在真空溅镀装置中的己知传动元件是使
用皮带，然而，在真空溅镀装置腔体的高温环境中，温度高达摄氏2 0 0度至4 0 0度，热应力的作用容易造成皮带的耗损，使得皮带的 使用寿命縮短从而导致传动失效。
此外，皮带的长度有规格的限制，而相关机构的位置必须依照皮 带的长度规格进行设计，因此在设计上就受限于皮带长度规格，造成 机构设计上的不便。另外，传动力量业会因为皮带过长而造成力量的 递减，导致传输过程的不顺利，皮带使用久了更会产生松脱的缺点，然而这些因素都将影响溅镀质量。
实用新型内容
鉴于上述真空溅镀设备以皮带作为传动组件而具有不耐高温的 缺失，本实用新型主要目的在于提供一种用于真空溅镀制程中且可耐 受溅镀设备之腔体内高温并且传送工件载盘的传动装置。 为达到上述目的，本实用新型为采取以下之技术手段 本实用新型所述传动装置为设置于一真空溅镀设备之腔体中，且 包括二固定座、多个传动齿轮、至少二导轮以及至少二导轮齿轮，其 中，所述二固定座为相对设置于所述腔体的内壁，且各固定座具有至 少一贯穿于该固定座的轴孔以及至少一穿设于该所述轴孔的连接轴；
所述多个传动齿轮为枢设于所述固定座且面对所述腔体之内壁的一
侧；所述至少二导轮各套为设置于所述连接轴异于腔体内壁的一端；
所述至少二导轮齿轮各套为设置于所述连接轴且异于所述导轮的一
端并啮合于该所述传动齿轮。
当一溅镀工件的载盘于腔体内被传送时，是以一外部动力源提供 动力驱使所述导轮齿轮旋转，且与该导轮齿轮啮合的传动齿轮亦随之 旋转，进而带动各相互啮合的传动齿轮及导轮齿轮旋转，同时，各导 轮即转动以达到传送工件载盘的功能。
此外，所述传动齿轮、导轮及导轮齿轮为具有耐高温及高强度特 性的合金齿轮，因此，本实用新型以该所述传动齿轮、导轮及导轮齿 轮取代皮带并改善以皮带作为传动机构所衍生出不耐高温、传动容易失效等缺点，将可使得真空溅镀制程中传动装置的使用寿命延长，而 降低设备更换、修缮的成本耗费。
图1为本实用新型所述真空溅镀设备的传动装置的俯视图； 图2为本实用新型所述真空溅镀设备的传动装置的侧视图； 图3为本实用新型所述真空溅镀设备的传动装置于腔体外部设有
动力源的侧视透视图4为本实用新型所述真空溅镀设备的传动装置于腔体外部未设
有动力源的侧视透视图5为本实用新型所述真空溅镀设备的传动装置的前视图。
具体实施方式
以下结合附图以及具体实施例来对本实用新型所述真空溅镀设 备的传动装置作进一步的详细说明。
请参考图1和图2中所示，本实用新型所述真空溅镀设备的传 动装置1为设置于一真空溅镀设备之腔体2中，且包括有
二固定座l 1，其为相对设置于所述腔体2的内壁，且各固定 座11上具有至少一贯穿于该固定座11的轴孔(图中未示)以及至 少一穿设于该轴孔的连接轴111;
多个传动齿轮1 2 ，为枢设于所述固定座1 1且面对所述腔体 2之内壁的一侧；至少二导轮1 3 ，各套为设置于所述连接轴1 1 1且异于所述
腔体2内壁的一端；
至少二导轮齿轮1 4 ,各套为设置于所述连接轴1 1 1且异于 所述导轮1 3的一端并啮合于所述传动齿轮1 2 。
参考图3、图4和图5中所示，该所述真空溅镀设备的传动装置 1还包括至少二相对设置于所述连接轴111且设有导轮齿轮14 之一端的联轴器1 5以及至少二设置于该所述联轴器1 5且异于该 连接轴1 1 1之一端的旋转轴体1 6 。
所述旋转轴体1 6为贯穿于该腔体2的侧壁，其位于该所述腔 体2外部的一端亦连接一真空轴封1 7 ，且该真空轴封1 7为将所述 腔体2外的大气侧与该腔体2内的真空侧予以隔离并以确保该所述 腔体2内的真空环境。
此外，所述真空溅镀设备的传动装置1还包括一设置于所述腔 体2外部下方的传动心轴1 8 ，且在该传动心轴1 8的二端上各固设 有相互邻接的第一时规轮1 8 1以及第二时规轮18 2，在本实施例 中，该所述第二时规轮l 8 2是位于所述第一时规轮1 8 l的内侧， 并且该所述第一时规轮l 8 l是以一时规皮带l 8 3连接于所述真 空轴封1 7 。
另外，在该所述腔体2外部下方设置有一外部动力源(图中未 示)以及一连接于该外部动力源的第三时规轮1 9，且该第三时规轮 1 9是以另一时规皮带1 9 l连接于所述第二时规轮l 8 2。
如图l、图2、图3、图4和图5中所示，本实施例是以三组传动装置1串联设置于一真空溅镀设备的腔体2中以作为本实用新型 的较佳实施例，各组传动装置1是以其传动齿轮1 2相互啮合而连 接，且在该实施例中是以一伺服马达(图中未示)作为外部动力源， 当该外部动力源启动时，连接于该外部动力源的第三时规轮1 9即转 动并透过所述时规皮带l 9 l带动第二时规轮l 8 2与传动心轴1 8旋转，同时，固设于所述传动心轴l 8的第一时规轮1 8 l亦随之 旋转，并且透过连接该所述第一时规轮1 8 1与所述真空轴封1 7的 时规皮带l 8 3带动该所述真空轴封1 7转动。
接着，该所述真空轴封1 7即驱使所述转动轴体1 6 、所述联 轴器1 5以及所述连接轴1 1 1旋转，使得设置于该连接轴1 1 1 二 端的导轮1 3及导轮齿轮1 4随之旋转，进而带动与所述导轮齿轮1 4啮合的传动齿轮1 2旋转，之后，通过该所述传动齿轮l 2相互啮 合而连接的另外二组传动装置1即开始作动从而使得各导轮1 3可 转动以传送承载待溅镀工件的载盘。
与现有技术相比，本实用新型所述的一种真空溅镀设备的传动装 置改善了已知传动装置以皮带作为传动组件所衍生的缺失，使得真空 溅镀制程中传动装置的使用寿命得以延长，并且大大降低了设备的更 换率以及设备修缮带来的成本耗费。
惟以上所述者，仅为本实用新型的较佳实施例，当不能以此限 定本实用新型实施的范围；故，凡依本实用新型申请专利范围及说明 书内容所作之简单的等效变化与修饰，皆应仍属本实用新型专利涵盖 的范围内。
权利要求1、一种真空溅镀设备的传动装置，为设置于真空溅镀设备的腔体中，其特征在于，该装置包括有二固定座，其相对设置于所述腔体的内壁，各固定座具有至少一贯穿于该固定座之轴孔以及至少一穿设于该轴孔的连接轴；多个传动齿轮，其为枢设于所述固定座面对所述腔体之内壁的一侧；至少二导轮，且各套为设于所述连接轴异于腔体内壁的一端；至少二导轮齿轮，且各套为设于所述连接轴异于所述导轮的一端并啮合于该传动齿轮。
2 、根据权利要求1所述真空溅镀设备的传动装置，其特征在于， 还包括至少二相对设置于所述连接轴设有导轮齿轮之一端的联轴器 以及至少二设置于所述联轴器异于该连接轴之一端的旋转轴体。
3 、根据权利要求2所述真空溅镀设备的传动装置，其特征在于， 所述旋转轴体为贯穿于所述腔体的侧壁，且该旋转轴体位于该腔体外 部一端亦连接一真空轴封。
4 、根据权利要求3所述真空溅镀设备的传动装置，其特征在于， 还包括一设置于该腔体外部下方的传动心轴。
5 、根据权利要求4所述真空溅镀设备的传动装置，其特征在于，所述传动心轴的二端各固设有相互邻接的第一时规轮以及第二时规 轮。
6 、根据权利要求5所述真空溅镀设备的传动装置，其特征在于，所述第一时规轮是以一时规皮带连接于所述真空轴封。
7 、根据权利要求6所述真空溅镀设备的传动装置，其特征在于， 还包括一设置于所述腔体外部下方的外部动力源以及一连接于该外 部动力源的第三时规轮。
8 、根据权利要求7所述真空溅镀设备的传动装置，其特征在于，所述第三时规轮是以一时规皮带连接于第二时规轮。
专利摘要本实用新型公开一种真空溅镀设备的传动装置，其为设置于一真空溅镀设备的腔体中，且该装置包括二固定座、多个传动齿轮、至少二导轮以及至少二导轮齿轮；其中，所述二固定座为相对设置于腔体的内壁，且各固定座具有至少一贯穿于该固定座的轴孔及至少一穿设于该轴孔的连接轴；所述多个传动齿轮为枢设于固定座面对腔体之内壁的一侧；所述至少二导轮为各套设于连接轴且异于腔体内壁的一端；所述至少二导轮齿轮为各套设于连接轴且异于导轮的一端并啮合于所述传动齿轮。本实用新型的优点在于，可耐受溅镀设备的腔体内高温，并传动效果好，使用寿命长，大大降低了设备更换、修缮的成本耗费。
文档编号C23C14/56GK201280592SQ20082013501
公开日2009年7月29日 申请日期2008年8月26日 优先权日2008年8月26日
发明者洪婉玲, 郭勋聪 申请人:鈺衡科技股份有限公司